杨春生
- 作品数：314 被引量：380H指数：10
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市科委纳米专项基金国际科技合作与交流专项项目更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程一般工业技术更多>>
- 微桥法镍膜的弹性模量和残余应力测量被引量：1
- 2004年
- 利用MEMS技术制作了不同尺寸的镍(Ni)膜微桥结构样品。采用纳米压痕仪XP系统测量了微桥载荷与位移的关系,并结合微桥力学理论模型得到了两种不同尺寸的Ni膜的弹性模量和残余应力。结果表明,两种不同尺寸的Ni膜的弹性模量结果一致,为190 GPa左右,但是残余应力变化较大。与采用纳米压痕仪直接测得的带有硅(Si)基底的Ni膜弹性模量186.8 7.5 GPa相比较,两者符合较好。
- 王明军周勇陈吉安杨春生张亚民高孝裕周志敏张泰华
- 关键词：MEMS技术弹性模量残余应力
- 电沉积纳米镀锌层的机理研究被引量：1
- 2003年
- 对电镀锌进行纳米改性研究,得到层状纳米镀锌层。采用场发射电镜(FEG-TEM)观察镀锌层结晶的形态,X衍射分析镀锌层晶粒的尺寸,恒电位法和电化学交流阻抗方法研究了纳米镀锌层的电沉积机理。
- 曹莹姚景元丁桂甫杨春生
- 关键词：电镀镀锌层纳米层纳米改性电沉积交流阻抗
- 聚合物Parylene C薄膜的反应离子刻蚀研究
- 2008年
- 首先简要介绍了聚合物Parylene,并以Parylene C薄膜为原料,进行反应离子刻蚀,着重研究了功率和工作气压对刻蚀速率的影响,并给出了优化的刻蚀工艺参数。结果表明,刻蚀速率随功率增加而增大,当功率为80 W时,刻蚀速率达到0.44μm/min,适当增大功率有利于各向异性刻蚀。刻蚀速率在一定范围内随气压增大而增大,工作压力为10.67 Pa时,刻蚀速率达到0.47μm/min;当气压超过10.67 Pa后,刻蚀速率基本保持不变。
- 王亚军刘景全沈修成杨春生郭中元芮岳峰
- 关键词：微流体系统反应离子刻蚀
- SU-8胶及其在MEMS中的应用被引量：26
- 2003年
- SU 8胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶。它适于制超厚、高深宽比的MEMS微结构。SU 8胶在近紫外光范围内光吸收度低 ,故整个光刻胶层所获得的曝光量均匀一致 ,可得到具有垂直侧壁和高深宽比的厚膜图形 ;它还具有良好的力学性能、抗化学腐蚀性和热稳定性 ;SU 8胶不导电 ,在电镀时可以直接作为绝缘体使用。由于它具有较多优点 ,被逐渐应用于MEMS的多个研究领域。本文主要分析SU 8胶的特点 ,介绍其在MEMS的一些主要应用 ,总结了我们研究的经验 ,以及面临的一些问题 。
- 刘景全蔡炳初陈迪朱军赵小林杨春生
- 关键词：SU-8胶MEMS微机电系统
- 压电叠堆式MEMS振动能量采集器及其制备方法
- 一种微机电系统技术领域的压电叠堆式MEMS振动能量采集器及其制备方法，该采集器包括：硅固定基座、压电叠堆片和质量块，压电叠堆片的一端固定在硅固定基座上且另一端悬空并与质量块固定连接。本发明通过采用压电叠堆式结构，大大提高...
- 刘景全唐刚李以贵杨春生柳和生
- 新型微机电系统光开关研制被引量：2
- 2003年
- 介绍了几种新型微机电系统(MEMS)光开关的设计、制造和性能.研制了一种摆动式微电磁驱动器,用其驱动反射镜切入和切出光路.在此基础上,研制了1×2、2×2、1×4和1×8四种典型的MEMS光开关,达到了较好的性能.这些光开关可广泛应用于光纤通信系统.
- 贾书海赵小林杨春生张琛蔡炳初冯建智
- 关键词：光纤通信光开关微机电系统
- SU-8胶及其在MEMS中的应用
- SU-8胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶.它适于制超厚、高深宽比的MEMS微结构.SU-8胶在近紫外光范围内光吸收度低,故整个光刻胶层所获得的曝光量均匀一致,可得到具有垂直侧壁和高深宽比的厚膜图形;它还具有良好的...
- 刘景全蔡炳初陈迪朱军赵小林杨春生
- 关键词：微机电系统光刻胶热稳定性
- 文献传递
- 可植入眼压微传感器被引量：1
- 2010年
- 对眼压进行长期、连续和实时的监测对于提高青光眼的诊治水平具有重要的意义。可植入眼压微传感器能够实现对眼压的长期连续监测。总结了国内外的可植入眼压微传感器技术;归纳了不同种类的可植入眼压微传感器的工作原理,并对不同的可植入眼压微传感器技术进行分类和比较;讨论了可植入眼压微传感器的各技术模块。
- 朱正罕刘景全邱可可杨春生
- 关键词：青光眼微机电系统
- 一种聚酰亚胺表面图形化导电银薄膜的制备方法
- 本发明提供了一种聚酰亚胺表面图形化导电银薄膜的制备方法，所述方法包括：先将聚酰亚胺薄膜利用强碱进行活化处理；再利用硝酸银溶液进行离子交换制备出表面束缚银离子的聚酰亚胺薄膜；然后利用等离子体射流进行选择性还原处理制备出图形...
- 刘景全王涛杨斌陈翔杨春生
- 文献传递
- 基于PMNT压电单晶的MEMS宽频振动能量采集器及制备方法
- 一种基于PMNT压电单晶的MEMS宽频振动能量采集器，是一种将弯曲振动机械能转换为电能的压电器件，包括：硅固定基座、支撑层、PMNT压电薄膜层和质量块，其中，硅固定基座、支撑层、PMNT压电薄膜层依次贴合形成多层结构，所...
- 刘景全唐刚杨斌杨春生杉山进
- 文献传递
