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孙建平

作品数:8 被引量:8H指数:2
供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室更多>>
发文基金:国家自然科学基金上海市科委纳米专项基金更多>>
相关领域:电子电信金属学及工艺一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 4篇期刊文章
  • 2篇专利
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 3篇电子电信
  • 2篇金属学及工艺
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 5篇气敏
  • 4篇气敏传感器
  • 4篇感器
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 2篇单色仪
  • 2篇电阻
  • 2篇电阻变化
  • 2篇有色
  • 2篇敏感膜
  • 2篇纳米
  • 2篇纳米氧化物
  • 2篇冷挤
  • 2篇硅基
  • 2篇硅基底
  • 2篇半导体气敏传...
  • 1篇电子技术
  • 1篇压电薄膜
  • 1篇氧化物薄膜
  • 1篇有色金属

机构

  • 8篇上海交通大学

作者

  • 8篇孙建平
  • 5篇徐爱兰
  • 5篇惠春
  • 2篇刘宏伟
  • 2篇吴年盛
  • 2篇张质良
  • 1篇阮雪榆
  • 1篇李敏
  • 1篇汪静

传媒

  • 2篇电子元件与材...
  • 1篇锻压机械
  • 1篇压电与声光

年份

  • 1篇2007
  • 1篇2006
  • 4篇2005
  • 2篇1995
8 条 记 录,以下是 1-8
排序方式:
有色金属与合金冷挤压力研究
1995年
对有色金属及合金(L1,LY12,T1,H62)冷挤压时的变形力影响因素,进行了综合试验研究,确定了冷挤压力的主要影响因素及其主次顺序。并对研究结果进行统计分析,建立了各主要影响因素间定量关系的数学模型与诺谟图计算方法,为有色金属及其合金冷挤压力的计算,提供了简便可靠的方法。
张质良吴年盛孙建平阮昌榆
关键词:有色金属冷挤压
纳米氧化锌制备、表征及微气敏传感器研究
本文研究了用溶胶—凝胶法(sol-gel)制备的纳米氧化锌和掺杂氧化锌薄膜的电学、光学及紫外光照下的气敏特性,用MEMs微加工工艺制作了ZnO基薄膜微结构气敏传感器并进行了测试;利用自制的高温CVD系统,采用热蒸发氧化法...
孙建平
文献传递
紫外光照下ZnO基薄膜的光电和气敏特性研究被引量:4
2005年
用sol-gel法制备ZnO及掺杂Al3+的ZnO半导体薄膜,利用XRD和AFM对薄膜结构和形貌进行表征。测量了不同掺Al量的薄膜在紫外光照射下电阻的变化,发现随着掺Al量的增大,薄膜在紫外光(波长为365nm)照射后其电阻先减小后增大。在室温下,对薄膜在不同浓度的CO气体下的敏感特性进行了研究,随着气体浓度的增加,薄膜电阻值逐渐减小;随着掺Al量的增大,气敏灵敏性先逐渐增大后减小,发现当铝含量为r(Al:ZnO)=0.5%时,对CO气体的灵敏度最大,并对紫外光照射下气敏半导体薄膜的气敏机理进行了简单分析。
刘宏伟孙建平惠春徐爱兰
关键词:电子技术溶胶-凝胶法紫外光气敏性能
有色金属与合金冷挤压力研究
本文对有色金属及合金(L1,Ly12,T1,H62)冷挤压时的变形力影响因素,进行了综合试验研究,确定了冷挤压力的主要影响因素及其主次顺序是:材料种类一挤压方式一坯料尺寸(H0/D0)←变形程度←摩擦润滑条件←模具锥角等...
张质良吴年盛孙建平阮雪榆
文献传递
光激活纳米氧化物半导体气敏传感器
一种光激活纳米氧化物半导体气敏传感器,由光激发器、微结构气敏芯片和定位台组成,其中光激发器由照明光源、会聚镜、单色仪和聚焦透镜组构成,以提供频率和强度可调的激发光束,照明光源发射出的光束经会聚镜聚焦,再通过单色仪成为频率...
惠春孙建平徐爱兰
文献传递
纳米尺度压电薄膜PZT的结构特征和性能被引量:1
2007年
采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)方法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备锆钛酸铅(PZT)纳米晶薄膜,研究了不同的热处理方式对PZT薄膜的晶粒结构、尺寸及电学性能的影响。X-射线衍射(XRD)分析表明:传统的热处理方式更有利于得到具有一定择优取向性的PZT薄膜。原子力显微镜(AFM)显示:快速热处理方式使PZT薄膜的晶粒具有自形晶结构,晶粒的排布更为有序,从而改善了薄膜的致密性。阻抗分析仪的测试结果表明:经快速热处理的薄膜,漏电流大约比传统热处理处理的薄膜的漏电流降低了20倍左右。
李敏惠春徐爱兰汪静孙建平
关键词:PZT薄膜
紫外光照下金属氧化物薄膜气敏特性研究进展被引量:4
2005年
介绍了近期文献中对紫外光照下半导体金属氧化物薄膜气敏特性的研究结果:紫外光照引起SnO2,In2O3,ZnO薄膜电导显著增大;提高室温下薄膜对CO,NO2气体检测的灵敏度,减少响应和恢复时间;介绍了一种对紫外光增强气敏机制的物理模型分析方法。最后讨论了当前存在的难点问题(室温下气体检测的灵敏度不高及使用紫外光源不便)及未来研究方向(借改变薄膜的制备方法、工艺条件、优化金属氧化物薄膜的结构;通过掺杂复合改变薄膜的成分以及寻找禁带宽度窄的半导体材料等)。
孙建平惠春徐爱兰刘宏伟
关键词:无机非金属材料气敏传感器
光激活纳米氧化物半导体气敏传感器
一种光激活纳米氧化物半导体气敏传感器,由光激发器、微结构气敏芯片和定位台组成,其中光激发器由照明光源、会聚镜、单色仪和聚焦透镜组构成,以提供频率和强度可调的激发光束,照明光源发射出的光束经会聚镜聚焦,再通过单色仪成为频率...
惠春孙建平徐爱兰
文献传递
共1页<1>
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