张伟丽
- 作品数：61 被引量：101H指数：6
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划上海市光科技项目更多>>
- 相关领域：理学电子电信机械工程一般工业技术更多>>
- 降低氧化铪‑氧化硅多层膜表面粗糙度的方法
- 一种降低氧化铪‑氧化硅多层膜表面粗糙度的方法，使用HfO<Sub>2</Sub>‑SiO<Sub>2</Sub>混合膜层取代多层膜中每一层纯HfO<Sub>2</Sub>膜层，蒸镀完SiO<Sub>2</Sub>膜层后，...
- 朱美萍许诺孙建王建国张伟丽王胭脂易葵邵建达
- 文献传递
- 反应电子束蒸发HfO2薄膜的结构、光学、化学和抗激光损伤特性被引量：6
- 2020年
- 采用反应电子束蒸发技术在不同氧分压下制备了HfO2薄膜,并采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、椭圆偏振仪、X射线光电子能谱仪、1064 nm弱吸收测试仪、1064 nm激光1-on-1损伤测试系统等,对HfO2薄膜的结构、光学性能、化学组分、吸收性能、抗激光损伤特性和损伤形貌等进行了表征和分析。当沉积温度为200℃时,所制备的HfO2薄膜为单斜多晶结构,晶粒尺寸约为10 nm。随着氧分压升高,薄膜的氧化程度随之增大,由化学计量比缺陷主导的薄膜1064 nm弱吸收系数变小,同时薄膜结构变得疏松,折射率随之降低。深入研究后发现,在采用反应电子束蒸发技术制备HfO2薄膜时,提高氧分压有助于抑制膜内纳米吸收缺陷和基底亚表面裂纹,提高HfO2薄膜抗1064 nm激光损伤阈值,对制备出基于HfO2薄膜的高性能光学元器件具有重要的参考价值。
- 余振张伟丽朱瑞齐红基
- 关键词：氧分压
- 全固态激光器薄膜的关键技术攻关
- 张伟丽王英剑赵元安田光磊谭天亚黄建兵王涛马小凤
- 该产品除了激光器本身系统中需要相应的模片以外，在出光后的光路系统中同样需要特定性能的模片。本项目通过对腔镜的研究过程中我们为客户提供了各类全固态激光器用光学薄膜，得到客户的认可。这些都开拓了全固态激光器薄膜的应用，为该类...
- 关键词：
- 关键词：全固态
- 改善球面光学元件镀膜均匀性的挡板的设计方法
- 一种用于行星转动系统镀膜机内改善球面光学元件镀膜均匀性的挡板设计方法。建立镀膜模型和设计了具有抛物线轮廓的平面修正挡板。本发明挡板用于镀膜实验表明，在通光口径与曲率半径比值范围（－1.9～+1.9）内改善膜厚均匀性达到9...
- 孙建张伟丽易葵邵建达
- 文献传递
- 一种深紫外滤光片及其设计方法
- 本发明属于光学薄膜技术领域，具体涉及一种深紫外滤光片及设计方法，该深紫外滤光片结构为:Sub/Ma(HL)<Sup>m</Sup>b(HL)<Sup>n</Sup> x<Sub>1</Sub>Hx<Sub>2</Sub>...
- 张伟丽冯操王建国易葵朱美萍朱瑞孙建沈雪峰邵建达
- 文献传递
- 紫外Sc2O3薄膜的光学和结构性能表征及其激光作用下的损伤机理被引量：2
- 2010年
- 利用电子束蒸发方法,在不同沉积温度（50～350℃）下制备了Sc2O3薄膜。分别用分光光度计,小角掠入射X射线衍射仪和轮廓仪测试了薄膜样品的光谱、微结构和表面粗糙度信息,并用薄膜分析软件Essential Macleod计算了Sc2O3薄膜的折射率和消光系数。结果表明：随着沉积温度升高,Sc2O3薄膜结晶程度增强,晶粒尺寸增大,且较高的沉积温度有利于获得较高的折射率。最后用355 nm,8 ns的三倍频Nd：YAG激光器测试了其激光损伤阈值（LIDT）,最大值为2.6 J/cm2,且阈值与薄膜的消光系数、表面粗糙度、光学损耗均呈现相反的变化趋势。用光学显微镜和扫描电子显微镜表征了该薄膜的破坏形貌,详细分析了薄膜在不同激光能量作用下破坏的发展过程,以及Sc2O3薄膜在355 nm紫外激光作用下LIDT与制备工艺的关系,重点分析了355 nm激光作用下薄膜的破坏机理。
- 刘光辉薛春荣晋云霞张伟丽方明贺洪波范正修
- 关键词：沉积温度光学性能结构性能激光损伤阈值
- 不同基底上HfO_2/SiO_2多层膜的力学性能被引量：2
- 2013年
- 用电子束蒸发技术在K9玻璃及YAG晶体上沉积了HfO2/SiO2多层膜,采用纳米划痕仪对薄膜的力学性能进行了研究。实验结果表明:沉积在YAG和K9的多层膜弹性模量分别为34.8GPa和38.5GPa,基底对薄膜的弹性模量影响较小;YAG和K9上薄膜的粘附失效临界附着力分别为5mN和7mN,薄膜与YAG基底的结合状态较K9基底的差,并且呈现不同破坏模式。从薄膜之间及膜基界面处的界面结合状态和弹性模量两方面分析解释了YAG基底和K9基底上薄膜的不同力学行为。
- 王河贺洪波张伟丽
- 关键词：HFO2YAG晶体力学性能
- 元件激光损伤阈值的测试方法
- 一种元件激光损伤阈值的测试方法，旨在提高元件的激光损伤测试效率；本发明以微透镜阵列取代传统透镜进行激光损伤测试，可运用于传统1‑on‑1激光损伤测试也可用于S‑on‑1激光损伤测试。本发明可大幅度缩短元件激光损伤测试时间...
- 王胭脂郭可升陈瑞溢张宇辉朱晔新朱美萍张伟丽王建国孙建易葵邵建达
- 一种宽带高反射高阈值低色散镜及其设计方法
- 本发明提出一种宽带高反射高阈值低色散镜及其设计方法，宽带高反射高阈值低色散镜的结构为G/M/C/A，其中G代表基底层，M代表金属膜层，C代表介质膜层，A代表空气层，所述介质膜层由单层介质薄膜材料构成或者由低折射率的介质薄...
- 王胭脂张宇晖陈瑞溢郭可升王志皓朱美萍张伟丽王建国孙建赵娇玲朱晔新易葵邵建达
- 文献传递
- 氧化铝薄膜的制备方法
- 一种氧化铝薄膜的制备方法，该方法包括膜料清洗提纯、膜料预熔和电子束反应蒸发氧化铝薄膜沉积过程，所述膜料为金属铝颗粒或块体，反应气体为氧气。本发明充分利用了电子束反应蒸发在速率稳定性和充分氧化方面的优势，可以制备出低吸收低...
- 张伟丽余振朱瑞易葵刘晓凤王胭脂朱美萍邵建达
- 文献传递
