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吴辉

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：吉林大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇单片
  • 1篇刻蚀
  • 1篇光电
  • 1篇光电子
  • 1篇光电子集成

机构

  • 1篇吉林大学

作者

  • 1篇刘明大
  • 1篇吴辉
  • 1篇李淑文

传媒

  • 1篇半导体光电

年份

  • 1篇1990
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
适于单片光电子集成的中止解理技术
1990年
本文对中止解理技术进行了较详细的讨论;并给出了实现中止解理技术的几种较理想的腐蚀液及其刻蚀速率曲线。
刘明大吴辉李淑文
关键词：单片光电子集成刻蚀
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共1页<1>
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