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严俊

作品数：8 被引量：3H指数：1
供职机构：西南交通大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金四川省学术和技术带头人培养资金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 2篇学位论文
  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 3篇自动化与计算...
  • 1篇文化科学

主题

  • 7篇气体传感
  • 7篇气体传感器
  • 7篇感器
  • 7篇传感
  • 7篇传感器
  • 4篇应变电阻
  • 4篇有机气体
  • 2篇电机
  • 2篇压差
  • 2篇压阻
  • 2篇压阻式
  • 2篇阵列
  • 2篇气体传感器阵...
  • 2篇微电机
  • 2篇功耗
  • 2篇硅薄膜
  • 2篇测区
  • 2篇传感器阵列
  • 1篇压阻效应
  • 1篇职业教育

机构

  • 8篇西南交通大学

作者

  • 8篇严俊
  • 6篇陈向东
  • 2篇罗雪松
  • 2篇苏凤
  • 2篇李辉

传媒

  • 1篇半导体技术
  • 1篇四川省电子学...

年份

  • 1篇2012
  • 2篇2009
  • 2篇2008
  • 3篇2007
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
一种气体传感器及其阵列
一种气体传感器及其阵列，气体传感器的组成为：硅基片(1)的背面制作有一杯状空腔(2)，杯状空腔(2)的顶部为硅应变膜片(3)；硅应变膜片(3)中分布有四个应变电阻(5、6、7、8)并相连构成惠斯通电桥；硅应变膜片(3)的...
陈向东严俊
文献传递
川南地区中等职业教育与高等职业教育递接机制和对策研究
我国高度重视职业教育发展，目前随着经济建设和社会进步，人力资源和技能型人才出现大量缺口，国家在《中长期教育改革和发展规划纲要》中明确指出，2020年之前，我国将大力发展中等职业教育。四川省作为我国西部省份，是人口大省，也...
严俊
关键词：中等职业教育高等职业教育办学能力
新型MEMS气体传感器研究
本文应用弹性力学薄板原理对气体传感器理论模型作了研究，建立了该气体传感器中硅薄膜与聚合物气敏薄膜相互作用的理论模型，建立了半覆盖双层薄膜弯曲的微分方程，对微分方程中的弯曲刚度系数作了修正，提出了气体传感器的等效横向气体载...
严俊
关键词：气体传感器
文献传递
一种气体传感器及其阵列
一种气体传感器及其阵列，气体传感器的组成为：硅基片(1)的背面制作有一杯状空腔(2)，杯状空腔(2)的顶部为硅应变膜片(3)；硅应变膜片(3)中分布有四个应变电阻(5、6、7、8)并相连构成惠斯通电桥；硅应变膜片(3)的...
陈向东严俊
文献传递
一种具有压差补偿功能的气体传感器
一种具有压差补偿功能的气体传感器，其组成为：硅基片上制作有两个完全相同且相邻的杯状感压结构，每个杯状感压结构包括一个感压膜片和在其周围起支撑作用的基座，感压膜片中分布有四个应变电阻并相连构成惠斯通电桥；其中一个杯状感压结...
陈向东严俊
文献传递
一种具有压差补偿功能的气体传感器
一种具有压差补偿功能的气体传感器，其组成为：硅基片上制作有两个完全相同且相邻的杯状感压结构，每个杯状感压结构包括一个硅应变膜片和在其周围起支撑作用的基座，硅应变膜片中分布有四个应变电阻并相连构成惠斯通电桥；其中一个杯状感...
陈向东严俊
文献传递
新型MEMS气体传感器及其理论模型
2008年
提出了一种基于Si压阻效应的新型MEMS气体传感器,其结构主要是由制作在Si薄膜表面的惠斯通电桥和在Si薄膜表面淀积的一层聚合物气敏薄膜构成。应用弹性力学薄板原理建立了该气体传感器中Si薄膜与聚合物薄膜相互作用的理论模型,提出了气体传感器的等效横向气体载荷qg并由此导出了传感器的最终输出公式。理论分析表明该传感器的输出具有很好的线性,而且结构简单,无须加热,应用MEMS工艺技术可实现与信号处理电路的集成。
严俊陈向东李辉苏凤罗雪松
关键词：压阻式气体传感器硅薄膜
一种新型压阻式气体传感器及其理论建模
本文提出了一种基于硅压阻效应的新型气体传感器,其结构主要是由制作在硅薄膜表面的惠斯通电桥和在硅薄膜表面积淀的一层聚合物气敏薄膜构成。聚合物气敏薄膜在吸收气体后会导致硅薄膜变形,此变形将通过压阻式惠斯通电桥转变成电压输出....
严俊陈向东李辉苏凤罗雪松
关键词：气体传感器硅薄膜压阻效应
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