陈颖超
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：暨南大学理工学院物理学系更多>>
- 发文基金：广东省自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术更多>>
- 射频反应磁控溅射法氧化钒薄膜的制备及其性能研究
- 射频反应磁控溅射法室温下在普通玻璃衬底上沉积厚度为约180nm的氧化钒薄膜,在高纯N2环境中,不同温度下(350℃、400℃、450℃、500℃)热处理60分钟,发现当热处理温度为400℃时,获得具有相变性能的VO2薄膜...
- 王权康刘彭义陈颖超叶勤
- 关键词：氧化钒薄膜磁控溅射法相变温度智能窗
- 射频反应磁控溅射法氧化钒薄膜的制备及其性能研究被引量：1
- 2013年
- 采用射频反应磁控溅射法在普通玻璃衬底上沉积氧化钒薄膜,在高纯N2环境中,不同温度下(350℃、400℃、450℃、500℃)热处理60min,发现当热处理温度为400℃时,获得具有相变特性的VO2薄膜,其红外光透光率和电导率发生显著变化。薄膜相变温度为55℃左右,相变前后光透过率变化了13%,电阻变化了1.8个数量级。
- 陈颖超刘彭义唐振方叶勤
- 关键词：VO2薄膜射频磁控溅射相变
