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周学夫
作品数:
6
被引量:5
H指数:1
供职机构:
华中理工大学
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发文基金:
国家教育部博士点基金
国家自然科学基金
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相关领域:
机械工程
电子电信
金属学及工艺
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合作作者
曹伟
华中科技大学
张鸿海
华中科技大学
江福祥
华中科技大学
李文菊
华中科技大学
师汉民
华中科技大学
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6篇
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4篇
机械工程
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金属学及工艺
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电子电信
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原子力显微镜
3篇
扫描隧道显微...
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宽范围
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定位机构
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机构
4篇
华中科技大学
2篇
华中理工大学
作者
6篇
张鸿海
6篇
曹伟
6篇
周学夫
4篇
江福祥
4篇
李文菊
3篇
师汉民
2篇
陈日曜
1篇
杨叔子
1篇
熊良山
传媒
3篇
仪器仪表学报
1篇
计量学报
1篇
湖北工学院学...
1篇
航空精密制造...
年份
1篇
1996
4篇
1995
1篇
1994
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具有宽测量范围的扫描探针显微镜
被引量:1
1995年
本文介绍了具有宽测量范围(140×140μm2)的高灵敏度扫描探针显微镜,它能对Φ130mm的磁盘、光盘表面纳诺形貌和集成电路芯片光刻质量等进行多模式测量。本文给出了部分试验结果,如高定向石墨的原子图像与光栅和超精密磨削试件表面的纳米级形貌图。
张鸿海
李文菊
周学夫
曹伟
关键词:
扫描探针显微镜
超精密磨削
高定向石墨
隧道结
基于隧道效应的原子力显微镜的研制
被引量:4
1995年
本文给出了一种基于隧道效应的原子力显微镜的设计,以及部分测试结果。机械部分利用了金属的弹性变形,研制出的机械定位机构可在毫米级的范围内达到亚纳米级的定位分辨率。初步的实验表明,这是一种结构简单、刚性好、操作方便的多模态、多功能原子力显微镜。
曹伟
张鸿海
周学夫
江福祥
关键词:
原子力显微镜
隧道效应
分辨率
纳米级
定位机构
扫描隧道显微镜
一种宽范围扫描隧道显微镜
1996年
给出了针对超精表面纳米形貌检测需要而研制的一种实用型宽范围扫描隧道显微镜(STM),扫描范围为40×40×10μm^3,配有一个放大倍数可调的光学显微镜帮助选择视场,可测量较大尺寸试件。实验表明,该STM所测图像清晰、使用方便、结构简单,适于产品化。
曹伟
张鸿海
周学夫
江福祥
师汉民
杨叔子
关键词:
扫描隧道显微镜
显微镜
扫描隧道显微镜数字控制及图像系统
1995年
本文介绍了扫描隧道显微镜实时数据采集、控制及图像系统。该系统由386微机与高性能专用接口电路及软件组成,可实现STM实时数字反馈控制及成像。提供了强大的数据处理、图像处理及表面分析与特征提取功能。试验表明该系统性能稳定,控制精度高,设计与使用有较大的灵活性,可获高质量图像。
周学夫
张鸿海
曹伟
李文菊
关键词:
扫描隧道显微镜
数字控制
反馈控制
接口电路设计
实时数据采集
图像系统
应用于精密工程的宽范围原子力显微镜研究
1994年
本文描述了一种用于精密工程中超精密测量的宽范围原子力显微镜.当用管状扫描器工作时,测量范围可达2×2μm2,能获得原子级的分辨率.当用新开发的宽范围工作台扫描时,测量范围可为140×140μm2,分辨率可在1~100nm之间调节.
张鸿海
曹伟
江福祥
李文菊
周学夫
师汉民
陈日曜
关键词:
原子力显微镜
精密工程中应用的宽范围原子力显微镜的研究
1995年
描述了一种用于精密工程中超精密测量的宽范围原子力显微镜.用管状扫描器工作时,测量范围可达2μm×2μm,能获得原子级的分辨率.当用新开发的定范围工作台扫描时,测量范围可为140μm×140μm;分辨率可在1~100nm之间调节.
张鸿海
曹伟
江福祥
李文菊
周学夫
师汉民
陈日曜
熊良山
关键词:
原子力显微镜
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