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罗升旭
作品数:
7
被引量:2
H指数:1
供职机构:
山东大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘可辛
山东大学
马洪磊
山东大学
曹宝成
山东大学
计峰
山东大学
郑中山
山东大学
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山东大学
作者
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罗升旭
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曹宝成
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刘可辛
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马洪磊
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计峰
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年份
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1999
1篇
1996
1篇
1995
1篇
1994
1篇
1991
2篇
1989
共
7
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新型电子清洗剂与清洗工艺的研究
马洪磊
曹宝成
宗福建
李玉香
计峰
罗升旭
该项目属半导体技术领域。电子工业生产中的清洗技术,特别是半导体工业生产中的清洗技术是极端重要的,可以毫不夸张地说,如果没有有效的清洗技术,便没有今日的半导体器件及集成电路的发展,便没有今日的半导体产业。该项目研制成功的D...
关键词:
关键词:
清洗工艺
有限介质绝缘电阻对C-V测量的影响
被引量:2
1989年
本文描述了在高频和准静态C-V测量中,二氧化硅介质层有限电阻对测量准确性的影响。特别是在准静态测量中,由于频率相当低,MOS电容值只有100pF左右,所产生的位移电流为10(-9)~10(-14)A范围,介质层有限电阻产生的漏电流对测量准确性影响很大。因此,在存在漏电流的情况下,必须从测得的数值中扣除漏电流,才能进行界面态密度的计算。
刘可辛
罗升旭
郑中山
杜刚
路大勇
王子建
关键词:
绝缘电阻
MOS结构准静态测试中的异常C-V曲线
1989年
本文报导了MOS结构在准静态测试中的异常电容-电压曲线。讨论了它们产生的原因。
刘可辛
罗升旭
郑中山
王继春
王子建
关键词:
MOS结构
准静态
C-V测量
一种用于电子工业的清洗剂及其制备方法
一种用于电子工业的清洗剂及其制备方法,属于化学产品制备技术领域。本发明清洗剂一套两个型号I和II,选用中性表面活性剂,添加适量助剂,与超纯去离子水配成均匀透明的液体,复配温度50-90℃,pH值为6.4-8.5,经灭菌处...
罗升旭
马洪磊
刘可辛
申英魁
于新好
文献传递
一种用于电子工业的清洗剂及其制备方法
一种用于电子工业的清洗剂及其制备方法,属于化学清洗技术领域。本发明清洗剂一套两个型号I和II,选用中性表面活性剂,添加适量助剂,与超纯去离子水配成均匀透明的液体,复配温度50-90℃,PH值为6.4-8.5,经灭菌处理,...
罗升旭
马洪垒
刘可辛
申英魁
于新好
杜信荣
曹宝成
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去胶剂组合物
本发明涉及一种去胶剂组合物,包括重量百分比10—20%的脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠和80—90%的下列有机溶剂之一或其任意比例的组合:苯乙酮,松油醇,苯甲醇,月桂醇;还可加入脂肪醇聚氧乙烯醚硅烷和去离子水,以降低去胶剂组合物...
曹宝成
计峰
马洪磊
罗升旭
文献传递
去胶剂组合物
本发明涉及一种去胶剂组合物,包括重量百分比10-20%的脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠和80-90%的下列有机溶剂之一或其任意比例的组合:苯乙酮,松油醇,苯甲醇,月桂醇;还可加入脂肪醇聚氧乙烯醚硅烷和去离子水,以降低去胶剂组合物...
曹宝成
计峰
马洪磊
罗升旭
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