李存霞
- 作品数：5 被引量：18H指数：2
- 供职机构：同济大学理学院精密光学工程技术研究所更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学机械工程更多>>
- 50～110nm波段高反射率多层膜的设计与制备被引量：8
- 2007年
- 阐述了50～110nm强吸收波段亚四分之一波长多层膜的设计方法．这种膜系是由强吸收材料叠加而成，每层膜光学厚度小于四分之一个波长．与常规周期多层膜相比，这种膜系更适用于提高强吸收波段的反射率．利用该方法设计了50nm处高反射多层膜，并以此为初始条件通过Levenberg-Marquart优化方法完成了50～110nm强吸收波段宽带高反射率Si／W／Co多层膜的设计，其平均反射率达到45％．采用直流磁控溅射方法制备了Si／W／Co多层膜，用X射线衍射仪（XRD）对膜层结构进行了测试，测试结果表明制作出的多层膜结构与设计结构基本相符．
- 李存霞王占山王风丽朱京涛吴永荣王洪昌程鑫彬陈玲燕
- 关键词：多层膜极紫外高反射率磁控溅射
- 50-110nm高反射率多层膜的设计、制备与检测
- 天体物理、大气物理、空间通讯和空间天气预报对波长小于110 nm的真空紫外与极紫外波段高反射镜有着特殊需要。然而设计这一波段的反射镜相当困难，主要是由于所有材料对这一波段都强烈吸收，单层膜和常规的多层膜反射镜都不能满足实...
- 李存霞
- 关键词：反射镜磁控溅射
- 文献传递
- 亚四分之一波长宽波段多层膜的设计被引量：1
- 2006年
- 简要阐述了强吸收波段亚四分之一波长多层膜的设计方法。这种膜系是由强吸收材料叠加而成,每层膜光学厚度小于四分之一个波长。与常规周期多层膜相比,这种膜系更适用于提高强吸收波段的反射率。利用该方法设计了50nm^110nm波段宽带高反膜的初始膜系,通过Levenberg-M arquart方法对初始膜系进行优化,从而得到宽波段的平坦反射率,其平均反射率达到45%。
- 李存霞朱京涛王风丽张众王洪昌王占山陈玲燕
- 关键词：多层膜极紫外宽波段高反射率
- 30.4nm波长SiC/Mg多层膜反射镜被引量：10
- 2007年
- 波长30.4 nm的He-II谱线是极紫外天文观测中最重要的谱线之一,空间极紫外太阳观测光学系统需要采用多层膜作为反射元件。为此研究了SiC/Mg、B4C/Mg、C/Mg、C/Al、Mo/Si、B4C/Si、SiC/Si、C/Si、Sc/Si等材料组合的多层膜在该波长处的反射性能。基于反射率最大与多层膜带宽最小的设计优化原则,选取了SiC/Mg作为膜系材料。采用直流磁控溅射技术制备了SiC/Mg多层膜,用X射线衍射仪测量了多层膜的周期厚度,用国家同步辐射计量站的反射率计测量了多层膜的反射率,在入射角12°时,实测30.4 nm处的反射率为38.0%。
- 朱京涛张淑敏王蓓吴文娟李存霞徐垚张众王风丽王占山陈玲燕周洪军霍同林
- 关键词：薄膜光学极紫外多层膜磁控溅射
- 宽波段亚四分之一波长多层膜的设计
- 波长小于110 nm的真空紫外与极紫外波段有许多重要的光谱线,对天体物理、大气物理、空间通讯和空间天气预报的应用具有重要意义。由于所有材料在50-110hm波段均有强烈的吸收,单层膜和常规多层膜反射率均难以满足实用要求,...
- 李存霞朱京涛王洪昌吴文娟王风丽王占山
- 文献传递
