张成武
- 作品数：8 被引量：22H指数：3
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术金属学及工艺核科学技术理学更多>>
- 有开放约束磁场磁控溅射系统等离子体引出被引量：8
- 2003年
- 在磁控溅射系统阴极靶施加同轴可调约束磁场显著改善了系统放电特性。研究了在Ar气放电系统伏安特性随不同的气压、溅射电压变化规律。采用同轴平面探针诊断距阴极 60mm、1 1 0mm和 2 30mm三个不同位置收集电流密度 ,负偏压 1 50V。实验结果表明存在不同的开放约束磁场和气压下放电特性符合I∝Vn(n≈ 1 2～ 1 5) ,开放约束磁场降低了系统的放电电压 ,增强了等离子体的引出效果 ,提高了系统在较低真空度的放电稳定性。轴向开放约束磁场显著提高了收集电流密度 ,离子收集通量在距阴极 2 30mm的位置达到 9 5mA/cm2 。收集电流密度达到饱和值后不再受轴向开放约束磁场强度和工作电流的影响。根据磁流体理论讨论了引起系统中伏安放电特性的变化原因。
- 牟宗信李国卿柳翠贾莉张成武
- 关键词：等离子体
- 90°弯管磁过滤阴极弧沉积类金刚石膜的特性分析被引量：1
- 2007年
- 利用动态机械热分析仪研究了四种镁硅合金的阻尼性能.研究表明:铸造镁硅合金具有良好的阻尼性能.并且体现出有别于纯镁的新阻尼特征,铸造镁硅合金具有较纯镁在更大应变振幅范围内的弛豫型内耗.由于Mg2Si对晶界的钉扎作用,界面阻尼峰出现在较纯镁更高的温度.少量钙的添加改善了Mg2Si析出的形态,但对阻尼性能的影响似乎不明显.
- 柳翠李国卿苟伟王丽阁张成武Sik-Chol KwonJong-Joo Rha
- 关键词：显微组织阻尼性能阻尼机理
- 钛离子注入对DLC膜结构与性能的影响
- 本文就钛离子注入对DLC膜的改性进行了系统地研究,针对注入能量和剂量对薄膜的结构和性能的影响进行了分析,为实现金属离子注入和气相沉积同步沉积技术奠定基础,研究结果表明: 1.钛离子注入可极大地改善DLC膜的表面性能、机械...
- 苟伟柳翠李国卿张成武牟宗信
- 文献传递
- 脉冲磁过滤阴极弧等离子体制备四面体非晶碳膜被引量：1
- 2004年
- 介绍了脉冲磁过滤阴极电弧法制备四面体非晶碳膜 (tetrahedral am orphous carbon即 ta- C) ,并对制得的薄膜表面形貌、硬度、电阻等进行了测试。结果表明 ,脉冲磁过滤阴极电弧法制备的 ta- C膜有优良的性能。拉曼光谱分析显示 ,制得的薄膜为非晶结构 ,有明显的 sp3结构特征 ,符合 ta-
- 张成武李国卿柳翠关秉羽
- 关键词：拉曼光谱偏压类金刚石膜
- 磁过滤真空阴极弧等离子体制备四面体非晶碳膜
- 磁过滤阴极弧等离子体沉积系统能过滤阴极弧放电时产生的大颗粒,制备金属和合金薄膜材料,而且能制备性能优异的无氢类金刚石膜,从而越来越受到重视.该文首先介绍了阴极弧的发展、原理及基本特征,然后介绍了磁过滤阴极弧的特点以及应用...
- 张成武
- 关键词：类金刚石膜
- 文献传递
- 非平衡磁控溅射类金刚石碳膜的性能被引量：9
- 2004年
- 用非平衡磁控溅射的方法在室温下制备了光滑、均匀、致密的类金刚石(DLC)薄膜,分析和研究了DLC膜的形貌、结构和摩擦特性.结果表明,靶工作电流对DLC膜的沉积有重要的影响.随着工作电流的增大,薄膜的沉积速率增大,薄膜中sp^3键的含量增加.薄膜的摩擦系数随着工作电流的增加略有增大,在摩擦的初始阶段,摩擦系数较高,随着摩擦循环次数的增加,摩擦系数逐渐减小,并逐渐趋于稳定。
- 柳翠李国卿张成武李新
- 宇宙学观测与暗能量模型
- 本文分别在四维和五维宇宙中用模型无关的参数化方法重建暗能量模型，并研究它对宇宙演化的影响。
首先介绍宇宙学的背景和标准宇宙学模型，与暗能量相关的天文观测和暗能量的一些模型，以及如何重建暗能量模型。随后，利用不同...
- 张成武
- 关键词：暗能量模型
- 脉冲磁过滤阴极弧等离子体制备四面体非晶碳膜
- 利用脉冲磁过滤阴极弧制备的非晶碳膜有许多优良的性能,如高硬度与高弹性模量、生物相容性好、高禁带宽度、高热稳定性以及良好的场致发光能力等,在诸多领域都获得广泛的应用。我们采用自行研制的脉冲磁过滤阴极弧系统,成功的在单晶硅(...
- 张成武李国卿柳翠关秉羽
- 文献传递
