姜玉刚
- 作品数:108 被引量:91H指数:6
- 供职机构:天津津航技术物理研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金天津市自然科学基金中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域:理学电子电信机械工程一般工业技术更多>>
- 不同沉积方式SiO_2薄膜的自然时效特性(英文)被引量:2
- 2019年
- SiO_2薄膜是光学薄膜领域内常用的重要低折射率材料之一。文中采用不同沉积技术在Si基底上制备了SiO_2薄膜,并研究了它们光学特性的自然时效特性。采用不同贮存时间的椭偏光谱表征SiO_2薄膜的光学特性,随着时间的增加,EB-SiO_2薄膜和IAD-SiO_2薄膜的物理厚度和光学厚度随着增加,但IBS-SiO_2薄膜随着减小,变化率分别为1.0%,2.3%和-0.2%。当贮存时间达到120天时,IBS-SiO_2薄膜、EB-SiO_2薄膜和IAD-SiO_2薄膜的物理厚度和光学厚度趋于稳定。实验结果表明,IBSSiO_2薄膜的光学特性稳定性最好,在最外层保护薄膜选择中,应尽可能选择离子束溅射技术沉积SiO_2薄膜。
- 姜玉刚刘小利刘华松刘华松李士达陈丹刘丹丹陈丹季一勤
- 关键词:光学常数
- 一种高性能窄带滤光薄膜的制备方法
- 本发明涉及一种高性能窄带滤光薄膜的制备方法,属于技术领域。本发明提供一种高性能窄带滤光薄膜的制备方法,将制备滤光薄膜的透过率曲线与相近的理论曲线进行对比分析,通过对滤光薄膜的间隔层沉积时间进行修正,实现高性能窄带滤光薄膜...
- 姜玉刚刘华松陈丹王利栓何家欢
- 文献传递
- 一种低应力低吸收氧化物薄膜的制备方法
- 本发明属于光学薄膜技术领域,公开了一种低应力低吸收氧化物薄膜的制备方法,通过采用双离子束溅射沉积技术,以钽靶和二氧化硅靶作为溅射靶材,通过选择合适的双离子束溅射制备工艺参数,可实现应力为‑120MPa、吸收损耗为8ppm...
- 姜玉刚刘华松白金林李子杨赵艳
- 文献传递
- 一种用于非平面透镜的宽角谱带通滤光薄膜结构及设计方法
- 本申请提供一种用于非平面透镜的宽角谱带通滤光薄膜结构及设计方法,其中用于非平面透镜的宽角谱带通滤光薄膜结构为:<Image file="DDA0003364079660000011.GIF" he="78" imgCon...
- 李子杨刘华松姜玉刚
- 一种可见光-近红外-中红外波段激光防护窗口及设计方法
- 本发明属于光学薄膜技术领域,具体涉及一种可见光‑近红外‑中红外波段激光防护窗口及设计方法。本发明通过采用基底和线性激光防护薄膜相结合的方法,选择具有一定波段吸收的基底,在吸收基底一侧设计三波段分光薄膜,另一侧设计双波段减...
- 姜玉刚刘华松陈丹王利栓刘丹丹姜承慧季一勤
- 文献传递
- 金属氧化物薄膜光学常数计算物理模型应用研究被引量:3
- 2014年
- 采用离子束溅射(IBS)方法制备了HfO2和Ta2O5两种金属氧化物薄膜,通过测量薄膜的椭偏参数,使用非线性最小二乘法反演计算获得薄膜的光学常数。在拟合过程中,采用L8(27)正交表设计了8组反演计算实验,在初始选定Cauchy模型后,对HfO2薄膜拟合影响最大的为表面层模型,对Ta2O5薄膜拟合影响最大的为折射率梯度模型。确定了不同物理模型对拟合函数MSE的影响权重和拟合过程中模型选择的次序,按照确定的模型选择次序拟合,最后加入弱吸收模型反演计算两种薄膜的光学常数,反演计算的MSE相对初始MSE可下降79%和39%,表明拟合过程模型选择物理意义明确,具有广泛的应用价值。在500nm处,Ta2O5薄膜的折射率梯度大于HfO2薄膜,而HfO2薄膜消光系数大于Ta2O5薄膜。表明Hf金属与Ta金属相比容易氧化形成稳定的氧化物,HfO2薄膜的吸收要高于Ta2O5薄膜。
- 刘华松姜承慧王利栓刘丹丹姜玉刚孙鹏季一勤
- 关键词:HFO2TA2光学常数物理模型
- 一种光学薄膜超宽带光学常数测试方法
- 本发明公开了一种光学薄膜超宽带光学常数的测试方法,用于计算光学薄膜材料在可见光到红外波段的全谱段光学常数,尤其是针对0.3um‑20um波长范围内,通过使用基底‑薄膜透明区的光谱透射率和非透明区的光谱反射率相复合作为目标...
- 刘华松刘丹丹王利栓姜玉刚季一勤
- 文献传递
- 一种深截止窄带滤光片的高精度测试方法
- 本发明属于光学技术领域,具体涉及一种深截止窄带滤光片的高精度测试方法,该方法基于分光光度计对滤光片进行测试,将分光光度计的测试参数作为变量,将多元线性回归的方法引入到滤光片性能的评价。通过对多组数据的多元线性回归,确定影...
- 刘华松姜玉刚何家欢刘丹丹季一勤
- 文献传递
- 具有折射率轴向非均匀性的光学材料光谱性能计算方法
- 本发明公开了一种具有折射率轴向非均匀性的光学材料光谱性能计算方法,用于计算平行平板光学材料的光谱透射特性和反射特性以及吸收特性。由于折射率非均匀性的连续性,因此该方法是将光学材料在轴向垂直方向进行切片,多层切片的光波传输...
- 刘华松刘丹丹姜玉刚季一勤
- 文献传递
- 一种可见光、激光与中红外波段分色元件及设计方法
- 本发明属于光学薄膜技术领域,具体涉及一种可见光波段(0.6~0.9μm)和激光波段(1.06μm)反射、中红外波段(3.0~5.0μm)透射的分色元件及设计方法。本发明采用两块工作角度为45°的平行平板光学元件,通过对平...
- 刘华松姜玉刚李士达杨霄冷健孙鹏季一勤