王瑞荣
- 作品数：17 被引量：11H指数：2
- 供职机构：中北大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金山西省高等学校科技创新项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信航空宇航科学技术一般工业技术更多>>
- 静电驱动压阻检测微机械陀螺仪的研究
- 对静电驱动压阻检测微机械陀螺仪进行了结构设计并对工作原理进行了介绍. 与硅压阻器件相比，本文利用多势垒纳米膜所具有的压阻效应作为检测方式，实现了较高的压阻灵敏度;采用硅基异质外延砷化镓薄膜工艺进行陀螺结构以及多势垒纳米膜...
- 王瑞荣杜康石云波刘俊
- 关键词：静电驱动压阻检测微机械陀螺
- 一种抗伽马辐射的基于碳纳米管海绵/PDMS/WO<Sub>3</Sub>复合力敏结构
- 本发明公开了一种抗伽马辐射的基于碳纳米管海绵/PDMS/WO<Sub>3</Sub>复合力敏结构，包括位于中间的碳纳米管海绵层，所述碳纳米管海绵层的两侧表面附着与PDMS层，所述PDMS层内浸渍有WO<Sub>3</Su...
- 王晨光刘丽双王瑞荣李欣刘金萍史子阳
- 文献传递
- 静电驱动压阻检测微机械陀螺仪的研究被引量：3
- 2010年
- 对静电驱动压阻检测微机械陀螺仪进行了结构设计并对工作原理进行了介绍.与硅压阻器件相比,本文利用多势垒纳米膜所具有的压阻效应作为检测方式,实现了较高的压阻灵敏度;采用硅基异质外延砷化镓薄膜工艺进行陀螺结构以及多势垒纳米膜器件的加工,较好地实现了工艺的兼容.通过对结构进行模态仿真,确定了陀螺的固有频率.
- 王瑞荣杜康石云波刘俊
- 关键词：静电驱动压阻检测微机械陀螺
- 基于微型光机电系统扫描镜技术的激光散斑抑制方法被引量：5
- 2011年
- 激光固有的时间和空间相干性,造成的散斑现象成为实现激光显示技术的瓶颈。针对激光显示的消散斑问题,提出了一种基于微型光机电系统(MOEMS)扫描镜技术的散斑抑制方法,并设计了一种简单的二维扫描镜结构,为开发非运动式、小体积、低功耗、高速低成本电调制的MOEMS,实现对激光散斑的抑制,标准化消相干器件的工艺的开发和规模化生产技术提供了参考。
- 唐国先石云波刘俊赵幸娟柴鹏兰王瑞荣
- 关键词：激光显示技术消相干
- 一种基于InAs QD-HEMT结构的力敏测试系统
- 本发明公开一种基于InAs QD‑HEMT结构的力敏测试系统，包括试验箱体10，试验箱体10的底座9上放置陶瓷托盘1，陶瓷托盘1内放置InAs QD‑HEMT结构样品2；InAs QD‑HEMT结构样品2的源极通过导线1...
- 刘丽双王瑞荣王晨光武亮伟高伟朱诗宁
- 一种InAs量子点嵌入HEMT结构的抗辐照测试方法
- 本发明公开了一种基于InAs量子点嵌入HEMT结构的抗辐照测试方法，利用量子点抗辐照特性，通过微纳工艺完成将InAs量子点嵌入HEMT结构，以增强其抗辐照的特性。并对InAs量子点嵌入HEMT结构和HEMT结构利用<Su...
- 刘丽双王瑞荣王晨光林绍卓王启罗正杰
- 伽马辐照对量子点嵌入式HEMT力敏结构的影响被引量：1
- 2021年
- 辐射对空间通信系统中使用的传感器件的不利影响是需要重点考虑的问题,作为力学传感器件的核心部件,对力敏传感单元的抗辐照特性的研究就尤为重要。设计了一种InAs量子点(QD)嵌入式高电子迁移率晶体管(HEMT)力敏结构,通过^(60)Co-γ射线对InAs QD-HEMT结构进行了不同剂量的辐照,并对辐照前后结构的电学特性、力敏特性进行了测试分析。实验结果表明:随着辐照剂量的增加,InAs QD-HEMT结构的电学特性发生退化,灵敏度不断降低。经过150 Mrad剂量辐照后InAs QD-HEMT结构的漏极电流降低了约21%,灵敏度降低了63.4%。结果表明:高剂量辐照后InAs QD-HEMT结构仍具有工作性能,为MEMS传感器应用于强辐照环境提供研究基础。
- 王瑞荣王瑞荣郭浩唐军刘丽双
- 电容式硅微机械陀螺仪结构设计及仿真被引量：1
- 2011年
- 通过对微机械陀螺的调研分析,提出了一种新型微机械陀螺仪,并对陀螺进行了结构设计。该结构采用静电梳齿驱动、栅结构电容检测,使陀螺具有较高灵敏度。驱动模态和检测模态均为滑膜阻尼,能够实现较高的Q值,且具有一定的解耦特性。文中通过仿真分析得到了结构的各阶频率,使陀螺驱动模态和检测模态固有频率匹配,验证了结构的合理性。结合现有加工工艺水平进行了加工,并验证了其高灵敏度特性。
- 赵幸娟王瑞荣石云波刘俊唐军
- 关键词：硅微机械陀螺电容检测
- 介观压阻效应电磁驱动微机械陀螺仪的设计与测试
- 2010年
- 将共振隧穿二极管具有的介观压阻效应与哥氏效应结合应用于陀螺的设计中,提出了一种新型的采用回折型正交梁的陀螺结构。结合现在的工艺水平,设计了合理的加工工艺方案,并进行了加工与封装。通过对封装后的陀螺进行驱动方向测试,得到了固有频率的范围;检测方向上利用振动台对陀螺灵敏度进行了测试,得到在1kHz和4kHz时的测试灵敏度分别为7.51mV/gn、100.74mV/gn。
- 王瑞荣杜康石云波刘俊
- 关键词：介观压阻效应微机械陀螺
- 典型微纳力敏传感单元抗辐照特性研究
- MEMS力学传感器由于具有体积小、重量轻、响应快、功耗低、易于微型化与集成化等优点,而被广泛的应用于航空航天、空间通信、卫星、军事以及核领域等。力敏传感单元作为MEMS力学传感器的核心部件,工作于航空航天、空间通信等辐照...
- 王瑞荣
- 关键词：热损伤
