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林朝

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院理化技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文科技成果

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇选择性
  • 1篇掩膜
  • 1篇化学反应
  • 1篇光化学
  • 1篇光化学反应
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻设备
  • 1篇BIOMEM...

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇周稳稳
  • 1篇闫令文
  • 1篇徐百
  • 1篇林朝
  • 1篇董贤子
  • 1篇高云华
  • 1篇方香云

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
BioMEMS无掩膜光刻设备
高云华徐百林朝闫令文方香云董贤子周稳稳
无掩膜光刻系统的设计原理是将紫外光源发出的光线通过微镜聚焦、由光纤传输到达微反射镜器件DMD， 将DMD作为控制器与计算机联合，上百万个微反射镜阵列形成一个扫描器，这些反射镜能把10 kHz速度的光脉冲反射到一片涂有普通...
关键词：
关键词：BIOMEMS
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