刘卫平
- 作品数：4 被引量：4H指数：1
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
- 相关领域：电气工程电子电信更多>>
- 超高压汞灯功率控制研究
- 2012年
- 介绍了一种光刻机超高压汞灯电源,采用模拟功率反馈控制,有效提高了光源稳定性;重点阐述了恒功率控制的原理和主要电路结构。
- 刘卫平葛劢冲
- 关键词：超高压汞灯恒功率控制模拟乘法器传感器
- 一种新型的底部对准光学系统设计
- 2012年
- 介绍了一种新型的底部对准系统,倍率的变化不是靠换不同物镜,而是靠变换辅助物镜焦距来变换倍率。x、y向工作台带动整支光路运动,不会给光路带来光轴偏离误差,z向调焦则通过前后移动物镜观察成像。
- 刘金荣刘卫平
- 关键词：曝光机
- 论超高压汞灯特性和控制方式被引量：4
- 2012年
- 分析了超高压汞灯的特性和对电源的控制要求,对各种控制方式进行了归纳和比较,提出了最佳的方案。
- 刘卫平
- 关键词：超高压汞灯传感器
- 超高压汞灯电源高压大电流触发干扰分析与抑制措施研究
- 2012年
- 分析了超高压汞灯电源启动时高压大电流电磁干扰的产生机理,针对启动时高压大电流触发干扰,从频域,空域和时域方面,提出了抑制干扰的方法和措施。
- 刘卫平刘金荣
