冯彬
- 作品数：23 被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院更多>>
- 相关领域：一般工业技术电气工程金属学及工艺更多>>
- 离子束溅射镀膜机
- 本实用新型涉及一种离子束溅射镀膜装置。由镀膜室、离子枪、旋转靶、衬底夹持架等组成,镀膜室为圆筒形,离子枪位于镀膜室顶部,镀膜室中部倾斜45°角安装旋转把,离子枪引出栅轴心线与旋转把一面靶材中心点位于同一垂直轴线上,镀膜室...
- 李求恕王文魁郭东民冯彬曾志群阎佐健刘军戚晖潘福全鲁向群吕祺
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- 脉冲激光淀积装置
- 本实用新型涉及一种脉冲激光淀积装置。由真空室、转靶机构、样品架、加热炉、离子枪和真空抽气装置组成,其中真空室为球形,转靶机构和样品架分别安装在真空室里,相对设置,在一个中心线上,所述真空室球体上设有多个法兰窗,其中两个法...
- 李求恕冯彬吕祺孙荣昌曾志群潘福全戚晖金振奎阎佐健
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- 矩形闸板阀
- 一种矩形闸板阀，属于真空阀门技术领域。包括驱动装置、压紧板、密封板、滑道和挡块，压紧板和密封板两侧通过铰链连接，每侧至少两个铰链，压紧板和密封板之间通过至少两个弹簧连接，挡块设置在压紧板和密封板前进方向一侧的真空室壁上，...
- 佟雷冯彬郭东民
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- 超高真空多功能磁控溅射装置
- 本实用新型涉及一种超高真空多功能磁控溅射装置。由主溅射室、进样室、磁力传动机构、超高真空抽气装置和高真空抽气分子泵组成,其中主溅射室为梨形结构,由圆柱形真空室配装一“梨把”,“梨把”下面加装一套超高真空抽气装置,进样室为...
- 李求恕冯彬阎佐健鲁向群吕祺金振奎刘大为刘军戚晖孙荣昌魏吉萍曾志群潘福全郭宝英石长友谭亮周景玉
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- 非晶硅薄膜太阳能电池制作装置
- 本实用新型涉及一种非晶硅薄膜太阳能电池制作设备。由七个真空室、真空获得装置、气路和尾气处理组成,七个真空室为长方体形,线列式排列,气动闸板阀隔离,设有轨道小车及导轨,三个反应室及过渡室设电容耦合电极板;气路分9路进气,三...
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- 一种磁控溅射靶
- 本发明公开一种可以溅射磁性材料的永磁体的圆形平面磁控溅射靶，由外屏蔽罩、磁钢座、极靴、绝缘座、固定座、靶材压盖、内外磁钢、进出水嘴、联接螺栓和密封橡胶圈等部分组成。外屏蔽罩和固定座之间采用螺纹手动可调结构。磁钢座材料为无...
- 冯彬鲁向群佟辉刘大为周颖刘丽华
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- 一种粉末镀膜设备
- 一种粉末镀膜设备，属于镀膜设备技术领域。包括真空室、热丝电极、磁控靶、多工位转靶、离子枪及反弹振动装置，所述真空室内反弹振动装置的样品盘上方设置热丝电极、磁控靶、多工位转靶及离子枪，离子枪的离子束通过多工位转靶的靶面反射...
- 冯彬张宁刘大为王维李伟孟凡利
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- 带有单冷却自转盘的磁控溅射系统
- 本实用新型涉及镀膜设备，具体地说是一种带有单冷却自转盘的磁控溅射系统，包括磁控室、单冷却自转盘、第一电机、手动基片挡板组件、磁控靶、机台架及真空抽气系统，磁控室安装在机台架上、与位于机台架内的真空抽气系统相连，在磁控室内...
- 冯彬郭东民佟辉周景玉刘丽华张雪戚晖
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- 一种带有单冷却自转盘的磁控溅射系统
- 本发明涉及镀膜设备，具体地说是一种带有单冷却自转盘的磁控溅射系统，包括磁控室、单冷却自转盘、第一电机、手动基片挡板组件、磁控靶、机台架及真空抽气系统，磁控室安装在机台架上、与位于机台架内的真空抽气系统相连，在磁控室内均布...
- 冯彬郭东民佟辉周景玉刘丽华张雪戚晖
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- 一种磁控溅射靶
- 本发明公开一种可以溅射磁性材料的永磁体的圆形平面磁控溅射靶，由外屏蔽罩、磁钢座、极靴、绝缘座、固定座、靶材压盖、内外磁钢、进出水嘴、联接螺栓和密封橡胶圈等部分组成。外屏蔽罩和固定座之间采用螺纹手动可调结构。磁钢座材料为无...
- 冯彬鲁向群佟辉刘大为周颖刘丽华
