杨明珠
- 作品数：8 被引量：18H指数：2
- 供职机构：昆明物理研究所更多>>
- 发文基金：云南省自然科学基金中国人民解放军总装备部预研基金国家部委资助项目更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 镍铬合金薄膜的湿法图形化技术
- 本发明公开了一种镍铬合金薄膜的湿法图形化技术，主要适用于红外探测器中上电极镍铬合金薄膜的图形化。其主要技术特征是：在腐蚀工序中所用的腐蚀液配制比例为：高锰酸钾2－10％、硫酸铈30－50％、盐酸5－11％、氯化氨5－10...
- 杨明珠普朝光李振豪杨培志
- 文献传递
- 2μm像元间距GaAs/AlGaAs量子阱红外焦平面探测器被引量：6
- 2008年
- 量子阱焦平面探测器具有大面阵焦平面探测器重复性和均匀性好、成品率高、成本低等明显的产业化优势,在军民两用领域获得了广泛而重要的应用。为了尽快研制出全国产化高性能量子阱红外焦平面探测器,通过完全正向的器件设计,采用常规光刻和反应离子刻蚀方法,成功研制出87.1%的高占空比320×256长波量子阱焦平面探测器,峰值波长9μm,平均峰值探测率1.6×1010cm·Hz1/2·W-1。第一支样管的噪声等效温差为33.2mK,响应率不均应性8.9%,面阵盲元率1%。在70K温度下获得了1km和4.2km处的建筑物的清晰成像。实验结果充分显示了器件设计的正确性及研制技术的可控性。
- 史衍丽曹婉茹周艳杨明珠何丹
- 关键词：GAAS/AIGAAS量子阱红外探测器长波焦平面噪声等效温差
- 一种新型的正胶剥离技术及其应用被引量：2
- 2006年
- 介绍了在金属微细图形化制作中常用的两种方法：刻蚀和剥离,并比较了两者的优劣。开发了一种新型的正胶剥离技术,着重解决了传统的正胶剥离技术中所存在的较为严重的“二次污染”问题,提高了其剥离精度,达到2μm。最后介绍了新型的正胶剥离技术在实际工作中的应用。
- 信思树普朝光杨明珠杨培志
- 关键词：正胶二次污染
- 一种铂钛金属薄膜图形化方法
- 本发明公开了一种铂钛金属薄膜图形化方法，属于金属薄膜光刻图形化领域。其主要技术特征是：在光刻工序之后，将曝光过的硅片放在一氯甲苯溶剂中，浸泡30分钟后取出，再经烘干工序后，在显影液中浸泡2-3分钟，光刻胶在硅片上形成“倒...
- 信思树普朝光王忠华杨明珠杨培志
- 文献传递
- 一种铂钛金属薄膜图形化技术
- 本发明公开了一种铂钛金属薄膜图形化技术，属于金属薄膜光刻图形化领域。其主要技术特征是：在光刻工序之后，将曝光过的硅片放在一氯甲苯溶剂中，浸泡30分钟后取出，再经烘干工序后，在显影液中浸泡2－3分钟，光刻胶在硅片上形成“倒...
- 信思树普朝光王忠华杨明珠杨培志
- 文献传递
- 退火温度对铁电薄膜钛酸锶钡的影响被引量：9
- 2003年
- 用醋酸盐和钛酸酯为原料 ,采用改进的Sol gel工艺在Pt Ti SiO2 Si基片上制备出Ba0 .6Sr0 .4TiO3 (BST)铁电薄膜 ,然后进一步对薄膜进行退火实验 :对 (110 )方向生长BST薄膜在 5 5 0～ 75 0℃进行恒温退火。X射线衍射分析表明 :退火温度在 6 5 0℃以上时 ,BST薄膜转变为较为完整的ABO3 型钙钛矿晶体结构 ,更高的退火温度将提高晶体的取向度。
- 郭杰普朝光杨明珠王静宇阚家德杨宇
- 关键词：铁电薄膜钛酸锶钡退火X射线衍射BST
- 镍铬合金薄膜的湿法图形化方法
- 本发明公开了一种镍铬合金薄膜的湿法图形化方法，主要适用于红外探测器中上电极镍铬合金薄膜的图形化。其主要技术方案是：a.所用的腐蚀液的配制比例为高锰酸钾2-10%、硫酸铈30-50%、盐酸5-11%、氯化氨5-10%及蒸馏...
- 杨明珠普朝光李振豪杨培志
- 文献传递
- 柠檬酸溶胶-凝胶法制备非晶YBCO薄膜被引量：1
- 2008年
- 采用柠檬酸溶胶-凝胶法(Pechini工艺)制备了钇钡铜氧(YBCO)溶胶,在SiO2/Si(110)衬底上生长了非晶YBCO薄膜。通过差热-热重分析得到了非晶YBCO薄膜的热处理条件。讨论了pH值对薄膜元素配比和表面形貌的影响,研究了薄膜结晶状态与退火温度之间的关系,获得了较为理想的薄膜制备工艺参数。
- 杨明珠杨培志刘黎明
- 关键词：钇钡铜氧非晶薄膜
