霍同林
- 作品数：72 被引量：190H指数：8
- 供职机构：中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国科学院“百人计划”更多>>
- 相关领域：机械工程理学一般工业技术电子电信更多>>
- 同步辐射在计量学中的应用研究被引量：4
- 2005年
- 本文介绍了世界上利用同步辐射建立辐射计量标准的现状,对利用同步辐射建立真空紫外———软X射线波段的光源标准和探测器标准的原理方法进行了论述,并介绍了我们在这方面的工作和取得的阶段性成果。
- 刘金元熊利民李平薛凤仪杨永刚李大欣陈赤崔明启赵屹东郑雷朱杰周洪军霍同林
- 关键词：氘灯气体电离室真空紫外软X射线量子效率
- 同步辐射Laminar光栅的研制被引量：10
- 2001年
- 采用全息离子束刻蚀和反应离子刻蚀相结合的新工艺 ,在熔石英基片上成功地刻蚀出 2 0 0l/mm、线空比 4:6、槽深 70nm、刻划面积 60× 2 0mm2 的浅槽矩形Laminar光栅。对改进光栅线条粗糙度和线空比的方法进行了系统的研究。这一新工艺相对简单 。
- 徐向东洪义麟霍同林周洪军陶晓明傅绍军
- 关键词：全息光刻离子束刻蚀反应离子刻蚀
- 用于软X射线显微术的氮化硅窗口的研制被引量：2
- 1998年
- 氮化硅膜具有对软X射线吸收较小、成膜光滑、强度大和致密性好等优点，因而常选作为窗口材料。本文主要介绍了用于软X射线显微术的氮化硅窗口的制备工艺，给出在国家同步辐射实验室软X射线显微术实验站使用的实验结果。
- 徐向东洪义麟付绍军霍同林陶晓明单晓斌蒋诗平
- 离子束溅射沉积Ir膜真空紫外反射特性研究
- 2009年
- 根据吸收材料基底上单层金属膜数学计算模型,对不同基片上各种厚度的Ir膜真空紫外反射率进行了优化计算.采用离子束溅射沉积技术,在石英、K9玻璃和Si基片上沉积了不同厚度的Ir膜,研究了基片、表面厚度、离子束能量及镀后热处理对Ir膜反射率的影响,在波长120nm处获得了近30%正入射反射率.
- 干蜀毅刘正坤盛斌徐向东洪义麟刘颍周洪军霍同林付绍军
- 关键词：离子束溅射
- 不同材料滤片对13～43nm高次谐波的抑制(英文)被引量：3
- 2007年
- 国家同步辐射实验室光谱辐射标准和计量光束线( U27)的SGM分支是专门为光学元件性能测试和探测器定标而建造的。为了能够精确测量光学元件在极紫外和软X射线波段的性能,必须充分抑制高次谐波提高光谱纯度。对于已经建成的光束线,要改变光学设计和现有结构来抑制高次谐波是困难的,最简单且有效的方法是用不同材料的滤片来抑制不同波段的高次谐波。为了研究高次谐波的抑制效果,可将840 l/ mm透射光栅放在U27光束线SGM分支的出射狭缝后面色散出射光,用探测器做角度扫描记录下信号强度曲线,然后分析得到高次谐波的含量和分布。本文分别研究了不同厚度的Al(200、400和600 nm)、Si3N4/ Mo/Si , Si3N4/ Mo/Si/ Mo/Si多层膜滤片(100/50/200 nm, 100/50/150/150/250 nm)和Al/ Mg/Al滤片对13 ～43 nm光谱高次谐波的抑制效果。研究结果显示,400 nm厚的Al滤片适合于17～33 nm光谱高次谐波的抑制,在保证探测器信号强度的条件下,高次谐波信号强度占探测器信号强度的比例<2 %,经探测器量子效率修正后,高次谐波比例<0 .6 %。Si3N4/ Mo/Si/ Mo/Si多层膜滤片可以有效地抑制13 ～19 nm的高次谐波,Al/ Mg/Al滤片对30 ～43 nm的高次谐波有很好的抑制作用。这一结果为光学元件的透射率、反射率和探测器精确定标奠定了基础。
- 周洪军钟鹏飞霍同林郑津津张国斌戚泽明
- 14nm低原子序数材料多层膜的设计和制备被引量：1
- 2011年
- 为了减小常规多层膜的带宽,提高其光谱分辨率,对采用低原子序数材料组成的适用于极紫外和软X射线波段的多层膜进行了研究。首先,在14nm波长处选取3种低原子序数材料对Si/B4C,Si/C和Si/SiC组成多层膜,用随机搜索的方法优化设计了这3种多层膜以及在此波段常用的Mo/Si多层膜。然后,用直流磁控溅射的方法制备Si/B4C,Si/C,Si/SiC和Mo/Si多层膜,并用X射线衍射仪测量拟合多层膜的周期厚度。最后,用同步辐射测试多层膜的反射率。同步辐射测试结果显示,Mo/Si多层膜的带宽最大,为0.57nm;Si/SiC多层膜的带宽最小,为0.18nm,结果与理论基本一致。实验结果表明,低原子序数材料多层膜的带宽要比常规Mo/Si多层膜窄,使用低原子序数材料组成多层膜可以提高多层膜的光谱分辨率。
- 吴文娟张众朱京涛王风丽陈玲燕周洪军霍同林
- 关键词：多层膜磁控溅射光谱分辨率
- 不同本底真空度下SiC/Mg极紫外多层膜的制备和测试被引量：8
- 2009年
- 为研究不同本底真空度对SiC/Mg极紫外多层膜光学性能的影响,利用直流磁控溅射方法在不同本底真空度条件下制备了峰值反射波长在30.4nm的SiC/Mg周期膜。X射线掠入射反射测试结果表明,不同本底真空度条件下制备的SiC/Mg周期多层膜膜层质量有明显差异。用同步辐射测试了SiC/Mg多层膜在工作波长处的反射率,结果表明,本底真空度为6.0×10-5Pa时,SiC/Mg周期膜反射率为43%,而本底真空度在5.0×10-4Pa时,SiC/Mg多层膜反射率仅为30%。同步辐射反射曲线拟合结果表明,反射率随着本底真空度降低是由多层膜Mg膜层中的Mg氧化物含量增多造成的。
- 朱京涛黄秋实白亮蒋晖徐敬王晓强周洪军霍同林王占山陈玲燕
- 关键词：多层膜反射率磁控溅射
- 用合肥800 MeV同步辐射光源标定氘灯的光谱辐射亮度被引量：2
- 2006年
- 利用合肥800MeV电子存储环同步辐射（HESYR）作为紫外-真空紫外光谱辐射测量的绝对标准，标定了传递标准-氘灯光源的光谱辐亮度。采用德国国家物理技术研究院（PTB）的数据处理及不确定度分析方法，得到了两支氘灯在115～300nm波段的光谱辐亮度数据，其相对定标不确定度为12．1％。详细分析了相关参量对定标不确定度的贡献，指出辐射计量系统偏振特征量的不确定度贡献最大。在164～300nm波段，德国德国国家物理技术研究院在BESSYⅡ同步辐射装置上标定的绝对光谱辐亮度值与本实验在中国合肥同步辐射装置上标定的绝对光谱辐亮度值之间一致性优于±20％，在给定的不确定度范围内两光谱辐射标准定标结果一致。
- 邢进李福田王淑荣霍同林周红军刘颖
- 关键词：氘灯
- 用同步辐射源建立紫外及真空紫外光谱区光谱辐射度基准的研究被引量：7
- 2006年
- 叙述了中国科学技术大学国家同步辐射实验室800MeV电子储存环同步辐射的特性及作为光谱辐射亮度基准的原理和方法，精确计算出同步辐射光源光谱功率空间分布，并在计量学上将同步辐射“经典”理论与标定氘灯光谱辐射亮度结合起来，对“同步辐射作为标准源进行光谱辐射功率计量”进行深入的研究。介绍了国家同步辐射实验室计量光束线站的装置。该装置利用同步辐射波长范围宽、亮度高、辐射特性可精确计算等特点，可用于标定传递标准氘灯的光谱辐射亮度（115～350nm），并进行了不确定度分析。并与德国技术物理研究院（PTB）标定的氘灯光谱辐射亮度进行比较，两者符合。
- 熊利民刘金元李平薛凤仪杨永刚李大欣陈赤周洪军霍同林
- 关键词：计量学氘灯
- 极紫外同步辐射光表征离子束诱导的纳米波纹
- 2022年
- 离子轰击固体表面诱导的纳米结构具有小周期(10~100 nm)、大面积、准周期的特点。利用氩离子轰击在减反膜上制备出横向特征尺寸在100 nm附近、横向周期性与纵向连续性逐步明显的准周期纳米波纹结构。为了增大表征面积,利用极紫外散射法表征了上述自组织纳米波纹的形貌特征。结果显示,面内和锥角模式的极紫外散射法所获得的样品横向和纵向形貌特征,均能够与原子力扫描显微镜所获得的样品形貌特征相对应,这初步说明了此方法表征准周期纳米波纹结构基本形貌特征的可行性,为后续的定量分析提供基础。同时,利用极紫外同步辐射光表征的自组织纳米结构面积达到了mm^(2)量级,将合肥光源计量光束线的表征范围拓展到自组织纳米结构,这也为未来探索极紫外光刻掩模的散射表征等研究提供参考。
- 李金昱杨高元臧昊峰陈火耀霍同林周洪军鲁拥华刘颖洪义麟付绍军
- 关键词：极紫外离子轰击准周期
