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李文菊

作品数：8 被引量：2H指数：1
供职机构：华中理工大学机械科学与工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
相关领域：机械工程电子电信金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇中文期刊文章

领域

  • 3篇金属学及工艺
  • 3篇机械工程
  • 3篇电子电信

主题

  • 3篇扫描隧道显微...
  • 2篇原子力显微镜
  • 2篇扫描探针显微...
  • 2篇隧道效应
  • 2篇轮廓仪
  • 2篇宽范围
  • 2篇测量范围
  • 1篇扫描探针
  • 1篇实时数据
  • 1篇实时数据采集
  • 1篇数据采集
  • 1篇数字控制
  • 1篇隧道结
  • 1篇隧道式
  • 1篇图像
  • 1篇图像系统
  • 1篇灵敏度
  • 1篇敏度
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米级

机构

  • 5篇华中理工大学
  • 3篇华中科技大学

作者

  • 8篇张鸿海
  • 8篇李文菊
  • 6篇曹伟
  • 6篇师汉民
  • 4篇陈日曜
  • 4篇周学夫
  • 2篇江福祥
  • 1篇熊良山
  • 1篇陈日耀

传媒

  • 2篇仪器仪表学报
  • 2篇航空精密制造...
  • 1篇制造技术与机...
  • 1篇工具技术
  • 1篇湖北工学院学...
  • 1篇华中理工大学...

年份

  • 2篇1996
  • 5篇1995
  • 1篇1994
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
扫描隧道显微镜数字控制及图像系统
1995年
本文介绍了扫描隧道显微镜实时数据采集、控制及图像系统。该系统由３８６微机与高性能专用接口电路及软件组成，可实现ＳＴＭ实时数字反馈控制及成像。提供了强大的数据处理、图像处理及表面分析与特征提取功能。试验表明该系统性能稳定，控制精度高，设计与使用有较大的灵活性，可获高质量图像。
周学夫张鸿海曹伟李文菊
关键词：扫描隧道显微镜数字控制反馈控制接口电路设计实时数据采集图像系统
精密工程中应用的宽范围原子力显微镜的研究
1995年
描述了一种用于精密工程中超精密测量的宽范围原子力显微镜．用管状扫描器工作时，测量范围可达２μｍ×２μｍ，能获得原子级的分辨率．当用新开发的定范围工作台扫描时，测量范围可为１４０μｍ×１４０μｍ；分辨率可在１～１００ｎｍ之间调节．
张鸿海曹伟江福祥李文菊周学夫师汉民陈日曜熊良山
关键词：原子力显微镜
具有宽测量范围的扫描探针显微镜被引量：1
1995年
本文介绍了具有宽测量范围（１４０×１４０μｍ２）的高灵敏度扫描探针显微镜，它能对Φ１３０ｍｍ的磁盘、光盘表面纳诺形貌和集成电路芯片光刻质量等进行多模式测量。本文给出了部分试验结果，如高定向石墨的原子图像与光栅和超精密磨削试件表面的纳米级形貌图。
张鸿海李文菊周学夫曹伟
关键词：扫描探针显微镜超精密磨削高定向石墨隧道结
STM式三维nm级轮廓仪的研究被引量：1
1996年
基于ＳＴＭ式三维ｎｍ级轮廓仪的检测原理、检测系统，研究了与其相关的检测技术．该轮廓仪可直接测量较大工件，扫描范围为１４０μｍ×１４０μｍ，分辨率达ｎｍ级．最后对工作台扫描非线性及扫描控制技术进行讨论，并利用多项式拟合法补偿工作台扫描的非线性误差，进而提出了一种平滑反馈扫描技术．
李文菊张鸿海师汉民陈日曜
关键词：扫描隧道显微镜轮廓仪
基于隧道效应的纳米级轮廓仪
1995年
介绍了一种利用量子力学中隧道效应原理工作的纳米级轮廓仪．它可对直径为１３０ｍｍ的光盘、磁盘等较大工件表面直接进行测量，扫描范围为１×１～１４０×１４０μｍ２，Ｘ，Ｙ方向扫描步长为１～８００ｎｍ可调，横向分辨率达几个纳米，纵向分辨率优于１ｎｍ．利用该装置已测得精密光栅、精磨祥块、金刚石镜面车削等表面的纳米级形貌．
李文菊张鸿海师汉民陈日耀
关键词：隧道效应扫描隧道显微镜
具有宽测量范围的扫描探针见微镜研究
1995年
介绍了具有宽测量范围（１４０×１４０μｍ２）的高灵敏度扫描探针显微镜（ＳＰＭ）。仅用了６个需加工的零件，构造出了直接对１３０ｍｍ的磁盘、光盘表面纳诺形貌和集成电路芯片光刻质且检查分析的多模式测量仪器。通过更换测头，可以在扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）、原子力显微镜（ＡＦＭ）、磁力显微镜（ＭＰＭ）与静电力显微镜（ＥＦＭ）模式下工作。本文给出了部份试验结果，如高定向石墨的原子图像、光栅和超精密磨削试件表面的纳米级形貌图。
张鸿海曹伟师汉民陈日曜李文菊周学夫
关键词：灵敏度扫描探针显微镜
应用于精密工程的宽范围原子力显微镜研究
1994年
本文描述了一种用于精密工程中超精密测量的宽范围原子力显微镜．当用管状扫描器工作时，测量范围可达２×２μｍ２，能获得原子级的分辨率．当用新开发的宽范围工作台扫描时，测量范围可为１４０×１４０μｍ２，分辨率可在１～１００ｎｍ之间调节．
张鸿海曹伟江福祥李文菊周学夫师汉民陈日曜
关键词：原子力显微镜
隧道式纳米级轮廓仪的研究
1996年
介绍两种结构形式的基于电子隧道效应的纳米级三维轮廓仪。其纵向分辨率可达０．０２ｎｍ，横向分辨率可达０．２ｎｍ，扫描范围分别为４０μｍ×４０μｍ和１４μｍ×１４０μｍ。可直接对φ５０ｍｍ和φ１３０ｍｍ的大尺寸样品表面进行纳米级的超微观形貌检测与分析。文中给出了一些超精表面的超微观形貌测量的结果。
李文菊张鸿海曹伟师汉民
关键词：纳米级隧道效应轮廓仪
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