刘改红
- 作品数：6 被引量：16H指数：2
- 供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺机械工程更多>>
- 微细电解加工用阵列电极的侧壁绝缘研究
- 电解加工(Electrochemical Machining,ECM)是利用阳极溶解的原理实现金属成型的。这种微溶解的材料去除方式在微细制造领域有着潜在的应用前景,但是需要解决杂散腐蚀问题以提高定域蚀除能力。电极的侧壁绝...
- 刘改红
- 关键词：微细电解加工旋涂法
- 文献传递
- 微细电解加工用电极的侧壁绝缘及应用实验被引量：11
- 2009年
- 介绍了一种微细电解加工用电极的侧壁绝缘方法及其应用实验。采用旋涂法在电极表面涂敷液态环氧树脂并固化处理，重复该过程形成多层绝缘薄膜，用机械磨削法去除电极端部的绝缘膜，使电极端面导电。通过基础工艺实验优化了旋涂法工艺参数，通过对比实验验证了侧壁绝缘电极的微孔加工效果。旋涂法可制得膜厚为5～10 μm的侧壁绝缘电极，采用该电极加工可显著减小微孔直径及锥度，提高微细电解加工尺寸精度。
- 刘改红李勇陈旭鹏马晓宇朱效谷
- 关键词：微细电解加工微细电极微细孔
- 综合改善微细电解加工精度的工艺研究被引量：3
- 2009年
- 电解加工的阳极电化学溶解原理使其在微细加工领域具有巨大的发展潜力,但杂散腐蚀和流场条件恶劣制约加工精度的提高。分析了影响微细电解加工的主要因素,提出综合改善微细电解加工精度的工艺途径。理论分析和实验研究均表明:将LIGA工艺制备高质量微细阵列电极、电极侧壁绝缘、高频脉冲电流及非线性电解液加工、电极间歇回退伺服控制等方法有机结合,能有效约束电场、改善流场,提高微细电解加工的精度。
- 马晓宇李勇胡满红刘改红
- 关键词：微细电解加工
- 一种微细电化学加工用电极的侧壁绝缘方法
- 一种微细电化学加工用电极的侧壁绝缘方法，涉及在微细电化学加工用电极的侧壁表面形成绝缘膜的方法，属于微细加工技术领域。该方法的操作步骤为：1)清洗电极；2)旋涂法在电极表面涂敷液态绝缘材料；3)利用局部溶解的方法去除电极端...
- 李勇刘改红陈旭鹏
- 文献传递
- 利用LIGA技术研制微细电火花异形和阵列结构电极被引量：1
- 2011年
- 利用LIGA技术的优势,针对电火花电极结构特点开发出相应的加工工艺,完成电火花复杂结构电极的制造。电火花电极的特点是大高宽比的金属柱状结构,这对于LIGA技术工艺具有特殊的难度,需要突破深孔显影和电铸工艺难题。通过大量的工艺试验,优化出电火花电极阵列结构的工艺路线,圆满完成阵列结构和异形复杂结构的电极制造,为电火花技术在新领域的应用提供了技术支持。
- 伊福廷李勇刘改红
- 关键词：LIGA技术
- 一种微细电化学加工用电极的侧壁绝缘方法
- 一种微细电化学加工用电极的侧壁绝缘方法，涉及在微细电化学加工用电极的侧壁表面形成绝缘膜的方法，属于微细加工技术领域。该方法的操作步骤为：1)清洗电极；2)旋涂法在电极表面涂敷液态绝缘材料；3)利用局部溶解的方法去除电极端...
- 李勇刘改红陈旭鹏
- 文献传递
