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曾耀武
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
浙江大学物理系物理学系
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
叶高翔
浙江大学物理系物理学系
焦正宽
浙江大学物理系物理学系
冯春木
浙江大学物理系物理学系
陶向明
浙江大学物理系物理学系
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2000
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沉积在液体衬底上连续铝薄膜的微观结构
被引量:3
2000年
研究了沉积在硅油衬底表面的连续铝薄膜的微结构及其表面形貌 .与沉积在单晶硅表面的铝薄膜相比 ,两种铝薄膜均属颗粒结构 ,但硅油表面的铝薄膜具有颗粒尺寸较小、大小不均匀 ,表面起伏较大等特点 ,而且在该铝薄膜边缘的下表面 ,有一明显的波纹状楔型结构 ,其斜率仅为 10 -4 — 10 -5.实验结果表明 :这一现象是由于液体衬底的热膨胀行为引起的 .
陶向明
曾耀武
冯春木
焦正宽
叶高翔
关键词:
微观结构
硅油
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