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冯伯编

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家重点实验室开放基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电路
  • 1篇驻波
  • 1篇微光刻
  • 1篇集成电路
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻技术

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇张锦
  • 1篇陈芬
  • 1篇冯伯编
  • 1篇范建兴

传媒

  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇1998
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
微光刻中的驻波效应研究
1998年
本文阐述了驻波效应的成因及其对微细图形光刻，特别是对深亚微米和亚半微米光刻的影响；分析了驻波强度分布；根据抗蚀剂的物理和化学机制，建立了抗蚀剂显影过程的数学和物理模型，并开展了计算机模拟和光刻曝光实验；研究了减小驻波效应的方法；给出了部分模拟和实验结果。
冯伯编张锦范建兴陈芬
关键词：光刻技术集成电路
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共1页<1>
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