付恩刚
- 作品数：11 被引量：79H指数：5
- 供职机构：清华大学更多>>
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- 相关领域：理学一般工业技术电子电信电气工程更多>>
- 交流磁控溅射制备ZAO薄膜工艺参数的研究被引量：4
- 2005年
- 对于交流磁控溅射氧化锌铝陶瓷靶材制备ZAO薄膜,研究了氧流量、基体温度、靶电流密度、铝的掺杂量、本底真空压力和工作气体压力对zAO薄膜电学性能的影响规律,优化了工艺参数,为工业化生产提供了实验依据．
- 李士元付恩刚庄大明张弓
- 关键词：磁控溅射ZAO薄膜工艺参数电阻率
- 掺铝氧化锌薄膜的红外性能及机制被引量：19
- 2005年
- 采用中频交流磁控溅射氧化锌铝(ZnO+2％Al2O3)陶瓷靶材的方法制备了掺铝氧化锌ZAO(ZnO:Al)薄膜.利 用红外光谱仪测试了薄膜的红外反射性能,研究了薄膜厚度、基体温度和氩气压力对ZAO薄膜红外反射性能的影响规律,确定了 制备具有高红外反射率的ZAO薄膜的工艺参数.
- 付恩刚庄大明张弓
- 关键词：磁控溅射ZAO薄膜红外反射
- 磁控溅射ZAO薄膜工艺参数对其性能的影响
- 利用中频交流磁控溅射方法采用氧化锌铝(98﹪ZnO+2﹪Al<,2>O<,3>)陶瓷靶材制备了ZAO(ZnO:Al)薄膜,考察了基体温度和工作气压对ZAO薄膜的晶体结构、电学和光学性能的影响,利用X射线衍射仪和原子力显微...
- 付恩刚庄大明张弓侯亚奇吴敏生
- 关键词：磁控溅射陶瓷靶材ZAO薄膜透过率
- 文献传递
- 绒面氧化锌透明导电薄膜及其制备方法
- 绒面氧化锌透明导电薄膜及其制备方法涉及用于太阳电池的光电材料技术领域，特别涉及到用于太阳电池的透明导电薄膜设计技术领域。其特征在于，这种薄膜是一种绒面的氧化锌透明导电薄膜。制备该薄膜的方法是磁控溅射方法，其特征在于，溅射...
- 张弓庄大明付恩刚方玲王超赵方红
- 文献传递
- 无机功能薄膜/涂层结构、性能调控与服役机理研究
- 王海斗庄大明刘家浚徐滨士邢志国马国政董丽虹赵明付恩刚张宁侯亚奇王晓丽赵兴中徐桂珍陈崧哲
- 面对日益严重的能源、资源和环境问题，项目组长期致力于固体润滑、光电转换、光催化降解等无机功能薄膜/涂层的设计、制备和服役机理研究，有力推动了节能环保领域科学技术进步。主要科学发现和成果如下：揭示了摩擦磨损本质规律和固体润...
- 关键词：
- 关键词：润滑材料
- 绒面氧化锌透明导电薄膜及其制备方法
- 绒面氧化锌透明导电薄膜及其制备方法涉及用于太阳电池的光电材料技术领域，特别涉及到用于太阳电池的透明导电薄膜设计技术领域。其特征在于，这种薄膜是一种绒面的氧化锌透明导电薄膜。制备该薄膜的方法是磁控溅射方法，其特征在于，溅射...
- 张弓庄大明付恩刚方玲王超赵方红
- 文献传递
- 绒面ZnO:Al(ZAO)透明导电薄膜的制备被引量：15
- 2003年
- 利用中频交流磁控溅射方法,采用氧化锌铝(98wt%ZnO+2wt%Al2O3)陶瓷靶材制备了绒面ZAO(ZnO∶Al)薄膜,考察了所制备的绒面ZAO薄膜与绒面SnO2∶F薄膜在绒度、粗糙度、表面形貌以及电学性质的差异,利用原子力显微镜对薄膜表面形貌进行了分析并计算出薄膜表面粗糙度,利用紫外可见分光光度计和电阻测试仪测量了薄膜的光学、电学特性。结果表明:所制备的绒面ZAO薄膜具有与绒面SnO2∶F薄膜相比拟的各种性能,在非晶硅太阳电池中具有潜在的应用前景。
- 付恩刚方玲庄大明张弓
- 关键词：ZAO薄膜陷光结构掺铝氧化锌非晶硅太阳电池
- 掺铝掺硅氧化锌薄膜的制备工艺及其性能研究
- 氧化锌铝(ZAO)透明导电薄膜具有可见光透过率高、红外反射率高、电阻率低等特点,在平板显示器、太阳能薄膜电池、热反射镜、薄膜玻璃等领域具有极其广泛的应用前景。 本文采用预压成型加常压烧结的工艺方法,制备了ZAO陶瓷靶材,...
- 付恩刚
- 关键词：ZAO薄膜方块电阻透过率绒面
- 文献传递
- 基体温度对磁控溅射沉积ZAO薄膜性能的影响被引量：12
- 2003年
- 利用中频交流磁控溅射方法 ,采用氧化锌铝陶瓷靶材 [w(ZnO) =98%、w(Al2 O3 ) =2 % ]制备了ZAO(ZnO∶Al)薄膜 ,观察了基体温度对ZAO薄膜的晶体结构、电学和光学性能的影响 ,采用X射线衍射仪对薄膜的结构进行了分析 ,采用光学分度计和电阻测试仪测量了薄膜的光学、电学特性 ,采用霍尔测试仪测量了薄膜的载流子浓度和霍尔迁移率。结果表明 :沉积薄膜时的基体温度对薄膜的结构、结晶状况、可见光透射率以及导电性有较大的影响。当基体温度为 2 5 0℃ ,Ar分压为 0 8Pa时 ,薄膜的最低电阻率为 4 6× 10 -4Ω·cm ,方块电阻为 35Ω时 ,可见光 (λ =5 5 0nm)透射率高达 92 0 %。
- 付恩刚庄大明张弓方玲梁展鸿吴敏生杨伟方
- 关键词：磁控溅射沉积氧化锌氧化铝电阻率透射率
- ZAO薄膜的光电特性与应用前景被引量：13
- 2007年
- 综述了ZAO透明导电薄膜的光电特性及其导电机理、制备技术与研究现状,认为ZAO薄膜在平板显示、太阳能电池和低辐射器件领域具有广泛的应用前景,要达到工业应用还需对一些关键问题进行系统的研究。
- 杨伟方付恩刚庄大明张弓
- 关键词：ZAO薄膜磁控溅射电阻率透过率
