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夏国民

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：南京理工大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇单晶硅
  • 1篇真空封装
  • 1篇振梁加速度计
  • 1篇温度补偿
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度计
  • 1篇封装
  • 1篇高精度测温
  • 1篇测温

机构

  • 1篇南京理工大学

作者

  • 1篇裘安萍
  • 1篇施芹
  • 1篇丁衡高
  • 1篇苏岩
  • 1篇张晶
  • 1篇夏国民

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于片式集成高精度测温结构的硅振梁加速度计
本发明公开了一种基于片式集成高精度测温结构的硅振梁加速度计，上层为真空封装盖板，下层为衬底，中层单晶硅上制作有加速度计机械结构；加速度计机械结构包括外框架、质量块、两个刚度调整组件、两个测加速度谐振器、两个测温谐振器和四...
夏国民裘安萍施芹张晶苏岩丁衡高
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