苏凤
- 作品数：6 被引量：8H指数：2
- 供职机构：西南交通大学信息科学与技术学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金四川省学术和技术带头人培养资金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术理学机械工程更多>>
- 电容湿度传感器性能研究
- 随着湿度在我们日常生活中起着越来越重要的作用，人们对湿敏器件的研究也如火如荼。近年来，由于湿敏电容器具有灵敏度高、响应快、滞后量小、且容易实现小型化和集成化等众多优点而得到了很大的发展。
湿敏器件中的半导体氧化...
- 苏凤
- 关键词：灵敏度感湿机理
- 文献传递
- 一种快速响应的电容式湿度传感器感湿薄膜设计被引量：4
- 2008年
- 传统的电容式湿度传感器采用感湿膜都是水蒸汽通过上表面扩散的长方体感湿膜,因上表面面积有限,且有一部分被上电极覆盖,影响了系统的响应时间。采用了水蒸汽从周围扩散的圆柱体、圆环体结构,将其与传统的长方体做了比较,并在分析圆环体时引入的占空因子k,最后,将电容归一化得出圆柱体的响应时间约为长方体的10倍,圆环体与圆柱体相比,响应时间可减少约77.2%,大大缩短了响应时间,且圆柱体与圆环体对与薄膜厚度没有特别要求,因而还可以减小器件体积。
- 苏凤陈向东
- 关键词：长方体圆柱体归一化
- PI电容温度传感器结构改进与性能分析
- 2007年
- 本文分析了电容型湿度传感器的电极和感湿膜的几何形状,设置感湿膜单元结构为圆柱体或者瓶径体等形状,增大接触面积以减少响应时间,整体感湿膜单元排列成圆环形阵列,上电极也采用圆环形阵列排列,覆盖在感湿单元阵列上方。最后对设计的传感器灵敏度,响应时间等性能进行了分析,得出了有益的结论。
- 苏凤陈向东
- 关键词：聚酰亚胺圆柱体阵列
- 孔深孔径对多孔湿度传感器灵敏度的影响被引量：1
- 2008年
- 湿度传感器有电阻和电容等类型,由此可以从电阻和电容等方面分析湿度的变化。根据多孔A l2O3电容湿度传感器微观结构,建立了该器件的等效电路模型,利用此模型讨论了孔深和孔径对多孔A l2O3湿度传感器性能的影响。根据孔深孔径的合理取值范围,通过仿真,找出孔高比与面积占空比的最佳值,提高了湿度传感器的灵敏度。
- 苏凤陈向东严峻
- 关键词：多孔湿度传感器电容特性
- 新型MEMS气体传感器及其理论模型
- 2008年
- 提出了一种基于Si压阻效应的新型MEMS气体传感器,其结构主要是由制作在Si薄膜表面的惠斯通电桥和在Si薄膜表面淀积的一层聚合物气敏薄膜构成。应用弹性力学薄板原理建立了该气体传感器中Si薄膜与聚合物薄膜相互作用的理论模型,提出了气体传感器的等效横向气体载荷qg并由此导出了传感器的最终输出公式。理论分析表明该传感器的输出具有很好的线性,而且结构简单,无须加热,应用MEMS工艺技术可实现与信号处理电路的集成。
- 严俊陈向东李辉苏凤罗雪松
- 关键词：压阻式气体传感器硅薄膜
- 一种新型压阻式气体传感器及其理论建模
- 本文提出了一种基于硅压阻效应的新型气体传感器,其结构主要是由制作在硅薄膜表面的惠斯通电桥和在硅薄膜表面积淀的一层聚合物气敏薄膜构成。聚合物气敏薄膜在吸收气体后会导致硅薄膜变形,此变形将通过压阻式惠斯通电桥转变成电压输出....
- 严俊陈向东李辉苏凤罗雪松
- 关键词：气体传感器硅薄膜压阻效应
- 文献传递
