黄龙旺
- 作品数：16 被引量：16H指数：3
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：文化科学电子电信语言文字一般工业技术更多>>
- 商品有机玻璃片微结构的深刻蚀研究被引量：1
- 2003年
- 研究应用O2反应离子刻蚀(RIE)直接深刻蚀商用有机玻璃(PMMA)片,以实现微结构的三维微加工,工艺简单,加工成本较低,为微器件的高深宽比加工提出了新方法。试样采用Ni作掩膜,以普通的光刻胶曝光技术和湿法刻蚀法将Ni掩膜图形化。工作气压、刻蚀功率等工艺参数对刻蚀速率影响较大。在刻蚀过程中,掩膜上的金属粒子会被刻蚀气体离子轰击而溅射散落出来,形成微掩膜效应。利用这种RIE技术,在适当的溅射功率及气压下,刻蚀速率较快,且获得了较陡直的微结构图形,刻蚀深度达120μm。
- 黄龙旺杨春生丁桂甫
- 关键词：反应离子刻蚀微结构PMMA刻蚀速率
- 英文论文中“suchas，forexample，e．g．，i．e．，etc．，et al．”的用法分析被引量：3
- 2008年
- 黄龙旺龚汉忠
- 关键词：SUCHET用法分析
- 英文版期刊出版国际合作院所“专刊”的实践与启发——以Journal of Shanghai Jiao Tong University(Science)为例
- 2018年
- 面对'专业化''特色化'等学术期刊评价要求和'走出去'的形势需要,高校学报想在学术期刊竞争中立足,并坚持学报使命和发挥学报作用,需要在学术经营中破解困局,找准特色。高校学报与母体大学的学术团体尤其国际合作办学院所约稿组稿,有利于提升国际显示度,争取学术影响力的扩大。以《上海交通大学学报(英文版》(密院专刊)为例进行初步探析,以期为高校学报的发展提供思路。
- 蒋霞方华黄龙旺黄伟
- 关键词：高校学报专刊
- PMMA的反应离子深刻蚀及侧壁钝化研究
- 有机玻璃(PMMA)高分子聚合物是MEMS和MOEMS制备工艺中的重要材料,它的刻蚀效果直接影响到元器件的质量.研究PMMA刻蚀有着实际的应用意义.该论文的目的是通过对PMMA进行深度反应离子刻蚀及其侧壁钝化效果的研究,...
- 黄龙旺
- 关键词：干法刻蚀深反应离子刻蚀高深宽比PMMA
- 文献传递
- 综合类科技期刊审稿方法的探析
- 在探讨如何提高审稿质量的基础上,根据国内外科技期刊常见的审稿问题,结合综合类科技期刊的特点,对常见评审机制进行了比较。总结了不同评审方法的工作流程和优缺点,对如何找出一种适合综合类科技期刊的审稿方法进行了分析和探索。
- 蒋霞龚汉忠方华黄龙旺颜严
- 关键词：科技期刊同行评议
- 文献传递
- 期刊改革与编辑定位
- 本文对期刊改革与编辑定位进行了论述。文章指出，为适应当今市场经济的发展,科技期刊内部进行变革,在同一领域内的期刊实现强强联合,明确期刊的发展定位.科学技术的发展,不仅需要高质量的强大的科技期刊,也需要转变期刊编辑思维和促...
- 黄龙旺颜严杨蕾
- 关键词：科技期刊期刊管理办刊模式
- 文献传递
- PMMA的反应离子深刻蚀被引量：2
- 2004年
- 对PMMA进行反应离子深刻蚀以获得高深度比微结构。研究了纯氧刻蚀气体中加入CHF3 对刻蚀速率、图形形貌等的影响。纯氧刻蚀PMMA ,钻蚀现象严重。加入CHF3 后 ,刻蚀速率随CHF3 含量增加而下降。加入适量CHF3 ,可以在侧壁形成钝化层 ,保护侧壁不受钻蚀。当CHF3 含量为 4 0 % ,刻蚀功率 30W ,工作气压为 4Pa时 ,即使刻蚀深度达到 4 0 0 μm ,侧壁仍然陡直 ,刻蚀深宽比大于 10。
- 张丛春杨春生丁桂甫黄龙旺
- 关键词：PMMA反应离子刻蚀
- 期刊改革与编辑定位
- 2006年
- 为适应当今市场经济的发展,科技期刊内部进行变革,在同一领域内的期刊实现强强联合,明确期刊的发展定位.科学技术的发展,不仅需要高质量的强大的科技期刊,也需要转变期刊编辑思维和促进期刊编辑业务水平的提高,优化编辑部内部资源,充分发挥编辑的中心作用,以促使科技期刊的可持续发展.
- 黄龙旺颜严杨蕾
- 关键词：科技期刊资源优化可持续发展
- 综合类科技期刊审稿方法的探析被引量：4
- 2017年
- 在探讨如何提高审稿质量的基础上,根据国内外科技期刊常见的审稿问题,结合综合类科技期刊的特点,对常见评审机制进行了比较。总结了不同评审方法的工作流程和优缺点,对如何找出一种适合综合类科技期刊的审稿方法进行了分析和探索。
- 蒋霞龚汉忠方华黄龙旺颜严
- 关键词：科技期刊同行评议
- 高校类学报与专业类科技期刊比较及其发展对策
- 借鉴专业类科技期刊的发展特点,对比分析《上海交通大学学报》(英文版)和《中国光学学报》(英文版)两种不同科技期刊的区别。《上海交通大学学报》(英文版)属于综合性的高校学报,而《中国光学学报》(英文版)是属于专业化的科技期...
- 黄龙旺方华
- 关键词：高校学报科技期刊综合类
- 文献传递
