柯才军
- 作品数：14 被引量：44H指数：4
- 供职机构：华中科技大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 提高CCD图像传感器填充因子的微透镜阵列的研究
- 基于提高可见光CCD图像传感器的填充因子和探测灵敏度,对516(H)×516(V)元石英微透镜阵列的设计及制作工艺过程进行了讨论.最后的测量结果表明,所制作的微透镜阵列有优良的表面轮廓,较好的几何尺寸均匀性和光学性能,实...
- 柯才军易新建赖建军
- 关键词：微透镜阵列填充因子CCD反应离子刻蚀图像传感器
- 文献传递
- 一种柔性光学传感器的制作方法
- 本发明公开了一种柔性光学传感器的制作方法，步骤为：①光刻成形；②热熔；③离子刻蚀；④淀积保护层；⑤在正面淀积一层Cr或Al金属，光刻、刻蚀出金属图形，接着，在金属层上旋转涂覆聚酰亚胺，再进行固化；⑥在背面深刻蚀硅，直至硅...
- 陈四海柯才军周宏向思桦潘峰赖建军赵悦易新建
- 文献传递
- 微透镜阵列的制作及其与图像传感器的集成被引量：9
- 2004年
- 介绍了利用硅、熔融石英和聚酰亚胺等材料制作折射和衍射微透镜阵列的工艺和结果,以及这些微透镜阵列分别与红外、可见光图像传感器的集成应用。微透镜与红外256×256PtSiCCD的集成结果表明,微透镜填充系数提高了2.3倍,成像质量明显改善。
- 赖建军柯才军陈四海易新建
- 关键词：微透镜阵列图像传感器
- CCD图像传感器的微透镜阵列设计与实验研究被引量：1
- 2004年
- 为了最大程度地改善CCD图像传感器的填充因子 ,进行了用于与CCD集成的微透镜阵列的光学优化设计 ,并与实验结果进行了对比。测试结果表明 ,所设计的透镜阵列使CCD的填充因子提高 2 .9倍 ,相对光谱响应增加了 0 .2。所设计的透镜对于改善CCD入射信号光的光强分布、提高光利用效率 。
- 柯才军易新建赖建军
- 关键词：CCD传感器光学设计微透镜阵列填充因子
- 提高CCD图像传感器填充因子的微透镜阵列的研究被引量：13
- 2004年
- 为了提高可见光CCD图像传感器的探测灵敏度,提出了516×516元石英微透镜阵列的设计方法,并简要介绍了其制作工艺。测量结果表明,所制作的微透镜阵列有优良的表面轮廓、较好的几何尺寸均匀性和光学性能,大幅度地提高了CCD图像传感器的填充因子。
- 柯才军易新建赖建军
- 关键词：微透镜阵列填充因子CCD反应离子刻蚀
- 一种柔性光学传感器的制作方法
- 本发明公开了一种柔性光学传感器的制作方法，步骤为：①光刻成形；②热熔；③离子刻蚀；④淀积保护层；⑤在正面淀积一层Cr或Al金属，光刻、刻蚀出金属图形，接着，在金属层上旋转涂覆聚酰亚胺，再进行固化；⑥在背面深刻蚀硅，直至硅...
- 陈四海柯才军周宏向思桦潘峰赖建军赵悦易新建
- 文献传递
- 高有效孔径比面阵石英微透镜阵列研究被引量：3
- 2004年
- 为了提高可见光CCD图像传感器的填充因子从而提高CCD的信噪比,在石英基片上制作了516×516元的微透镜阵列。本文对石英微透镜阵列的制作工艺过程进行了详细讨论。最后的测量结果表明所制作的微透镜阵列有优良的表面轮廓和较好的几何尺寸均匀性。其实测有效孔径比可达到92.8%,极大提高了微透镜阵列的聚光效率。
- 柯才军易新建赖建军
- 关键词：CCD图像传感器反应离子刻蚀
- 一种微型二氧化钒光开关
- 本实用新型公开了一种微型二氧化钒光开关，包括衬底、VO<Sub>2</Sub>层和电极，衬底和VO<Sub>2</Sub>层之间设有Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>材料制成的过渡层，在VO<Sub>...
- 陈四海易新建王宏臣黄光熊韬陈明祥李雄伟柯才军
- 文献传递
- 基于MoEMS工艺制作柔性光学传感器被引量：1
- 2005年
- 基于MOEMS技术研究了一种用于仿生柔性光学传感器的曲面微透镜的制作方法。首先利用传统的光刻胶热熔工艺制作了平面微透镜阵列，然后利用深刻蚀(ICP)制作了一种硅岛阵列支撑结构，在硅岛上涂覆一层聚酰亚胺，并固化，形成柔性的结构。利用这种技术所制作的微型光学传感器既具有一定的柔性，又具有一定的强度，而且与传统的硅工艺相兼容。
- 陈四海潘峰付小朝柯才军汪殿民向思桦赖建军易新建
- 关键词：柔性传感器
- 一种微型二氧化钒光开关及其制备方法
- 本发明公开了一种微型二氧化钒光开关，包括衬底、VO<Sub>2</Sub>层和电极，衬底和VO<Sub>2</Sub>层之间设有Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>材料制成的过渡层，在VO<Sub>2<...
- 陈四海易新建王宏臣黄光熊韬陈明祥李雄伟柯才军
- 文献传递
