赵钢
- 作品数：43 被引量：76H指数：5
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- 相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 一种用于高密度信息存储中数据读取的新方法的理论和实验研究(英文)
- 2006年
- 通过测量压电悬臂梁的等效电容来检测悬臂梁的振动信息,以应用于基于扫描探针技术的高密度信息存储中进行数据读取.在压电悬臂梁的PZT压电层上施加交流电场使其工作在共振状态,并使其自由端与存储介质进行周期性的接触.当悬臂梁的自由端扫描到数据点时,其自由端的振幅和所受到的外力将发生变化,进而引起PZT压电层的介电常数发生变化.因此,通过检测悬臂梁上压电层的等效电容变化,便可以得到悬臂梁的振幅改变量,从而实现了对存储介质上数据的读取.实验结果表明,该可以实现1nm的位移检测分辨率.
- 许晓慧赵钢文莉吴亚雷褚家如
- 关键词：PZT悬臂梁电容检测数据存储
- 微细光成形和LIGA工艺集成的可行性分析被引量：8
- 2006年
- 微机电系统的发展,对微细加工技术提出了更高的要求。目前常用的微细制造技术本质是基于掩模光刻的二维半微加工技术,难以进行真三维结构的制造。对单光子和双光子微细光成形技术的成形原理、加工分辨能力进行分析和实验研究,将其与微细电铸等工艺集成,提出一种能实现真三维制造的、具有不同应用材料的微细加工新方法,并从原理上验证了两者集成的可行性,为后续研究奠定了基础。微细光成形与微细电铸集成工艺技术为进一步拓展微细制造技术提供了新途径。
- 王翔赵钢郭锐李国锋黄文浩
- 关键词：微细加工LIGA
- 扫描探针加工技术的新进展及扫描等离子体加工技术的研究被引量：5
- 2003年
- 扫描探针加工技术作为一种无掩模微细加工手段以其所需设备简单和加工精度高达纳米量级等优点 ,近年来受到广泛的重视和研究。但目前扫描探针加工技术存在加工效率低、可重复性差、可加工材料非常有限等缺点。采用探针阵列并结合其他加工技术的并行工艺 ,可以提高加工效率 ,拓展应用范围。本文以纳米喷流加工和蘸水笔纳米加工为例介绍了扫描探针加工技术这一方面的最新进展 ,阐述了它们各自的基本原理和特点。最后 ,提出了一种基于并行探针驱动的扫描等离子体加工技术 ,结合了扫描探针加工精度高和等离子体加工适用材料广泛的优点 ,为小批量多品种微系统和纳米器件的加工探索出一种新方法。
- 王海褚家如赵钢
- 关键词：微电子技术
- 基于SPM的超高密度信息存储关键技术研究
- 传统的磁存储、光存储和半导体存储受到超顺磁效应、衍射现象和最小光刻单元的限制而存在各自的物理极限，基于扫描探针显微术(SPM)的信息存储技术能够突破传统存储技术的物理极限，有望成为下一代的高密度存储技术，但目前存在读取速...
- 赵钢
- 关键词：超高密度信息存储压电薄膜
- 低刚度高谐振频率的新型微压电悬臂梁探针的结构设计被引量：2
- 2006年
- 以超高密度信息存储技术为应用背景,设计了低刚度高谐振频率的新型微压电悬臂梁探针,并安排了探针加工工艺流程.通过建立更接近真实结构的悬臂梁模型,推导出了非矩形不等截面多层材料复合悬臂梁的弹性常数和谐振频率计算公式,并算出设计的悬臂梁探针的弹性常数和谐振频率分别为4N/m和245kHz.通过悬臂梁几何参数对力学性能影响的分析,从力学性能的角度对用于超高密度信息存储的悬臂梁探针进行了几何尺寸的优化.
- 赵钢褚家如
- 关键词：超高密度信息存储刚度谐振频率
- 微细光固化厚膜逐层自动成型装置
- 本实用新型提供一种微细光固化厚膜逐层自动成型装置，属于微细光(快速)成型加工领域。该装置包括两个便于计算机集成控制的精密直线运动平台和整体式双开口树脂槽及成型槽以及刮刀及其位置控制器。垂直精密直线运动平台的滑块通过连杆与...
- 王翔赵钢禇家如
- 文献传递
- 机床静刚度的计算机辅助测量系统设计开发被引量：1
- 2022年
- 机床技术性能对机械加工精度有着直接影响,而机床静刚度是评价其基本性能的重要参数之一。该文基于计算机辅助技术,以具有固定误差敏感方向的车床为研究对象,并结合车床常用的不同工况,研制了一种基于计算机辅助的机床静刚度测量系统;通过对不同工况下机床主轴头架和尾架以及刀架等3个部件的变形位移与作用力的关系分析,设计搭建了由一个短而粗的高刚性芯轴来链接机床3个部件的测量装置,并利用一个力传感器和3个位移传感器及数据采集和处理的软件模块,来实现对不同工况下的机床静刚度的测量以及刚度曲线的自动生成,此系统已在教学实验中得到应用,可以有效促进对机床及加工精度的分析和学习。
- 王翔赵钢李木军张世武
- 关键词：机床静刚度
- 三维微细光刻成型技术及其发展概况被引量：3
- 2001年
- 简要介绍了三维先成型技术的原理以及现阶段可以用来进行微细加工的方法；着重介绍了微光成型技术的发展和研究现状及其成果。
- 王翔沈连婠赵钢胡玉禧李川奇
- 关键词：微型机械微细加工
- PECVD氮化硅薄膜内应力试验研究被引量：8
- 2008年
- 研究了等离子体增强化学气相沉积氮化硅薄膜的内应力。通过改变沉积工艺参数,研究了射频功率、反应气体流量比、载气体分压比和反应压强对氮化硅薄膜的内应力的影响,并且分析了氮化硅薄膜内应力的形成机制。制备出了应力只有-182.4MPa的低应力氮化硅薄膜。
- 杨景超赵钢邬玉亭许晓慧
- 关键词：氮化硅薄膜内应力PECVD
- 满足自锐效应的AFM探针针尖加工被引量：8
- 2006年
- 根据各向异性湿法刻蚀针尖的自锐效应模型和晶面交点模型,设计了AFM探针针尖加工工艺流程,并进行了针尖加工实验。通过分析实验结果并结合晶面交点模型,分别得到了针尖形状与蚀液浓度、刻蚀液温度、添加剂、掩模方向的关系。结合自锐效应模型,得到了(100)硅片刻蚀针尖自锐条件。最后对工艺参数进行了优化,采用15 mol/L的KOH溶液,在70℃,并且方形掩模边缘平行于<110>方向,可以得到满足自锐效应的、重复率高、表面粗糙度小、高宽比为1.56的单晶硅针尖。
- 刘芳赵钢吴亚雷褚家如
- 关键词：AFM单晶硅针尖各向异性
