孙慧婷
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：长春理工大学更多>>
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- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 利用干涉光刻和双光子聚合技术制造带有功能缺陷的二维光子晶体(英文)被引量：1
- 2011年
- 光子晶体是一种介电常数呈周期性变化的介质材料,它由介电常数不同的两种材料周期排列组成,因其周期性而产生了光子禁带,为了产生比较大的光子禁带宽度,这两种材料的介电常数比一般大于2,光子晶体可以使某一频段上的光波无法通过,继而达到滤波的目的.设计了在硅基底上制作六边形孔阵的二维光子晶体的方法,这个结构具有特殊的光学特性;经过实验尝试,最终得到了能够制造符合要求的光子晶体的尺寸参数.制作这样的光子晶体要在涂有光刻胶的硅基质上进行一步干涉光刻,为完成这个光刻实验搭建了三光束光刻光路,通过多次曝光实验得到了符合仿真数据的光子晶体结构参数.通过利用双光子聚合的方法在光刻胶上可以制作点或是线缺陷,再利用如三电极电化学(HF溶液)等方法对光刻胶进行刻蚀,可制造空气柱深宽比相对较大的光子晶体.将这个模型记录在硅基底上,形成的光子晶体就具有如滤波等特殊能力.也可以利用相同的原理得到想要的光子晶体结构,以控制不同频段上的光波.这种工艺提供了更快速、低成本的制造更大型、更复杂的所需光子晶体结构的可能.
- 孙慧婷宋正勋翁占坤王大鹏蒋伊爽于烨
- 关键词：光子晶体干涉光刻
- 基于全息光子晶体的光滤波器设计
- 本课题设定的目标是在硅基底上设计制作具有大深宽比三角形排列的二维光子晶体孔阵结构作为优质滤波器来达到光滤波的目的，这种滤波器的光反射率几乎达到100％。这个结构具有特别的光学特性可以对入射光的反射和透射行为进行控制，我们...
- 孙慧婷
- 关键词：光子晶体结构
