董金虎
- 作品数：3 被引量：13H指数：1
- 供职机构：南京理工大学更多>>
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- 相关领域：机械工程更多>>
- 扭摆式角速率陀螺仪
- 本实用新型公开了一种扭摆式角速率陀螺仪，由上层的机械结构和下层的玻璃衬底构成，整个机械结构通过第一组水平扭杆与第一固定基座连接，通过第二组水平扭杆与第二固定基座连接，使上层的机械结构悬空在下层的玻璃衬底之上；第一固定基座...
- 苏岩姜劭栋丁衡高裘安萍施芹董金虎
- 文献传递
- 硅微谐振式加速度计的温度特性研究
- 硅微谐振式加速度计(简称SRA)以其高精度、宽动态范围、低功耗和小尺寸等特点,广泛应用于军事及民用等领域,成为MEMS惯性传感器的研究热点之一。为了进一步改善SRA的性能,本文主要从谐振梁的非线性振动和谐振频率的温度特性...
- 董金虎
- 关键词：加速度计谐振器温度特性残余应力温度补偿
- 硅微谐振式加速度计的温度效应及补偿被引量：12
- 2012年
- 零偏和标度因数稳定性是衡量加速度计性能的两个重要参数.为了降低硅微谐振式加速度计的温度敏感性,对其温度影响机理进行了深入研究.通过温度实验发现,硅微谐振式加速度计的零偏和标度因数与设计理论参数有较大区别,且都具有较大的温度灵敏度,分别为0.72 g/℃和1.5℃-1.对弹性模量和谐振器应力与谐振器频率的关系进行了理论计算和FEA仿真验证,其中弹性模量引起的谐振频率-温度灵敏度为-0.7 Hz/℃,谐振器应力引起的谐振频率-温度灵敏度为180 Hz/℃.阐述了加工过程中键合应力产生的原因以及键合应力与谐振器残余应力的关系,发现谐振器应力是造成加速度计输出随温度漂移的主要因素.提出了一种隔离残余应力的隔离梁的设计方案,可使零偏温度灵敏度降至-35 Hz/℃,为温度补偿指明了方向.
- 裘安萍董金虎
- 关键词：温度灵敏度残余应力温度补偿
