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山田公

作品数：6 被引量：2H指数：1
供职机构：日本京都大学更多>>
相关领域：电子电信理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文期刊文章

领域

  • 4篇电子电信
  • 2篇理学

主题

  • 3篇氧化碳
  • 3篇二氧化碳
  • 3篇CO
  • 2篇气体
  • 2篇溅射
  • 1篇氧化硅
  • 1篇音速
  • 1篇平坦化
  • 1篇清洁化
  • 1篇离化
  • 1篇离子
  • 1篇离子团
  • 1篇流体力学
  • 1篇二氧化硅
  • 1篇辐照
  • 1篇辐照效应
  • 1篇SI
  • 1篇SIO
  • 1篇硅
  • 1篇CO2

机构

  • 6篇清华大学
  • 6篇日本京都大学

作者

  • 6篇田民波
  • 6篇山田公
  • 1篇冯晓东

传媒

  • 2篇Journa...
  • 2篇真空
  • 2篇真空科学与技...

年份

  • 4篇1997
  • 2篇1996
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
CO_2离化团束辐照Si表面形成SiO_2膜的分析被引量：1
1997年
由CO2离化团束辐照Si表面形成的氧化层的厚度与CO2团束大小及团束能量相关，而其成分接近SiO2在低辐照剂量下，氧化层增厚服从反应规律，而在高剂量下服从扩散规律．
田民波冯晓东山田公
关键词：二氧化碳二氧化硅
CO_2离化团束对Si基板表面的辐照效应被引量：1
1997年
利用RBS和椭圆仪分析对CO2离化团束引起的硅表面的损伤进行了研究．实验发现，采用大尺寸团束照射，损伤程度小而且损伤层薄；团束尺寸越大，越容易形成低损伤的氧化层；随剂量增大，损伤部分发生氧化的比例增加，而且在单晶Si基板上经过极薄的过渡区形成氧化层．
田民波山田公
关键词：二氧化碳硅辐照效应
超音速自由喷流形成CO2团束
1996年
设计并制造了喷咀——分流器系统以产生气体团束。为搞清气体团束的产生过程，进行了流体力学分析。
田民波山田公
关键词：流体力学
CO_2团束的离化、加速及质量分离
1996年
设计并制造了ＣＯ２离化装置——由电子轰击对团束进行离化，由电极电位进行加速，由阻止势进行质量分离。通过实验确定了最佳参数，其中包括：离化电子电流和电压、加速电压、阻止电势、供气压力等。
田民波山田公
关键词：二氧化碳离化
气体离化团束对表面的平坦化及清洁化效果
1997年
用原子力显微镜测量了气体离化团束照射后表面粗糙度的变化。已经证实气体团束轰击对表面沾污具有很高的清除率，同时却引起较低的损伤。气体离化团束优良的平坦化和清洁化效果可能与照射中多体碰撞、侧向溅射及高能量密度的沉积相关。
田民波山田公
关键词：溅射
气体离化团束溅射研究
1997年
研究了CO2，Ar离化团束对不同金属系统及SiO2表面的溅射效应。离化团束的溅射产额比之单体离子束高100倍以上。气体离化团束的高溅射产额可能是由于多体碰撞、侧向溅射及高能量密度的照射引起的。
田民波山田公
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