杜云 作品数:71 被引量:78 H指数:4 供职机构: 中国科学院半导体研究所 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 国家高技术研究发展计划 国家重点基础研究发展计划 更多>> 相关领域: 电子电信 理学 轻工技术与工程 更多>>
AlAs选择性湿氮氧化的工艺条件对氧化速率的影响 被引量:18 1999年 结合垂直腔面发射激光器的制备 ,详细研究了 Al As选择性湿氮氧化工艺中氧化炉温、氮气流量、水温等条件和 Al As薄层的横向氧化速率之间的关系及其对氧化结果的影响 ,给出了合理的定性解释 ,并得到了可精确控制氧化过程及其均匀性的工艺条件 .在优化的工艺条件下运用湿氮氧化制备出低阈值的 In Ga As垂直腔面发射激光器 . 张益 潘钟 杜云 黄永箴 吴荣汉关键词:砷化铝 氧化速率 基于VCSEL的RCE探测器光电响应特性 2002年 对垂直腔面发射激光器 (VCSEL )及由此制成的谐振增强型 (RCE)光电探测器进行分析研究。激光器的 Ith=3m A、ηd=15 %、λp=839nm和 Δλ1 / 2 =0 .3nm;作为探测器 ,光电流谱峰值响应在 839nm,响应谱线半宽 2 .4 nm、具有良好的波长选择特性 ,量子效率 5 %~ 35 % (0 V~ 5 V)。优化设计顶镜反射率 ,还能得到量子效率峰值和半宽优化兼容的 VCSEL基 梁琨 陈弘达 杜云 唐君 杨晓红 吴荣汉关键词:垂直腔面发射激光器 VCSEL RCE 光电探测器 InGaAsP/InP 有源时分光子交换器件 1998年 自行设计并研制成功了两种有源时分光子交换器件:InGaAsP/InPEMPBH双稳激光器及InGaAsP/InPMQWDCPBH双稳激光器,对这两种器件的部分性能作了简要报道。 张权生 石志文 杜云 芦秀玲 吴荣汉 林世鸣关键词:时分复用 光通信 激光器 微光电子集成芯片及其应用 被引量:2 2003年 一、引言目前,半导体科学技术在低维结构物理、微腔物理、光学量子器件及电学量子器件、超高速电子器件与集成电路、微光电子集成芯片、微光机电系统(MOEMS)器件等方面的研究与发展,其特征尺寸都已进入深亚微米、十纳米以至纳米量级。所研究对象的低维化和结构的微细化不仅是其性能改善的要求。 陈弘达 毛陆虹 邓晖 唐君 杜云 吴荣汉关键词:SEED 光子集成 光输出 倒装焊 VCSEL 光互连 可提高砷化铝氧化均匀性的外延片承载装置 本实用新型一种可提高砷化铝氧化均匀性的外延片承载装置,其特征在于,其组成包括:一承载舟,该承载舟为矩形槽体,在内部底面上刻有多个窄槽;一石英柄,该石英柄与承载舟的一窄侧端连接。本实用新型适用于砷化铝高精度氧化处理,可用于... 佟存柱 牛智川 韩勤 杜云 吴荣汉文献传递 介质辅助键合Ⅲ-Ⅴ/硅基混合集成金属限制激光器 被引量:1 2014年 硅基键合Ⅲ-Ⅴ材料激光器,作为互补氧化物半导体(CMOS)兼容硅基光互连系统中的一个关键元件,近年来引起了人们的高度重视并得到了广泛的研究。金属限制结构可以增强器件对光场的限制,提高界面反射率和工艺容差,从而实现小体积低能耗硅片上集成光源。对金属限制介质辅助键合Ⅲ-Ⅴ/硅基混合集成激光器进行了研究,介绍了该激光器的基本原理和实验方案,并对制作的不同结构激光器的特性进行了分析,该研究工作的开展将有助于实现Ⅲ-Ⅴ/硅基混合集成激光器在低能耗高带宽的硅基光互连中的应用。 杨跃德 隋少帅 唐明英 肖金龙 杜云 黄永箴关键词:半导体激光器 晶片键合 四波长硅基混合微盘激光器阵列 基于DVS-BCB键合技术制作出了四波长硅基微盘激光器阵列,微盘chl-ch4半径分别为8.36, 8.34, 8.32和8.3μm,硅波导宽度为1.7μn,高为340 nm。相邻两微盘间距约为40μm。根据激光器谐振条... 隋少帅 唐明英 杜云 黄永箴关键词:性能表征 文献传递 980nm垂直腔型面发射和接收器件及列阵的研制(英文) 2002年 采用相同生长结构的 MOCVD外延片 ,研究制备适用于单片集成的垂直腔面发射与接收器件及列阵 ,发射及接收波长相同 ,由谐振腔模式决定 .采用双氧化电流限制结构 ,优化串联电阻 ,提高电光转换效率 ,制备 980 nm波段发光器件及 1× 16列阵芯片 ,发射谱线半宽≤ 4 .8nm,注入电流为 5 0 m A时 ,发射功率为 0 .7m W.对列阵芯片用探针进行在线检测 ,器件均有良好的发光特性 .接收器件光电响应具有良好的波长和空间选择特性 ,谐振接收波长可利用不同角度光入射实现简单易行的调节 .通过腐蚀器件顶部 DBR的方法调节入射镜反射率 ,可以分别实现具有单片集成结构的谐振增强型发射和接收器件的优化设计 . 梁琨 陈弘达 杜云 唐君 杨晓红 吴荣汉关键词:面发射 列阵 光互连 谐振腔增强型 光子器件 单片集成 基于两端口微腔激光器空间干涉的光学生物传感器 一种基于两端口微腔激光器空间干涉的光学生物传感器,包括:一微腔激光器,该微腔激光器为室温电注入激光器,输出的激光具有较高的边模抑制比,具有好的单模特性;一第一输出端口和第二输出端口,该第一输出端口和第二输出端口直接连接在... 林建东 黄永箴 杨跃德 肖金龙 姚齐峰 吕晓萌 杜云硅基键合InP-InGaAsP量子阱连续激光器的研制 被引量:2 2007年 采用键合技术在Si基上制备了InP-InGaAsP量子阱激光器,实现了电注入室温连续工作.采用低温直接键合的方法,将Si衬底和InP-InGaAsP外延片键合在一起,并制成条宽6μm的脊波导边发射激光器.室温连续工作的1.55μm激光器阈值电流为48mA,对应的阈值电流密度和微分电阻分别为2.13kA/cm2和5.8Ω,在约220mA时输出光功率达15mW. 于丽娟 赵洪泉 杜云 李敬 黄永箴关键词:直接键合