富丽晨
- 作品数：32 被引量：109H指数：7
- 供职机构：长春理工大学更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术核科学技术更多>>
- 高纵横比微孔列阵的干刻工艺被引量：2
- 1998年
- 本文简述了干法刻蚀的现状和Ｍｕｌｔｉｐｌｅｘ － ＩＣＰ 的结构原理， 给出了高纵横比微孔列阵的初刻实验结果，
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- 关键词：选择比刻蚀微机械
- 微通道板SiO_2防离子反馈膜技术研究被引量：5
- 2008年
- 本文利用射频磁控溅射方法,在微通道板输入面上成功地制备出二氧化硅防离子反馈膜.通过对二氧化硅防离子反馈膜的电子透过特性测试,给出了特性曲线.利用蒙特卡罗模拟方法对二氧化硅和三氧化二铝两种防离子反馈膜的电子透过和离子阻止能力进行了分析和比较,得出了二氧化硅薄膜比三氧化二铝薄膜对电子的透过特性稍好,而后者比前者对离子的阻止能力较优越的结论.
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- 关键词：微通道板二氧化硅防离子反馈膜蒙特卡罗模拟
- 紫外透过对MCP增益特性测量影响的研究
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- 关键词：光电器件紫外辐射微通道板
- 用半导体工艺制作硅微通道板
- 本文采用多路感应偶合等离子体（ICP）刻蚀系统制备了硅微孔列阵,采用LPCVD制作了连续打拿极,得到具有一定性能的硅微通道板。分析讨论了微孔列阵的表面形貌、反应离子刻蚀滞后以及电子增益系数等问题。结果表明,硅微通道板具有...
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- 关键词：硅微通道板刻蚀打拿极
- 文献传递
- 微通道板电子透射膜及其粒子透过特性的研究被引量：8
- 2005年
- 文中介绍了微光像管中微通道板电子透射膜及其形成技术,研究了粒子(电子和离子)透过特性.给出了死电压概念、死电压曲线、死电压与膜厚关系曲线以及半视场对比测试结果;给出了采用XPS进行成分分析的结果.介绍了电子透射膜的离子透过特性,给出了表征膜层对离子阻止能力的离子透过率的概念,提出了离子透过率测试的原理方案和相关技术等问题.
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- 关键词：微通道板电子透射膜
- 二维电子倍增器及其新发展被引量：12
- 1999年
- 概述了二维电子倍增器ＲＬＳＧ-ＭＣＰ的发展概况和工艺的局限性，提出了用半导体工艺制作ＡＴ－ＭＣＰ的技术途径，阐述了ＡＴ－ＭＣＰ的优点；介绍了新型ＭＳＰ电子倍增器的原理和特点，最后展望了电子倍增器的发展前景．
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- 关键词：电子倍增器微通道板微球板
- 低强度X射线影像诊断系统展望
- 介绍了国内外近贴聚焦X射线影像增强器和相应的Lixiscope系统,指出了相应的技术指标和特点,给出了改进Lixiscope的技术途径和应用前景。
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- 关键词：近贴聚焦
- 文献传递
- 高长径比微孔列阵及其应用
- 文中介绍了高长径比微孔列阵的形成工艺,给出了实验结果,指出了通道内壁存在纵向条带式不均匀分布问题,最后介绍了微孔列阵在MCP中的重要应用.
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- 关键词：微通道板刻蚀系统
- 文献传递
- 紫外透过对MCP增益特性测量影响的研究
- 张柏福田景全富丽晨
- 关键词：紫外辐射透过率微通道板
- CsBr涂层对MCP电流响应特性影响的研究
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- 关键词：溴化物涂层量子数光电器件微通道板
