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祝东远

作品数：9 被引量：0H指数：0
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 6篇极紫外
  • 6篇光刻
  • 4篇镜片
  • 4篇光源
  • 3篇辐条
  • 2篇毛细管放电
  • 2篇回转
  • 2篇集成技术
  • 2篇光斑
  • 2篇Z箍缩
  • 1篇信号
  • 1篇性能检测
  • 1篇压板
  • 1篇入射
  • 1篇数据信号
  • 1篇透射
  • 1篇紫外
  • 1篇紫外光
  • 1篇紫外光刻
  • 1篇下一代光刻

机构

  • 9篇哈尔滨工业大...

作者

  • 9篇祝东远
  • 7篇徐强
  • 6篇赵永蓬
  • 5篇王骐
  • 1篇左保军
  • 1篇李润顺
  • 1篇张树青

传媒

  • 1篇激光与红外

年份

  • 2篇2017
  • 5篇2016
  • 1篇2012
  • 1篇2010
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
极紫外光收集镜系统的检测装置及应用该检测装置对极紫外光收集镜系统进行装配的方法
极紫外光收集镜系统的检测装置及应用该检测装置对极紫外光收集镜系统进行装配的方法，涉及光收集系统检测领域。解决了现有的极紫外光收集镜系统的集成性差、获得极紫外光的功率低的问题。它包括光源出射器和收集镜系统支撑架、CCD传感...
祝东远徐强王骐
文献传递
收集镜片面型的简便检测装置及基于该装置的检测方法
收集镜片面型的简便检测装置及基于该装置的检测方法，涉及毛细管放电Z箍缩极紫外光源收集镜片面型的简便检测技术。为了解决现有检测装置无法检测轴长比较长的大口径收集镜片的内表面面型的问题。半导体激光器出射的激光入射至毛玻璃，由...
祝东远赵永蓬徐强
文献传递
下一代光刻技术的EUV光源收集系统的发展
2010年
当前半导体器件加工水平正在向22 nm方向发展,而最有希望实现这一尺寸的光刻技术即为EUV光刻技术。EUV光源所发出的13.5 nm辐射因为波长极短,物质对其吸收十分强烈,所以使采用透射式光学系统对辐射进行收集的可能几乎为零。如何高效地收集EUV光源发出的辐射能成为了EUV光刻技术中的一大难题。本文主要介绍了国外在EUV光源收集系统方面的发展现状,描述了两大类EUV光源收集系统(垂直入射式和掠入射式)的一些设计形式和设计实例,并对各种设计形式的EUV收集系统进行了分析和比较。还重点介绍了目前被普遍看好的内嵌式掠入射WolterⅠ型收集系统的设计与加工等情况。
左保军祝东远张树青李润顺
关键词：光刻EUV内嵌式
极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座
极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座，涉及收集镜片的集成技术领域。为了满足将多层收集镜片集成为收集镜系统的需求。轮缘为不锈钢圆环，圆环的环形内设有6根辐条；每根辐条上均开有N个凹槽，6根辐条的凹槽组成N组与所述圆环同心的...
祝东远王骐徐强赵永蓬
文献传递
毛细管放电Z箍缩极紫外光光刻光源的收集系统
毛细管放电Z箍缩极紫外光光刻光源的收集系统，涉及毛细管放电Z箍缩13.5nm极紫外光光刻光源，为了解决多层椭球面反射镜构成的收集系统的远场均匀性不好、反射率低的问题。采用WolterI型收集系统实现，包括N层圆桶状反射镜...
祝东远赵永蓬徐强王骐
文献传递
极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座
极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座，涉及收集镜片的集成技术领域。为了满足将多层收集镜片集成为收集镜系统的需求。轮缘为不锈钢圆环，圆环的环形内设有6根辐条；每根辐条上均开有N个凹槽，6根辐条的凹槽组成N组与所述圆环同心的...
祝东远王骐徐强赵永蓬
文献传递
多层收集镜片集成为收集镜系统的装配装置
多层收集镜片集成为收集镜系统的装配装置，涉及收集镜片的装配技术领域。为了满足将多层收集镜片集成为收集镜系统的需求。一个支撑杆与一个压板相配合；轮缘为圆环，圆环的环形内设有多根辐条；辐条上开有N个凹槽，多根辐条的凹槽组成N...
祝东远徐强赵永蓬
文献传递
极紫外光源收集系统设计与加工方法研究
极紫外（13.5nm）光刻技术是目前光学光刻领域中的顶级光刻技术，是业界公认最有希望实现最小线宽22nm及更小尺寸的下一代光刻技术，受到国内外高度重视。在极紫外光刻机中，极紫外光源收集系统起到提高光刻照明系统光能利用率，...
祝东远
关键词：极紫外光刻
文献传递
毛细管放电Z箍缩极紫外光光刻光源的收集系统
毛细管放电Z箍缩极紫外光光刻光源的收集系统，涉及毛细管放电Z箍缩13.5nm极紫外光光刻光源，为了解决多层椭球面反射镜构成的收集系统的远场均匀性不好、反射率低的问题。采用WolterI型收集系统实现，包括N层圆桶状反射镜...
祝东远赵永蓬徐强王骐
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