许婕
- 作品数：23 被引量：98H指数：7
- 供职机构：中国计量科学研究院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金博士研究生创新基金更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术电子电信理学更多>>
- 高精度位移传感器测量
- 利用高精度的F-P激光干涉仪,研制了一套用于高精度位移传感器的校准装置,可以校准示值误差为十几个纳米到几十个纳米的高精度位移传感器.测量原理是利用F-P激光干涉仪的灵敏度高、测量精度高等特点,将干涉仪和被测传感器同时测量...
- 裴丽梅许婕苏永昌郑庆国王自军
- 关键词：位移传感器激光干涉仪校准装置
- 文献传递
- 高精度位移传感器测量被引量：1
- 2006年
- 利用高精度的F-P激光干涉仪,研制了一套用于高精度位移传感器的校准装置,可以校准示值误差为十几个纳米到几十个纳米的高精度位移传感器.测量原理是利用F-P激光干涉仪的灵敏度高、测量精度高等特点,将干涉仪和被测传感器同时测量放置在精密位移工作台上,通过比较激光干涉仪移动镜的位移量和被测传感器的位移量间的差异,得出被测传感器的线性,整个测量过程完全由计算机控制.该系统测量范围为0～25mm,测量不确定度为6 nm+l/2 nm(k=1).
- 裴丽梅许婕苏永昌郑庆国王自军
- 关键词：计量学位移传感器法布里-珀罗干涉仪
- 测量微位移的法-珀干涉仪被引量：15
- 1993年
- 研制了一种新型的折叠腔法-珀干涉仪,可适用于测量范围为100 nm以内的纳米级及数十毫米内的亚微米级位移测量,测量不确定度优于2nm。
- 徐毅叶孝佑李成阳许婕高峰
- 关键词：干涉仪
- 可调合成波长链绝对距离干涉测量被引量：4
- 2002年
- 本文提出一种利用半导体激光器的波长调谐特性实现的可调合成波长链绝对距离干涉测量方法 ,针对不同的待测距离 ,可选择不同的合成波长链 ,完成对待测距离的由粗测到精测的整个过程。文中基于这种方法构建了干涉测量系统 ,该系统利用压电陶瓷调制的在一条直线上的两个双光束干涉仪 ,使待测距离被包含于一个交流信号的相位项中 ,从而使小数条纹的测量转化为相位测量 ,合成波干涉条纹的小数级次由单波长干涉信号的相位测量值计算得到。文中以外尺寸测量为例描述了实验装置 ,实验结果表明 ,在现有的测量系统和实验条件下 ,待测距离小于 5mm时的测量极限偏差优于 2 0μm。
- 晁志霞殷纯永徐毅许婕
- 关键词：外腔半导体激光器绝对距离测量稳频技术调谐特性
- 用于大范围纳米测量的法布里-珀罗干涉仪被引量：17
- 1999年
- 本文在中国计量科学研究院研制的差拍法－ 珀干涉仪基础上，分析了其测量范围过小的本质原因，提出扩大差拍法－ 珀干涉仪测量范围的方法———换模锁定法，将激光频率依次锁定于法－ 珀腔的各个干涉级次，从而突破了激光器调谐范围的限制，拓深了该系统实现大范围纳米测量的能力。实验结果表明，在目前的实验条件下，换模锁定法的采用使该干涉仪的测量范围从原来的０１８ μｍ 左右扩大为１１ μｍ 。本文对实验结果进行了误差分析。
- 晁志霞许婕徐毅
- 关键词：干涉仪
- 高精度微位移差拍激光干涉仪被引量：13
- 1990年
- 本文介绍用于高精度微位移测量的差拍激光干涉仪,其不确定度优于1×10^(-3)μm,可望作为研究多种微位移测量方法的标准。
- 徐毅叶孝佑李成阳邹玲丁许婕高峰
- 关键词：激光干涉仪微位移测量差拍
- 激光干涉仪非线性的测量被引量：10
- 2003年
- 激光干涉仪和高精度位移传感器的非线性一般为1～5nm,为了对这样的非线性进行测量,必须使用高精度测量方法,并建立高精度测量装置。文中描述了高精度拍频法布里 珀罗激光干涉仪,和利用它对工业激光干涉仪的非线性进行的测量实验。测量范围大于1.3μm,测量不确定度约为2nm。
- 许婕徐毅叶孝佑
- 关键词：计量学
- 扫描探针显微镜的发展与应用被引量：5
- 1998年
- 扫描隧道显微镜和原子力显微镜的发明大大促进了扫描探针显微镜的发展。本文介绍扫描隧道显微镜和原子力显微镜的基本工作原理、发展背景以及以扫描隧道显微镜和原子力显微镜为基础衍生出来的各种扫描探针显微镜的应用。扫描探针显微镜是一种新的探测仪器，它在三维方向上的分辨率均可以达到原子量级的水平，因此在微电子学、微机械学、计量学、化学和生物医学等领域中有广泛的应用前景。
- 曹世智徐毅赵克功许婕
- 关键词：扫描隧道显微镜原子力显微镜扫描探针显微镜
- 激光功率变化引起的非线性误差对纳米测量精度的影响被引量：4
- 1994年
- 拍频干涉法可用于纳米、亚纳米级精度的位移测量，其测量不确定度主要取决于单位频差─—位移当量的非线性。本文对影响非线性的因素进行了试验分析和理论计算，结果表明，非线性范围为０．０７～１．５ｎｍ。
- 许婕徐毅李成阳
- 关键词：干涉仪纳米级激光功率
- 用于线宽测量的偏振干涉共焦显微测量方法被引量：3
- 2005年
- 提出一种融合共焦显微技术和偏振干涉技术的偏振干涉共焦显微测量方法。利用共焦技术进行准确的焦点定位,以获得最佳的测量光斑;同时,利用照射到台阶边缘的不同偏振方向(平行和垂直于台阶边缘)的线偏振光反射后产生的相位变化不同这一特性,进行边缘定位。相位变化是利用外差干涉测相的方法得到的。这一系统完全符合共光路原则,有很强的抗干扰能力。利用该系统对标准线宽样板进行了测量,测量结果与中国计量科学研究院用原子力显微镜测量的结果,以及厂商提供的可溯源到美国NIST光学线宽标准的测量值都符合的很好;还对同一刻线进行了5次重复性测量,其极限偏差为20nm。
- 柳忠尧闫聚群张蕊林德教殷纯永叶孝佑许婕
- 关键词：计量学线宽共焦显微术
