黄鹭
- 作品数：64 被引量：67H指数：5
- 供职机构：中国计量科学研究院更多>>
- 发文基金：中央级公益性科研院所基本科研业务费专项国家自然科学基金中国计量科学研究院基本科研业务费项目更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术自动化与计算机技术理学更多>>
- 微纳涂层多功能力学试验机及其使用方法
- 本发明涉及一种微纳涂层多功能力学试验机及其使用方法，其中微纳涂层多功能力学试验机包括工作台和工件固定装置，工作台上固设有支撑座和液体储存箱，支撑座上设有移动块和驱动移动块沿横向往复移动的横向驱动装置，工件固定装置上方设有...
- 黄鹭孙淼巩合具高思田李琪李适贾鑫施玉书
- 文献传递
- 用于双探针原子力显微镜的定位平台的设计及实验验证被引量：4
- 2020年
- 针对双探针原子力显微镜的需求,设计了一种提供精确位移的大行程定位平台。采用柔性铰链和压电陶瓷致动器分别作为定位平台的导向机构和驱动机构。在X、Y和Z轴运动方向通过并联机构实现独立位移。对定位平台进行数学建模,分析和计算定位平台的工作刚度和固有频率,并进行了有限元仿真分析。以电容传感器作为位移测量单元构建了定位平台实验装置,并进行了实验验证。实验结果表明:定位平台在X与Y轴方向上拥有110μm的行程,分辨率为5 nm,在Z轴方向上拥有45μm的行程,分辨率为5 nm。
- 林之东高思田黄鹭李琪
- 关键词：计量学原子力显微镜分辨率柔性铰链
- 微纳米光学测量的严格耦合波分析方法被引量：4
- 2020年
- 在微纳米尺度光学测量领域中,严格耦合波(RCWA)方法将光看作空间传播的电磁波,然后应用麦克斯韦方程组电磁边界连续条件,求解电磁波前向和后向衍射模型,并测量对应的透射和反射。在RCWA仿真中,首先对被测对象应用分层电磁模型,划分成多层不同几何尺寸及介电常数叠加结构,然后应用传输矩阵法计量不同衍射级数的电磁场,最后对空间电场和磁场分量进行合成,从而得到纳米几何结构准确的衍射场。
- 李琪施玉书李伟黄鹭李适高思田张树
- 关键词：光学测量
- 湿度对原子力显微镜测量金纳米栅格几何形貌的影响
- 对不同湿度环境下原子力显微镜(AFM)对金纳米栅格几何形貌的测量结果进行了探究.通过在恒温条件下对仪器整体环境湿度进行有规律的调控,实现了在相对湿度35％～75％范围内对金纳米栅格高度及表面粗糙度的准确测量.结果表明:对...
- 黄鹭施玉书马爱文曹丛李琪李伟李适高思田
- 关键词：环境湿度原子力显微镜
- 基于电化学腐蚀法的钨探针制备装置研究被引量：4
- 2018年
- 基于电化学腐蚀法制备钨探针的原理,设计了一套钨探针制备装置,并对钨探针制备参数进行了研究。装置的实验部分用于调整探针与电解槽的相对位置和运动参数,控制部分用于监测、控制并记录电化学反应的状态。与传统腐蚀探针相比,该装置通过控制电路控制探针腐蚀过程中运动参数,获得了形状可控的大长径比探针;同时通过精确控制腐蚀反应时间,可制备针尖曲率半径范围为5~20 nm的探针。
- 徐靖涛高思田黄鹭李琪李东升汪雅丽
- 关键词：计量学电化学腐蚀长径比曲率半径
- 基于FPGA高速信号采集的多角度动态光散射法纳米粒径测量被引量：2
- 2021年
- 根据动态光散射装置测量纳米粒径原理,开发了一套基于现场可编程门阵列(FPGA)的纳米粒径测量系统。该系统通过光电倍增管(PMT)输出光子脉冲信号,利用FPGA实现高速脉冲采集及自相关运算,采用双脉冲计数器实现高精度可控的连续计数,并实现DDR3异步存储以及USB通信交互等接口功能。自研板卡既可实现自相关函数实时采集运算,又可无丢失地保存海量原始数据信号。采用该系统对200 nm聚苯乙烯颗粒进行了测量,分析了不同采样时间及延迟时间等参数对粒径测量结果的影响。实验结果表明:自研FPGA采集板卡测量重复性为1.2%,具有很好的稳定性和重复性。
- 张泽瑞黄鹭高思田蔡晋辉孙淼崔震
- 关键词：计量学动态光散射现场可编程门阵列自相关函数
- 用于紫外光学显微镜的二维纳米位移台的设计及实验验证被引量：1
- 2017年
- 针对紫外光学显微镜实现线宽测量的需要,设计了一种能够提供精密位移的大行程二维纳米位移台。分别采用柔性铰链和压电陶瓷驱动器作为导向机构和驱动机构,采用内外层串联嵌套结构实现二维独立位移运动。对平台进行力学建模,分析并计算得到二维工作刚度及集中应力公式。根据分析所得理论公式确定纳米位移台参数并进行有限元仿真。建立机械模型,根据机械模型设计并搭建激光干涉位移测量系统进行实验验证。实验数据分析结果表明,实验结果与理论设计基本一致,二维纳米位移台的设计满足要求。
- 常旭高思田施玉书黄鹭李琪李东升
- 关键词：计量学柔性铰链压电陶瓷应力激光干涉测量
- 湿度对原子力显微镜测量金纳米栅格几何形貌的影响
- 2017年
- 对不同湿度环境下原子力显微镜(AFM)对金纳米栅格几何形貌的测量结果进行了探究。通过在恒温条件下对仪器整体环境湿度进行有规律的调控,实现了在相对湿度35%~75%范围内对金纳米栅格高度及表面粗糙度的准确测量。结果表明:对于实验中使用的线宽标称值2μm的金纳米栅格,栅格高度随相对湿度的增加而有所降低;粗糙度随相对湿度增加而增加,且相对湿度升高至75%时对测量结果影响尤为显著。因此,在使用AFM对纳米几何栅格结构进行精确测量和定值时,需要对环境湿度进行记录和监控。
- 黄鹭施玉书马爱文曹丛李琪李伟李适高思田
- 关键词：计量学原子力显微镜环境湿度
- 我国微纳几何量计量技术的研究进展被引量：11
- 2017年
- 随着微纳技术中材料和器件关键尺寸的减小以及几何结构复杂性的增加,给微纳尺度的精确测量带来了新的挑战。微纳几何量计量技术主要是研究微纳尺度下测量量值的准确一致,并实现量值溯源到国际长度基本单位的科学。为保证微纳技术的领先优势,国外先进国家一直高度重视微纳几何量计量技术的研究。目前,我国在微纳计量领域已成功研制了多种微纳几何量计量标准装置,并初步建立了我国自己的微纳计量溯源体系。对我国现有的微纳几何量计量技术与计量标准装置进行了回顾和介绍,并对我国微纳计量的未来发展做出了展望。
- 高思田李琪施玉书李伟黄鹭
- 用于针尖型扫描显微测量装置的特种探针的制作装置
- 一种用于针尖型扫描显微测量装置的特种探针的制作装置，包括底座、支撑立柱、钨丝定位装置、安装基板和电解槽定位装置，在底座上垂直固定有两个相互平行的支撑立柱和电解槽定位装置，两个支撑立柱的上部固定有安装基板，在安装基板上装有...
- 高思田徐靖涛黄鹭施玉书李琪
