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朱晨昕

作品数：49 被引量：5H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：电气工程自动化与计算机技术电子电信金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 45篇专利
  • 4篇期刊文章

领域

  • 4篇电气工程
  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇电子电信
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 17篇存储器
  • 15篇纳米
  • 15篇纳米晶
  • 12篇电池
  • 10篇太阳能电池
  • 7篇金属
  • 7篇金属纳米
  • 7篇金属纳米晶
  • 7篇扩散炉
  • 7篇浮栅
  • 6篇声表面波
  • 6篇硅电池
  • 6篇多值
  • 5篇氧化层
  • 5篇阻挡层
  • 5篇微电子
  • 5篇介质层
  • 5篇光刻
  • 5篇硅太阳能电池
  • 5篇俘获

机构

  • 49篇中国科学院微...

作者

  • 49篇朱晨昕
  • 41篇刘明
  • 33篇李维龙
  • 33篇陈晨
  • 33篇贾锐
  • 28篇李昊峰
  • 16篇霍宗亮
  • 13篇王琴
  • 12篇张培文
  • 11篇刘新宇
  • 11篇许中广
  • 10篇谢常青
  • 8篇叶甜春
  • 8篇龙世兵
  • 6篇张满红
  • 6篇李冬梅
  • 4篇刘璟
  • 3篇田继红
  • 3篇路程
  • 3篇赵盛杰

传媒

  • 1篇物理
  • 1篇微电子学
  • 1篇半导体光电
  • 1篇压电与声光

年份

  • 4篇2015
  • 4篇2013
  • 9篇2012
  • 8篇2011
  • 12篇2010
  • 12篇2009
共 49 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种制备双面PN结太阳能电池的方法
本发明公开了一种制备双面PN结太阳能电池的方法，包括：在晶硅基板的正反面制备绒面结构；将正反两面均有绒面结构的晶硅基板放置入扩散炉中进行扩散，形成双面PN结结构；在晶硅基板背面光刻并腐蚀，形成太阳能电池正极栅槽；在晶硅基...
贾锐朱晨昕陈晨李维龙张培文李昊峰赵盛杰刘明
一种用于低温探针台中的磁场产生装置
本发明涉及一种用于低温探针台中的磁场产生装置。为了克服现有测试设备中体积大、不易携带的缺点，本发明提供一种用于低温探针台中的磁场产生装置，包括底托、样品托和永磁铁，所述底托上方设有两根平行螺杆，两根螺杆上设有可沿螺杆滑动...
李维龙贾锐陈晨朱晨昕李昊峰
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一种金属纳米晶存储器的制备方法
本发明公开了一种金属纳米晶存储器的制备方法。该方法包括：在衬底上沉积隧穿介质层；将金属纳米晶胶体喷射沉积在隧穿介质层上，并使金属纳米晶胶体中的溶剂挥发，剩余金属纳米晶在隧穿介质层表面形成金属纳米晶存储层；在金属纳米晶存储...
刘明许中广霍宗亮朱晨昕谢常青张满红
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基于硅量子点超晶格结构的晶硅太阳能电池的制备方法
本发明公开了一种制备基于硅量子点超晶格结构的晶硅太阳能电池的方法，包括：在晶硅基板正面和背面制备绒面结构，并将晶硅基板放置于扩散炉中进行扩散，形成双面PN结；混合硅颗粒与半导体氧化物颗粒，通过电子束蒸发至晶硅基板上，形成...
贾锐李维龙朱晨昕陈晨张培文刘明刘新宇叶甜春
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非挥发存储器的制备方法
本发明是关于一种非挥发存储器的制备方法，其包括以下步骤：A.在半导体衬底上注入杂质形成沟道层；B.在沟道层上依次生长隧穿氧化层、纳米晶浮栅层、栅氧化层，其中纳米晶浮栅层由快速热退火方法形成；C.进行形成台面的工序；D.进...
朱晨昕贾锐李维龙陈晨李昊峰王琴刘明
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一种单电子存储器的制备方法
本发明涉及纳米器件制作技术领域的一种单电子存储器的制备方法。为了解决现有单电子存储器制备技术中工艺步骤复杂的缺点，本发明的目的在于提供一种单电子存储器的制备方法，采用电子束光刻技术和刻蚀技术制作电极图形和导电沟道，通过光...
贾锐李维龙陈晨朱晨昕李昊峰张培文刘明
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硅基纳米柱阵列异质结薄膜太阳能电池及其制备方法
本发明公开了一种硅基纳米柱阵列异质结薄膜太阳能电池及其制备方法，属于太阳能电池制造领域领域。所述方法包括在P型太阳能级硅衬底上制备金属纳米晶掩蔽层；以金属纳米晶掩蔽层作为掩蔽，采用干法刻蚀硅衬底，制备垂直的硅纳米柱阵列；...
陈晨贾锐朱晨昕李维龙李昊峰张培文赵盛杰刘明
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非挥发存储器的制备方法
本发明是关于一种非挥发存储器的制备方法，其包括以下步骤：在半导体衬底上形成一层栅氧化层；采用电子束蒸发方式将硅粉末和二氧化铪粉末的混合物蒸发至该栅氧化层上，再经高温热退火在形成纳米晶浮栅层；在纳米晶浮栅层上形成栅电极；以...
朱晨昕贾锐陈晨李维龙李昊峰王琴刘明
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利用声表面波器件测试气体浓度的方法
本发明公开了一种利用声表面波器件测试气体浓度的方法，利用声表面波气体传感器在吸附被测气体前后，声表面波在其上传播速度的不同，来定量得到被测气体的浓度。其主要步骤为：使用信号发生器在双端对声表面波气体传感器一侧发射一短脉冲...
李昊峰贾锐李维龙陈晨朱晨昕
声表面波气体传感器及其制作方法
本发明公开了一种声表面波气体传感器，包括：一压电晶体衬底；制备于该压电晶体衬底表面的三组相互平行且间隔相等的第一叉指电极、第二叉指电极和第三叉指电极；以及在第一叉指电极与第二叉指电极，以及第二叉指电极与第三叉指电极之间的...
李昊峰贾锐李维龙陈晨朱晨昕
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