2024年7月26日
星期五
|
欢迎来到青海省图书馆•公共文化服务平台
登录
|
注册
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
参考咨询
您的位置:
专家智库
>
>
韩小亮
作品数:
2
被引量:26
H指数:2
供职机构:
西安电子科技大学微电子学院微电子研究所
更多>>
发文基金:
国家自然科学基金
更多>>
相关领域:
自动化与计算机技术
更多>>
合作作者
朱作云
西安电子科技大学微电子学院微电...
李跃进
西安电子科技大学微电子学院微电...
贾护军
西安电子科技大学微电子学院微电...
柴常春
西安电子科技大学微电子学院微电...
杨银堂
西安电子科技大学微电子学院微电...
作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
题名
作者
机构
关键词
文摘
任意字段
作者
题名
机构
关键词
文摘
任意字段
在结果中检索
文献类型
2篇
中文期刊文章
领域
2篇
自动化与计算...
主题
2篇
压力传感器
2篇
碳化硅
2篇
力传感器
2篇
感器
2篇
传感
2篇
传感器
1篇
高温压力传感...
1篇
半导体
1篇
SIC薄膜
机构
2篇
西安电子科技...
作者
2篇
李跃进
2篇
朱作云
2篇
韩小亮
1篇
杨银堂
1篇
柴常春
1篇
贾护军
传媒
1篇
传感器技术
1篇
西安电子科技...
年份
2篇
2001
共
2
条 记 录,以下是 1-2
全选
清除
导出
排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效排序
SiC薄膜高温压力传感器
被引量:16
2001年
SiC是制造高温半导体压力传感器的理想材料。介绍了在Si衬底上外延生长 3C -SiC薄膜和用它制作的SiC高温压力传感器 ,并对研制结果进行了分析。简单介绍了其它几种SiC压力传感器的特点、结构和制作方法。
朱作云
李跃进
杨银堂
柴常春
贾护军
韩小亮
王文襄
刘秀娥
王麦广
关键词:
压力传感器
碳化硅
高温半导体压力传感器技术
被引量:12
2001年
介绍了高温半导体压力传感器的应用和国内外研究发展现状 ,论述了几种主要的高温半导体压力传感器的工作原理和关键技术 ,比较了不同传感器结构和制作工艺之间的优缺点 。
韩小亮
朱作云
李跃进
关键词:
压力传感器
碳化硅
半导体
全选
清除
导出
共1页
<
1
>
聚类工具
0
执行
隐藏
清空
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张