徐垚
- 作品数：16 被引量：46H指数：4
- 供职机构：同济大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学机械工程一般工业技术电子电信更多>>
- 磁控溅射方法制备碳膜稳定性的研究
- 内应力与附着性是影响C膜稳定性的重要因素。本文分析了磁控溅射方法制备C膜中内应力产生的主要原因，研究了应力大小与沉积时工艺条件--气压、靶距之间的关系，提出了控制C膜中内应力的方法，并通过添加Ti中间层增强了C膜的附着性...
- 刘丽琴王占山朱京涛张众王风丽徐迭张慧晶白亮徐垚
- 关键词：磁控溅射内应力附着性
- 文献传递
- 单能电子在聚酯薄膜(PET)中射程的测量被引量：5
- 2004年
- 聚酯薄膜 (PET)作为由C ,H ,O三种元素组成的有机物 ,与生物组织的组成较为相似 ,测量单能电子在PET中的射程在放射性防护方面有一定的价值 .本文在RES系列相对论效应实验谱仪平台上测量了单能电子在PET中的射程 ,给出了相应的实验方法和数据处理方法 ,实现了在普通实验室进行单能电子射程的测量 .
- 徐垚秦树基陈英琦张哲李雅曹国粹陈玲燕
- 关键词：聚酯薄膜单能电子相对论效应数据处理
- 极紫外与软X射线波段纳米多层膜反射镜
- 本文介绍了极紫外与软X射线波段纳米多层膜的研究,阐述了相应的特点和难点,描述了同济大学近年来在这一领域内的进展,发展了Mo/Si高反射多层膜,13nm处最高反射率超过65％,研制了30.4nm高反射多层膜,两种材料组合的...
- 王占山朱京涛张众王洪昌徐垚陈玲燕
- 关键词：软X射线纳米膜
- 文献传递
- 4.48nm正入射软X射线激光用Cr/C多层膜高反射镜的研制被引量：3
- 2007年
- 针对4.48nm类镍钽软X射线激光及其应用实验,设计制备了工作于这一波长的近正入射多层膜高反射镜。选择Cr/C为制备4.48nm高反射多层膜的材料对,通过优化设计,确定了多层膜的周期、周期数以及两种材料的厚度比。模拟了多层膜非理想界面对高反射多层膜性能的影响。采用直流磁控溅射方法在超光滑硅基片上实现了200周期Cr/C多层膜高反射镜的制备。利用X射线衍射仪测量了多层膜结构,在德国BessyⅡ同步辐射上测量了在工作波长处多层膜反射率,测量的峰值反射率达7.5%。对衍射仪测量的掠入射反射曲线和同步辐射测量的反射率曲线分别进行拟合,得到的粗糙度和厚度比的结果相近。测试结果表明,所制备的Cr/C多层膜样品结构良好,在指定工作波长处有较高的反射峰,达到了设计要求。
- 王蓓王占山徐垚张众朱京涛王洪昌王风丽陈玲燕
- 关键词：X射线光学软X射线多层膜磁控溅射
- 用X射线反射测量法表征双层结构中低原子序数材料的特性(英文)被引量：8
- 2007年
- 介绍了用X射线反射测量术表征双层薄膜中低原子序数材料特性的方法。由于低原子序数材料的光学常数与Si基板材料的光学常数非常接近,用X射线反射法确定镀制在Si基板上的低原子序数材料膜层结构的变化十分困难,因此,提出了在镀制低原子序数材料前,首先在基板上镀制一层非常薄的金属层的方法。实验中,选用Cr作为金属层材料,制备并测试了三种不同C膜镀制时间的Cr/C双层薄膜。反射率曲线拟合结果表明,C膜密度约为2 .25 g/cm3,沉积速率为0 .058 nm/s。
- 徐垚王占山徐敬张众王洪昌朱京涛王风丽王蓓秦树基陈玲燕
- 关键词：X射线衍射仪
- 30.4nm波长SiC/Mg多层膜反射镜被引量：10
- 2007年
- 波长30.4 nm的He-II谱线是极紫外天文观测中最重要的谱线之一,空间极紫外太阳观测光学系统需要采用多层膜作为反射元件。为此研究了SiC/Mg、B4C/Mg、C/Mg、C/Al、Mo/Si、B4C/Si、SiC/Si、C/Si、Sc/Si等材料组合的多层膜在该波长处的反射性能。基于反射率最大与多层膜带宽最小的设计优化原则,选取了SiC/Mg作为膜系材料。采用直流磁控溅射技术制备了SiC/Mg多层膜,用X射线衍射仪测量了多层膜的周期厚度,用国家同步辐射计量站的反射率计测量了多层膜的反射率,在入射角12°时,实测30.4 nm处的反射率为38.0%。
- 朱京涛张淑敏王蓓吴文娟李存霞徐垚张众王风丽王占山陈玲燕周洪军霍同林
- 关键词：薄膜光学极紫外多层膜磁控溅射
- SU-8平面抛物形折射透镜的设计与研制
- 在上海,现正在建设第三代同步辐射光源,第一期工程完工后将建有7条光束线。在这种形势下,自主设计和制造第三代同步辐射光源上使用的X射线聚焦与成像元件变得越来越重要。作为应用于第三代同步辐射光源的重要一种X射线元件,复合折射...
- 黄承超徐垚王占山陈玲燕田扬超刘刚
- 文献传递
- 软X射线激光用自支撑Zr滤光膜的制备及测量被引量：3
- 2006年
- 利用直流磁控溅射方法制备了质量厚度为200μg.cm-2,直径为20 mm的自支撑金属Zr滤光膜。用同步辐射光源和紫外可见分光光度计分别测量了滤光膜在软X射线和可见光波段的透射率,用俄歇电子能谱(AES)分析了膜中的元素含量。结果表明:Zr膜在13.9 nm波长的透射率达19%,对可见光的抑制性能达43 dB。杂质、膜层氧化及表面污染是影响滤光膜软X射线光谱透射率的主要因素。
- 张莉吴永刚曹鸿徐垚焦宏飞陈玲燕
- 关键词：ZRX射线激光透射率直流磁控溅射
- X射线衍射测量在多层膜制备中的应用
- 多层膜结构参量的确定对镀膜工艺参量的标定具有重要意义。列举了X衍射仪（XRD）测量在多层膜制备中的应用。用XRD测试了基底、单层膜和多层膜样品,并对测试结果加以拟合分析得到了包括多层膜周期厚度、厚度比率、基底粗糙度以及界...
- 徐垚王占山陈玲燕
- 关键词：X射线衍射多层膜
- 文献传递
- SU-8平面抛物形折射透镜的设计与研制被引量：1
- 2007年
- 作为应用于第三代同步辐射光源的一种重要X射线元件,复合折射透镜成为近年来X射线光学研究的热点之一。平面抛物形折射透镜是复合折射透镜的重要一种。研究过程中,考虑到X射线衍射仪的特定检测环境及随后加工上的技术要求,优化设计了透镜各个参数,用ZEMAX软件对透镜进行光线追迹,模拟验证了设计结果。单组透镜的几何孔径为250μm,焦距为30 cm。共设计30组透镜,透镜个数从1个变化到30个,相应的抛物形顶点处的曲率半径从1.23μm变化到37μm。在光子能量为8.05 keV条件下,透镜的理论透过率从43.3%变化到33.2%。焦斑直径均在微米量级。采用紫外光刻微加工技术,制作了SU-8光刻胶平面抛物形折射透镜。透镜厚度为224μm。透镜光学性能的测试正在进行中。
- 黄承超徐垚王占山陈玲燕田扬超刘刚
- 关键词：X射线X射线衍射仪SU-8紫外光刻
