任豪
- 作品数：7 被引量：6H指数：1
- 供职机构：中国科学院研究生院更多>>
- 发文基金：中科院创新基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
- MEMS二维静电驱动扫描镜设计和分析被引量：6
- 2009年
- 给出了一种静电驱动二维微扫描镜的设计和制造方案,所设计的扫描镜具有绕X轴和Y轴转动的两个自由度,并具有体积小、功耗低、频率高等优点。推导了镜面旋转角表达式并分析了吸合效应。利用POL YMUMPS工艺完成了对扫描镜的加工,并着重分析了关键工艺步骤。结合有限元分析软件,对微扫描镜的频率特性以及静态旋转特性进行了分析和研究。分析结果表明,在120V和160V的电压下,扫描镜可分别产生沿X轴方向的±5.0°和沿Y轴方向±4.4°的偏转角。优化后的扫描镜能够工作在单频率状态下,具有较高的响应速度。
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- 关键词：MEMS模态偏转角
- 一种基于键合工艺的三层连续面型MEMS变形镜的制作工艺
- 一种基于键合工艺的三层连续面型MEMS变形镜的制作工艺，主要包括在SOI晶片上表面干法刻蚀出释放孔，将SOI晶片中间氧化层进行部分释放，对SOI晶片下表面进行湿法刻蚀，并在另一块基片(硅片或玻璃上)上沉积金属作为电极结构...
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- 文献传递
- 一种基于杠杆放大原理的静电驱动MEMS变形镜
- 本发明公开了一种基于杠杆放大原理的MEMS变形镜，包含至少两个杠杆放大静电驱动器，至少两个连接梁，一个支撑结构和一个镜面；杠杆放大静电驱动器通过连接梁与支撑结构连接，支撑结构通过连接体与镜面相连；所述的杠杆放大静电驱动器...
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- 文献传递
- 新型静电驱动双向平动MEMS变形镜(英文)
- 2012年
- 设计了一种新型静电驱动双向平动的MEMS变形镜,其结构包括3部分:中央下电极,4个静电驱动杠杆结构以及反射镜面(上电极).该变形镜有两种驱动模式:向下驱动模式和向上驱动模式.在向上驱动时,4个杠杆结构实现了位移的放大;向下驱动时,利用了非线性弹性系数法扩展了镜面的平动范围.采用表面硅工艺完成了变形镜的加工.通过白光干涉仪对变形镜的测试表明:在向上驱动模式下,变形镜在驱动电压为31 V时位移达到1.1μm;在向下驱动模式下,变形镜在6 V的驱动电压下位移达到1.1μm.变形镜的总行程为2.2μm,达到了同样工艺下传统变形镜的3倍左右.
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- 关键词：MEMS变形镜
- 一种新型MEMS离面驱动器的设计与分析
- 2009年
- 提出了一种基于静电排斥效应的MEMS离面驱动器,在消除静电拉入效应的同时得到了较大的静电排斥力。驱动器主要由三个下极板、一个上极板和弹簧梁组成。首先进行了静电排斥现象原理的分析,然后对弹簧梁中有和没有横梁时的弹性系数和模态进行了详细分析和对比,最后对驱动器的行程、驱动力、频率响应和带宽等性能进行了分析。结果表明,存在横梁时结构更加稳定,施加200V电压时,结构有2.5μm的位移和28μN的驱动力,而且带宽约为7kHz。该驱动器可运用于光通信和空间光调制等领域。
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- 关键词：微机电系统模态带宽
- 一种基于杠杆放大原理的静电驱动MEMS变形镜
- 本发明公开了一种基于杠杆放大原理的MEMS变形镜，包含至少两个杠杆放大静电驱动器，至少两个连接梁，一个支撑结构和一个镜面；杠杆放大静电驱动器通过连接梁与支撑结构连接，支撑结构通过连接体与镜面相连；所述的杠杆放大静电驱动器...
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- 文献传递
- 一种基于键合工艺的三层连续面型MEMS变形镜的制作工艺
- 一种基于键合工艺的三层连续面型MEMS变形镜的制作工艺，主要包括在SOI晶片上表面干法刻蚀出释放孔，将SOI晶片中间氧化层进行部分释放，对SOI晶片下表面进行湿法刻蚀，并在另一块基片(硅片或玻璃上)上沉积金属作为电极结构...
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- 文献传递
