王大甲
- 作品数：10 被引量：12H指数：2
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：中国科学院“百人计划”更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电气工程更多>>
- 基于微悬臂梁的化学传感器的灵敏度研究被引量：5
- 2008年
- 基于探测的原理,在动态模式下,首先对不同结构梁的本征频率偏移量进行了有限元分析,结果表明三角形梁的灵敏度最高。然后重点针对不同结构参数的三角形梁进行了动态计算,获得了其频率偏移量随结构参数变化的关系曲线。另外,通过静态模式下的有限元计算,发现各种梁自由端的偏移量相同,表明它们的静态灵敏度与形状无关。最后,对三角形梁在不同测量模式下结构参数的优化设计进行了分析。
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- 关键词：动态模式
- 高隔离度X波段RF MEMS电容式并联开关被引量：1
- 2008年
- 研究了一种新型的、应用于X波段的高隔离度RF MEMS电容式并联开关结构。相比于普通的并联结构,该开关通过共面波导(CPW)传输线与地平面之间的衬底刻槽结构将隔离度提高了7dB,关态时在13.5GHz谐振频率处的隔离度为-54.6dB,执行电压为26V。弹簧梁结构开关的执行电压下降为14V,在11GHz处其隔离度为-42.8dB。通过两个并联开关级联与开关间的高阻传输线构成的π型调谐开关电路,在11.5GHz处的隔离度为-81.6dB。
- 张理姚军王大甲饶青钟洪声
- 关键词：射频微机电系统隔离度X波段
- MEMS二维静电驱动扫描镜设计和分析被引量：6
- 2009年
- 给出了一种静电驱动二维微扫描镜的设计和制造方案,所设计的扫描镜具有绕X轴和Y轴转动的两个自由度,并具有体积小、功耗低、频率高等优点。推导了镜面旋转角表达式并分析了吸合效应。利用POL YMUMPS工艺完成了对扫描镜的加工,并着重分析了关键工艺步骤。结合有限元分析软件,对微扫描镜的频率特性以及静态旋转特性进行了分析和研究。分析结果表明,在120V和160V的电压下,扫描镜可分别产生沿X轴方向的±5.0°和沿Y轴方向±4.4°的偏转角。优化后的扫描镜能够工作在单频率状态下,具有较高的响应速度。
- 马文英姚军任豪王大甲
- 关键词：MEMS模态偏转角
- 一种静电驱动的F－P腔MEMS波长可调滤波器
- 本发明公开了一种静电驱动的F－P腔MEMS波长可调滤波器，包含一个F－P腔，其特征在于：在F－P腔的四周连有4个静电驱动器，4个静电驱动器的上极板分别通过4根连接杆与F－P腔的前腔面相连，4个静电驱动器的下极板与F－P腔...
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- 文献传递
- 一种基于杠杆放大原理的静电驱动MEMS变形镜
- 本发明公开了一种基于杠杆放大原理的MEMS变形镜，包含至少两个杠杆放大静电驱动器，至少两个连接梁，一个支撑结构和一个镜面；杠杆放大静电驱动器通过连接梁与支撑结构连接，支撑结构通过连接体与镜面相连；所述的杠杆放大静电驱动器...
- 姚军任豪王大甲
- 文献传递
- 大行程MEMS微变形镜研究
- 近年来，在自适应光学应用领域，基于MEMS技术的变形镜相比于传统变形镜具有体积小、重量轻以及结构紧凑等优点，成为了微小型自适应光学系统研究的热点。当前的MEMS微变形镜主要采用硅基表面牺牲层工艺，但由于受到工艺本身以及静...
- 王大甲
- 关键词：自适应光学MEMS技术
- 一种静电驱动的F-P腔MEMS波长可调滤波器
- 本发明公开了一种静电驱动的F-P腔MEMS波长可调滤波器，包含一个F-P腔，其特征在于：在F-P腔的四周连有4个静电驱动器，4个静电驱动器的上极板分别通过4根连接杆与F-P腔的前腔面相连，4个静电驱动器的下极板与F-P腔...
- 姚军王大甲胡放荣邱传凯
- 文献传递
- 一种基于SOI晶片的静电驱动MEMS变形镜
- 一种基于SOI晶片的静电驱动MEMS变形镜，其中SOI晶片从上到下包括硅器件层、二氧化硅层、硅衬底层，其特征在于：镜面位于SOI晶片的硅器件层之上；镜面和SOI晶片之间是通过连接杆来连接；上极板形成在SOI晶片的硅器件层...
- 姚军王大甲邱传凯
- 文献传递
- 一种基于杠杆放大原理的静电驱动MEMS变形镜
- 本发明公开了一种基于杠杆放大原理的MEMS变形镜，包含至少两个杠杆放大静电驱动器，至少两个连接梁，一个支撑结构和一个镜面；杠杆放大静电驱动器通过连接梁与支撑结构连接，支撑结构通过连接体与镜面相连；所述的杠杆放大静电驱动器...
- 姚军任豪王大甲
- 文献传递
- 一种基于SOI晶片的静电驱动MEMS变形镜
- 一种基于SOI晶片的静电驱动MEMS变形镜，其中SOI晶片从上到下包括硅器件层、 二氧化硅层、硅衬底层，其特征在于：镜面位于SOI晶片的硅器件层之上；镜面和SOI晶片之间是通过连接杆来连接；上极板形成在SOI晶片的硅器件...
- 姚军王大甲邱传凯
- 文献传递
