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李杰
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2
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供职机构:
电子科技大学微电子与固体电子学院
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相关领域:
理学
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合作作者
邓宏
电子科技大学微电子与固体电子学...
杨邦朝
电子科技大学微电子与固体电子学...
韦敏
电子科技大学微电子与固体电子学...
邓雪然
电子科技大学微电子与固体电子学...
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光电探测器
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四川省电子学...
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铬硅薄膜电阻跟踪特性研究
通过对铬硅薄膜电阻变化机理的研究,分析了可能影响薄膜电阻跟踪特性的几个因素:光刻方式、退火处理温度和时间以及激光修调等,最终研制出跟踪特性良好的铬硅薄膜电阻。
崔伟
李杰
任芳
张扬波
张正元
何开全
刘玉奎
杨邦朝
关键词:
电学性能
跟踪控制
AlxZn1-xO合金光电探测器研究
在硅衬底上磁控溅射制备 AlxZn1-xO(AZO)合金薄膜,在其上真空蒸发Ni/Au叉指电极获得MSM结构光电探测器。AZO合金薄膜对紫外和可见光有高于80%的透过率,随Al含量增加,光学吸收带边呈蓝移趋势,且其电流与...
韦敏
李杰
邓雪然
邓宏
关键词:
光谱响应
光电探测器
电压特性
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