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彭小波
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东华大学
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徐绍魁
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周荃
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徐金洲
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徐绍魁
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彭小波
年份
1篇
2008
1篇
2006
共
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大气压平面放电化学气相沉积纳米颗粒膜方法及装置
一种大气压平面放电化学气相沉积纳米颗粒膜的方法及装置,其特征是在大气压化学气相沉积装置的反应器中增加气流分配器,使气体均匀流过放电区并在基材包括软基材表面均匀、快速地沉积具有相同组分的膜层。在装置的反应器中放置不同个数的...
徐金洲
徐绍魁
周荃
彭小波
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大气压平面放电化学气相沉积纳米颗粒膜方法及装置
一种大气压平面放电化学气相沉积纳米颗粒膜的方法及装置,其特征是在大气压化学气相沉积装置的反应器中增加气流分配器,使气体均匀流过放电区并在基材包括软基材表面均匀、快速地沉积具有相同组分的膜层。在装置的反应器中放置不同个数的...
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