陶伯万
- 作品数：177 被引量：97H指数：5
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- 相关领域：一般工业技术电气工程理学电子电信更多>>
- 一种用于高温下薄膜沉积的面内旋转装置
- 本发明提供了一种用于高温下薄膜沉积的面内旋转装置，它由常规传动部分和面内旋转部分构成，面内旋转部分有轴向支撑盘9、径向支撑盘10通过调距螺杆11固定在一起，其间距可通过调距螺杆11调节，大齿轮6分别与轴向支撑盘9和径向支...
- 陶伯万刘兴钊张鹰李言荣陈家俊刘文兴
- 文献传递
- 一种用于MOCVD制备YBCO带材的气体反应腔
- 本发明属于薄膜制备技术领域，具体为一种用于MOCVD制备YBCO带材的气体反应腔。包括反应铜管、连接于反应铜管两端的进排气仓和冷却管。反应铜管两端接到进排气仓；导热带绕于反应铜管和冷却管；进排气仓均设有一个孔隙，与反应腔...
- 陶伯万赵瑞鹏刘青张宇希李言荣
- 文献传递
- 快速前处理TFA-MOD制备YBCO超导薄膜的研究被引量：2
- 2009年
- 三氟乙酸盐金属有机物沉积(TFA-MOD)方法是制备YBa2Cu3O7(YBCO)超导薄膜最有应用前景的方法之一。采用快速前处理TFA-MOD的方法在LaAlO3单晶基片上生长YBCO薄膜并与常规的TFA-MOD方法进行对比研究。XRD分析表明用快速前处理TFA-MOD方法制备的YBCO薄膜的c轴取向一致性,没有常规的TFA-MOD制备的YBCO薄膜好。SEM的分析表明快速前处理TFA-MOD制备的YBCO超导薄膜表面有孔洞和YBCO(103)取向生长的晶粒,常规方法制备的YBCO薄膜表面比较光滑,孔洞较少。虽然较常规方法制备的薄膜的临界电流密度(JC)低,但超导电性能分析表明,快速前处理方法制备的YBCO薄膜JC达到1mA/cm2以上,且前处理时间大幅缩短,对于提高YBCO薄膜制备的效率非常有效。
- 丁灵效陈文祥熊杰陶伯万
- 关键词：YBCO
- 大面积YBCO高温超导双面薄膜的生长研究被引量：3
- 2001年
- 采用倒筒式直流溅射 (ICS)方法 ,辐射方式加热基片 ,通过电机带动基片旋转 ,在两面同时溅射沉积YBCO高温超导双面薄膜。在加热温度为 85 0℃ ,总压强为 35Pa ,氧氩比为 1∶2 ,靶基距 5 0mm ,基片转速 5～ 40r/min条件下 ,在 2 0mm× 2 0mm的LaAlO3(10 0 )单晶基片上制得两面性能优良且一致性很好的YBCO高温超导双面薄膜。样品两面性能达到 :Tc0 =89 1K ,ΔTc=0 2K ,Jcl=2 6 9MA/cm2 ,Jc2 =2 74MA/m2 (77K ,0T) ,Rsl=0 2 4mΩ ,Rs2 =0 2 9mΩ(77K ,10GHz,0T) ,可满足制作微波器件的要求。
- 陶伯万罗安李言荣刘兴钊何世明
- 关键词：YBCO超导薄膜溅射
- 3英寸双面YBCO高温超导外延薄膜研究
- 本文采用倒筒直流溅射方法(ICS)结合基片变速双轴旋转方式原位生长Φ3英寸双面YBCO高温超导外延薄膜.膜厚分布最大偏差小于10﹪,薄膜样品的中心与边缘部分的Tc0均达到90K,ΔTc≤0.3K,FWHM(005)≈0....
- 陈家俊张其劭陶伯万邓新武刘兴钊李德红张鹰何世明李言荣羊恺
- 关键词：高温超导薄膜均匀性
- 文献传递
- 多元氧化物电子薄膜材料的单胞生长模式与界面应力诱导效应的研究
- 2006年
- 多元氧化物薄膜,特别是ABO_3钙钛矿结构的薄膜由于有铁电、压电、热释电和超导等特性和在多功能电子器件上的广泛应用而成为电子功能材料研究的热点．该文利用激光分子束外延和磁控溅射等薄膜制备技术,采用反射式高能电子衍射(RHEED)对薄膜的生长进行原位实时的检测分析,确定了在不同的工艺条件下氧化物薄膜的层状、层岛混合和岛状生长模式。优化了薄膜的生长条件,实现了对薄膜生长模式的有效控制,绘制出SrTiO_3、BaTiO_3等薄膜的生长模式图谱。测量计算了薄膜的表面活化能和沉积粒子在表面的有效扩散率,发现氧化物薄膜表面的生长运动单元具有活化能小、迁移时间长等重要特点,采用原子力显微镜(AFM)和掠入射XRD对层状生长薄膜的层厚结构进行了精细测量,提出了氧化物薄膜单胞生长动力学模型,即薄膜生长的主要单元是以B-O八面体为主体的单原胞基团．在此基础上,系统地研究了薄膜生长异质界面应力释放行为和对结构性能的影响,在小失配度、中等失配度和大失配度下体现出的不同生长规律,出现了在临界厚度下的相干外延、应变岛、双晶外延和近重位点阵等现象．最后,通过薄膜和衬底的失配度的选择来调整界面应力的影响,并通过工艺条件来诱导薄膜结构取向,如采用薄膜自外延技术和自缓冲层技术,有效地控制和大幅度改善了铁电薄膜、介电薄膜、超导薄膜和热释电薄膜的微结构和电磁性能。
- 李言荣朱俊张鹰李金隆魏贤华梁柱张万里吴传贵刘兴钊陶伯万
- 关键词：氧化物薄膜单胞
- 锆合金包壳的碘致应力腐蚀研究进展
- 2004年
- 论述了锆包壳产生碘致应力腐蚀的原因,综述了碘致应力腐蚀的开裂机理和碘致应力腐蚀的影响因素,指出碘致应力腐蚀的影响因素包括:温度、微结构、碘分压和化学因素。
- 崔旭梅李言荣陶伯万刘兴钊唐正华彭倩
- 关键词：应力腐蚀锆合金微结构影响因素化学因素
- 超导带材用双面LaMnO<Sub>3</Sub>缓冲层的制备方法
- 超导带材用双面LaMnO<Sub>3</Sub>缓冲层的制备方法，属于超导材料技术领域。包括以下步骤：（1）将柔性基带安装在两个转盘之间；（2）将长400毫米，宽40毫米，厚度5毫米的锰镧合金靶分别安置在对靶上，基带正反...
- 熊杰黎朝仁夏钰东薛炎赵晓辉陶伯万李言荣
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- MOCVD法制备双面带材的模拟计算与实验研究初探
- 金属有机化学气相沉积(MOCVD)法制备双面YBa2Cu3O7-δ(YBCO)高温超导带材，将Y(DPM)3、Ba(DPM)2和Cu(DPM)2源按配比混合，由氩气与氧气携带送入反应室，利用Computational F...
- 于淼张昭高磊敬通国熊杰赵晓辉陶伯万
- 关键词：气流场金属有机化学气相沉积高温超导带材YBCO薄膜
- 一种热流与温度的单点同时测量方法
- 本发明属于薄膜特种传感器技术领域，具体涉及一种热流与温度的单点同时测量方法。本发明基于原子层热电堆热流传感器，利用其功能层薄膜电阻值随温度变化而改变，将其视为热电阻传感器，根据测得原子层热流传感器功能层薄膜电阻值的大小来...
- 谢天赵睿鹏陈曦李禛哲钟耀张同陶伯万
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