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张荣耀
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2
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供职机构:
香港中文大学信息工程学院电子信息工程系
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相关领域:
电子电信
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合作作者
许建斌
香港中文大学信息工程学院电子信...
薛坤
香港中文大学信息工程学院电子信...
安锦
香港中文大学信息工程学院电子信...
贺仲卿
香港中文大学信息工程学院电子信...
徐明生
香港中文大学信息工程学院电子信...
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许建斌
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电子显微学报
年份
2篇
2003
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二氧化硅超薄膜的扫描隧道显微镜和扫描隧道谱研究
2003年
用超高真空热氧化方法在Si(1 1 1 )清洁衬底上生长了二氧化硅超薄膜 ,并利用超高真空扫描隧道显微镜和扫描隧道谱技术对超薄膜的表面形貌和局域电学特性进行了研究。结果显示 ,在超薄范围二氧化硅呈层状生长 ,不同层的微分电导谱所测禁带宽度差别可以达到约 3eV 。
薛坤
许建斌
贺仲卿
徐明生
安锦
张荣耀
关键词:
扫描隧道显微镜
禁带宽度
形貌表征
半导体材料
二氧化硅超薄膜的扫描隧道显微镜和扫描隧道谱研究
用超高真空热氧化方法在 Si(111)清洁衬底上生长了二氧化硅超薄膜,并利用超高真空扫描隧道显微镜和扫描隧道谱技术对超薄膜的表面形貌和局域电学特性进行了研究。结果显示,在超薄范围二氧化硅呈层状生长, 不同层的微分电导谱所...
薛坤
许建斌
贺仲卿
徐明生
安锦
张荣耀
关键词:
禁带宽度
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