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佟辉

作品数：36 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院更多>>
相关领域：电气工程交通运输工程一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 36篇中文专利

领域

  • 2篇电气工程
  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 15篇真空设备
  • 12篇溅射
  • 12篇磁控
  • 9篇籽晶
  • 9篇法兰
  • 8篇镀膜
  • 8篇镀膜设备
  • 8篇磁控溅射
  • 7篇水冷
  • 6篇传动
  • 6篇传动装置
  • 5篇电机
  • 5篇膨胀节
  • 5篇离子束
  • 5篇高温环境
  • 5篇长轴
  • 5篇磁控溅射靶
  • 4篇自转
  • 4篇冷却水
  • 4篇基片

机构

  • 36篇中国科学院

作者

  • 36篇佟辉
  • 23篇郭东民
  • 15篇黄晓霞
  • 14篇冯彬
  • 14篇刘丽华
  • 13篇王宏宇
  • 12篇王尧
  • 10篇周景玉
  • 10篇张国栋
  • 10篇吕琪
  • 8篇戚晖
  • 8篇张雪
  • 6篇刘大为
  • 6篇鲁向群
  • 6篇孙影
  • 3篇汪良
  • 3篇周颖
  • 3篇李鹏
  • 3篇雷震霖
  • 3篇金振奎

年份

  • 1篇2015
  • 8篇2013
  • 11篇2012
  • 9篇2011
  • 5篇2010
  • 2篇2009
共 36 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种离子束辅助多弧离子镀真空镀膜机
本发明涉及真空镀膜设备，具体地说是一种离子束辅助多弧离子镀真空镀膜机，包括真空室、真空抽气系统及机架，真空室安装在机架上，真空抽气系统与真空室密封连接；所述真空室内设有与其密封连接的中心转轴，中心转轴的底端与安装在机架上...
张健孟凡荣张军周景玉佟辉
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用于籽晶传动装置的称重机构
一种用于籽晶传动装置的称重机构，属于真空设备技术领域。包括外框、称重传感器、调节支座和膨胀节组件，所述外框固定在籽晶轴的顶端法兰上，籽晶轴的顶端法兰下端面密封安装有膨胀节组件，支座固定在籽晶轴侧面膨胀节组件的下法兰上，安...
王宏宇郭东民黄晓霞张国栋佟辉吕琪王尧
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一种可长期在真空设备的高温环境下工作的水冷轴
本发明属于真空设备领域，具体地说是一种可长期在真空设备的高温环境下工作的水冷轴，包括轴端、导水管、长轴、进出水嘴，长轴的一端设有盲孔，盲孔的开口端连接有同样内部设有盲孔的轴端，长轴及轴端的两个盲孔对接组成的空间内设有与长...
黄晓霞郭东民佟辉吕棋王尧
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用于真空设备的支撑结构
一种用于真空设备的支撑结构，属于真空设备技术领域。包括铝型材结构的上支架、下支架、加强筋、支撑柱及内嵌条，在所述支撑柱两端分别固定上、下支架，在上、下支架与支撑柱形成的夹角间分别设置加强筋，在支撑柱内设有通长的内嵌条。本...
王宏宇郭东民黄晓霞张国栋佟辉吕琪王尧
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带有单冷却自转盘的磁控溅射系统
本实用新型涉及镀膜设备，具体地说是一种带有单冷却自转盘的磁控溅射系统，包括磁控室、单冷却自转盘、第一电机、手动基片挡板组件、磁控靶、机台架及真空抽气系统，磁控室安装在机台架上、与位于机台架内的真空抽气系统相连，在磁控室内...
冯彬郭东民佟辉周景玉刘丽华张雪戚晖
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用于籽晶传动装置的称重机构
一种用于籽晶传动装置的称重机构，属于真空设备技术领域。包括外框、称重传感器、调节支座和膨胀节组件，所述外框固定在籽晶轴的顶端法兰上，籽晶轴的顶端法兰下端面密封安装有膨胀节组件，支座固定在籽晶轴侧面膨胀节组件的下法兰上，安...
王宏宇郭东民黄晓霞张国栋佟辉吕琪王尧
一种带有单冷却自转盘的磁控溅射系统
本发明涉及镀膜设备，具体地说是一种带有单冷却自转盘的磁控溅射系统，包括磁控室、单冷却自转盘、第一电机、手动基片挡板组件、磁控靶、机台架及真空抽气系统，磁控室安装在机台架上、与位于机台架内的真空抽气系统相连，在磁控室内均布...
冯彬郭东民佟辉周景玉刘丽华张雪戚晖
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一种用于籽晶轴传动装置的辅助驱动机构
一种用于籽晶轴传动装置的辅助驱动机构，属于真空设备技术领域。包括电机、电磁离合器、电磁失电离合器、手轮及带轮传动机构，所述电磁离合器和电磁失电离合器分别安装于丝杠的两端，丝杠安装于支撑机构上，两端分别与电磁离合器输出端和...
王宏宇郭东民黄晓霞张国栋佟辉吕琪王尧
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一种水电连接机构
一种水电连接机构，属于真空设备技术领域。包括旋转接头、连接板、固定架、水管及导电滑环，所述导电滑环套装于籽晶轴上，旋转接头置于导电滑环上方，且其内环固定在籽晶轴上，旋转接头和导电滑环的外环分别通过连接板固定在固定架上，在...
王宏宇郭东民黄晓霞张国栋佟辉吕琪王尧
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可长期在真空设备的高温环境下工作的水冷套
本实用新型属于真空设备领域，具体地说是一种可长期在真空设备的高温环境下工作的水冷套，该水冷套为内、外双层水冷套，具有进水通道及回水通道双层冷却空间，进水嘴及回水嘴分别与进水通道及回水通道相连通；所述进水通道及回水通道在一...
雷震霖孙影佟辉王宏宇黄晓霞
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