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孙建

作品数：59 被引量：13H指数：2
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金中国科学院战略性先导科技专项更多>>
相关领域：理学电子电信机械工程金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 51篇专利
  • 4篇期刊文章
  • 3篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 10篇理学
  • 9篇电子电信
  • 5篇机械工程
  • 3篇金属学及工艺
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 21篇镀膜
  • 20篇激光
  • 14篇光学
  • 8篇脉冲
  • 8篇膜系
  • 8篇激光损伤
  • 8篇光学薄膜
  • 7篇色散
  • 7篇离子束
  • 6篇多层膜
  • 6篇光学元件
  • 6篇超快激光
  • 5篇损伤阈值
  • 5篇溅射
  • 4篇挡板
  • 4篇电子束
  • 4篇电子束蒸发
  • 4篇镀膜设备
  • 4篇氧化铪
  • 4篇应力

机构

  • 59篇中国科学院上...
  • 2篇中国科学院大...
  • 1篇同济大学
  • 1篇国科大杭州高...

作者

  • 59篇孙建
  • 54篇邵建达
  • 53篇易葵
  • 48篇朱美萍
  • 39篇王建国
  • 35篇张伟丽
  • 24篇王胭脂
  • 17篇李静平
  • 13篇赵娇玲
  • 8篇邵宇川
  • 6篇陈宇
  • 5篇齐红基
  • 5篇沈雪峰
  • 4篇刘晓凤
  • 4篇柴英杰
  • 3篇赵元安
  • 3篇柯立公
  • 3篇王涛
  • 2篇晋云霞
  • 2篇冯吉军

传媒

  • 2篇光学学报
  • 1篇光学精密工程
  • 1篇中国激光
  • 1篇上海市激光学...

年份

  • 2篇2024
  • 5篇2023
  • 6篇2022
  • 9篇2021
  • 9篇2020
  • 5篇2019
  • 5篇2018
  • 8篇2017
  • 3篇2016
  • 5篇2015
  • 2篇2014
共 59 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
宽带高阈值组合介质低色散镜结构及其设计方法
一种宽带高阈值组合介质低色散镜结构及其设计方法。宽带高阈值组合介质低色散镜的结构为G/M/N/A，其中G代表基底层，M代表宽带介质膜层，N代表高阈值介质膜层，A代表空气层。所述的介质膜系结构由高折射率材料和低折射率材料交...
王胭脂张宇晖陈瑞溢郭可升王志皓朱美萍张伟丽王建国孙建赵娇玲朱晔新晋云霞易葵邵建达
文献传递
一种大尺寸光学元件镀膜夹具和装夹方法
一种大尺寸光学元件的镀膜夹具及装夹方法，所述的镀膜夹具包括框架结构和方形支撑结构，方形支撑结构四边各由支撑板、缓冲条、加强筋、定位块和螺栓组成，加强筋、缓冲条、支撑板和定位块设有多个螺栓通孔，框架结构内侧面具有多个螺栓通...
朱美萍邵建达李静平孙建赵娇玲王建国易葵
文献传递
抑制氧化铪薄膜折射率非均匀性的方法
一种抑制氧化铪薄膜折射率非均匀性的方法，在制备含有氧化铪膜层的多层光学薄膜时，镀制氧化铪的同时掺入氧化硅材料一同镀制形成氧化铪‑氧化硅混合膜层，抑制纯氧化铪膜层的折射率非均匀性，进而改善由于氧化铪膜层折射率非均匀性导致多...
孙建朱美萍赵泽成易葵张伟丽王建国王胭脂李静平赵娇玲邵宇川邵建达
文献传递
一种深紫外平板偏振分光镜及其设计方法
一种深紫外平板偏振分光镜及其设计方法，该偏振分光镜由基板及基板两面的偏振膜和增透膜三部分构成，其中偏振膜的膜系结构包括膜层应力调节层和偏振分光膜层；初始结构为：Air/(aHbL)<Sup>n</Sup>M/Sub/HL...
张伟丽冯操朱瑞王建国朱美萍孙建刘晓凤沈雪峰易葵邵建达
文献传递
磁控溅射元件镀膜膜厚分布修正的挡板设计方法
一种磁控溅射元件镀膜膜厚分布修正的挡板设计方法，通过建立磁控溅射系统元件镀膜膜厚分布模型，设计以高斯曲线为基础的复合高斯型轮廓的修正挡板。本发明针对磁控溅射系统中面源靶材的复杂产额分布，可借助计算机进行自动优化并根据元件...
孙建陈上林朱美萍李静平王陈飞邵建达
大陡度透镜表面膜层折射率均匀性分析
2021年
集成电路与光刻机系统中通常会设计并使用很多小曲率半径的大陡度透镜,以实现大数值孔径,这对镀制于其表面的紫外薄膜的性能提出了很高的要求。本文分析了行星夹具转动过程中大陡度凸透镜从中心到边缘位置的薄膜沉积角度的变化规律,研究了MgF_(2)膜层的折射率随沉积角度的变化规律,明确了大陡度凸透镜从中心到边缘位置的膜层折射率不均匀性对深紫外增透膜的影响。针对小曲率半径大陡度凸透镜表面的膜层沉积特性,通过升高基底温度提高了折射率分布的均匀性,为大陡度透镜膜层折射率不均匀性修正提供了理论和实验依据。
张伟丽冯操孙建朱瑞王建国沈雪峰易葵朱美萍邵建达
改善球面光学元件镀膜均匀性的挡板的设计方法
一种用于行星转动系统镀膜机内改善球面光学元件镀膜均匀性的挡板设计方法。建立镀膜模型和设计了具有抛物线轮廓的平面修正挡板。本发明挡板用于镀膜实验表明，在通光口径与曲率半径比值范围（－1.9～+1.9）内改善膜厚均匀性达到9...
孙建张伟丽易葵邵建达
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大尺寸光学元件的全口径镀膜夹具
一种大尺寸光学元件的全口径镀膜夹具，包括箍套结构和框架结构组成，所述的箍套结构是一个箍套，该箍套的内侧面具有一连续的凸形台状的嵌套梁，该嵌套梁与待镀膜的玻璃基板的外侧面周围的凹槽相嵌套，该箍套的外侧面设有多个螺栓螺孔，所...
王建国朱美萍孙建易葵邵建达
文献传递
一种深紫外滤光片及其设计方法
本发明属于光学薄膜技术领域，具体涉及一种深紫外滤光片及设计方法，该深紫外滤光片结构为:Sub/Ma(HL)<Sup>m</Sup>b(HL)<Sup>n</Sup> x<Sub>1</Sub>Hx<Sub>2</Sub>...
张伟丽冯操王建国易葵朱美萍朱瑞孙建沈雪峰邵建达
文献传递
关于双源共蒸法制备HfO2-SiO2混合物单层膜的研究
本文采用双源共蒸的方法制备了不同混合比例的HfO2-SiO2单层膜.镀膜过程中基底烘烤温度为200℃.本底真空度和氧分压分别为9&#215; 10-6 mbar和2&#215;10-4 mbar.制备的两种起始材料分别是...
邢焕彬朱美萍柴英杰孙建涂飞飞易葵邵建达
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