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王彦钦

作品数：113 被引量：24H指数：3
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 108篇专利
  • 4篇期刊文章
  • 1篇科技成果

领域

  • 15篇电子电信
  • 8篇理学
  • 6篇机械工程
  • 6篇自动化与计算...
  • 4篇一般工业技术
  • 3篇化学工程
  • 3篇电气工程
  • 1篇文化科学

主题

  • 32篇光刻
  • 25篇超分辨
  • 22篇衍射
  • 21篇波长
  • 16篇等离子体
  • 15篇纳米
  • 15篇成像
  • 12篇亚波长
  • 12篇掩模
  • 12篇表面等离子体
  • 10篇多层膜
  • 10篇金属
  • 8篇照明
  • 8篇透镜
  • 8篇光学
  • 7篇亚波长结构
  • 7篇纳米加工技术
  • 6篇远场
  • 6篇视场
  • 6篇刻蚀

机构

  • 113篇中国科学院
  • 1篇吉林大学
  • 1篇中国科学院大...
  • 1篇中国人民解放...

作者

  • 113篇王彦钦
  • 106篇罗先刚
  • 84篇王长涛
  • 83篇赵泽宇
  • 40篇黄成
  • 35篇马晓亮
  • 32篇杨磊磊
  • 32篇蒲明博
  • 30篇李雄
  • 30篇陶兴
  • 29篇高平
  • 28篇胡承刚
  • 25篇蒲明薄
  • 22篇姚纳
  • 18篇刘玲
  • 16篇罗云飞
  • 15篇冯沁
  • 14篇刘利芹
  • 14篇王炯
  • 13篇杨欢

传媒

  • 2篇光电工程
  • 1篇物理学报
  • 1篇激光与光电子...

年份

  • 14篇2023
  • 4篇2022
  • 3篇2021
  • 3篇2020
  • 7篇2019
  • 7篇2018
  • 11篇2017
  • 12篇2016
  • 10篇2015
  • 14篇2014
  • 20篇2013
  • 8篇2012
共 113 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
紫外发光二极管曝光装置及系统
本公开提供一种紫外发光二极管曝光装置及系统，涉及曝光处理技术领域，装置包括：紫外发光二极管光源，包括阵列贴片式的紫外发光二极管灯珠，紫外发光二极管灯珠用于发射紫外光束；准直镜组，用于对紫外光束进行收光准直；复眼镜组，用于...
罗先刚赵承伟龚天诚贾桂园王长涛王彦钦
一种高分辨力超衍射聚焦结构透镜的制作方法
本发明提供一种高分辨力超衍射聚焦结构透镜的制作方法，该方法选取合适的基底材料，在基底上蒸镀或溅射沉积一层金属膜，让一定偏振态的单色光垂直于金属膜上表面入射；选取金属膜上表面的中心点为坐标原点，过中心点的坐标轴分别为x轴和...
罗先刚赵泽宇王长涛冯沁王彦钦胡承刚黄成陶兴杨磊磊姚纳
文献传递
衍射元件的计算机辅助对心装校装置及方法
本发明一种衍射元件的计算机辅助对心装校装置及方法，包括车床主轴、位置传感器、卡盘、专用夹具、驱动器、螺纹压圈、镜座、硅胶、衍射元件、车床导轨、车刀、分化板、超长工作距显微物镜、光源、半反半透镜、CCD相机、CCD成像透镜...
罗先刚王彦钦杨欢张鸶懿
文献传递
用于可见光波段切趾成像的宽带消色差超表面滤波器被引量：3
2021年
切趾在成像和光通信领域得到了重要的应用。传统的切趾方法基于相位或者振幅调制,存在工作带宽窄或者分辨力低的问题。本文提出了一种宽带消色差的超表面滤波器,可以在不损失空间分辨力的情况下实现切趾成像。通过该滤波器在整个可见光波段完成了几乎无色散的相位调制。仿真结果表明,超表面滤波器的聚焦效率是相位滤波器的两倍;其成像对比度可以提升至高斯滤波器的三倍。通过我们的方法,在400 nm到700 nm的可见光波段内,点扩散函数的旁瓣能被压缩到10^(-5)数量级,同时能够实现衍射极限甚至超衍射的分辨力。
李柱王长涛孔维杰王彦钦王彦钦李雄郭迎辉蒲明博李雄
关键词：切趾宽带
一种基于手性人工电磁结构的双频圆极化器
一种基于手性人工电磁结构的双频圆极化器，包括一层矩形介质基板及在矩形介质基板上制作的横向上和纵向上的周期性圆弧形金属线结构，每个周期性圆弧形金属线结构包括四条圆弧形金属线，这四条圆弧形金属线具有共同的圆心和相等的圆心角，...
罗先刚黄成蒲明博王彦钦马晓亮
文献传递
一种图案形成装置的热控方法
本公开提供了一种图案形成装置的热控方法，包括：S1，开启补偿照明，将图案形成装置加热至热平衡温度区间后，关闭补偿照明；补偿照明的照明区域面积为S<Sub>C1×C2</Sub>；S2，开启第一检测照明，检测步骤完成后关闭...
赵承伟王彦钦任传鑫龚天诚张逸云陈小安
一种波导共振耦合表面等离子体光场的激发和调控方法
本发明公开了一种波导共振耦合表面等离子体光场的激发和调控方法，采用器件主要由透明基底、纳米结构层和波导共振多层膜构成。对于确定波长的平面波照射透明基底，透明基底上的纳米结构层将照明平面波衍射为各级次平面波。利用波导共振多...
罗先刚王长涛赵泽宇王彦钦姚纳胡承刚蒲明薄王炯刘利芹杨磊磊
文献传递
一种动态可调的多频电磁吸波材料
本发明提供一种动态可调的多频电磁吸波材料，该材料自下而上依次包括：底层金属反射层，介质间隔层以及顶层金属亚波长结构阵列。所述介质间隔层所用材料为GST相变材料，本发明通过电激发、光激发或热激发的方式改变GST材料的晶态(...
罗先刚马晓亮蒲明博赵泽宇王彦钦李雄高平
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横向形变调控系统
本公开提供了一种横向形变调控系统，可以应用于微纳技术领域。该系统包括：探测器采集待调控的光学元件的指定区域的横向形变数据，控制系统根据横向形变数据，利用调控算法向控制器发送驱动电压控制指令，控制器执行驱动电压控制指令，调...
罗先刚赵承伟任传鑫龚天诚张煜张逸云唐燕王彦钦王长涛
二次成像光学光刻方法和设备
本公开提出了一种二次成像光学光刻方法和设备。所述二次成像光学光刻方法包括：将光刻掩模板与柔性透明转移衬底紧密接触；用第一光源通过所述光刻掩模板照射所述柔性透明转移衬底的感光层，以将所述光刻掩模板的图案转移到所述柔性透明转...
罗先刚王长涛王彦钦孔维杰高平赵泽宇
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