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汪濙海

作品数:90 被引量:4H指数:1
供职机构:上海交通大学更多>>
发文基金:教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金更多>>
相关领域:自动化与计算机技术电子电信金属学及工艺机械工程更多>>

文献类型

  • 86篇专利
  • 3篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 8篇自动化与计算...
  • 7篇电子电信
  • 2篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇航空宇航科学...

主题

  • 64篇陀螺
  • 29篇电极
  • 25篇微陀螺
  • 20篇压电
  • 19篇体声波
  • 19篇谐振
  • 19篇静电驱动
  • 13篇信号
  • 13篇陀螺仪
  • 12篇振动
  • 12篇基底
  • 11篇微机械
  • 10篇压电驱动
  • 10篇固定式
  • 10篇封装
  • 8篇单晶
  • 8篇单晶硅
  • 8篇多环
  • 8篇真空封装
  • 8篇球形

机构

  • 90篇上海交通大学
  • 1篇教育部

作者

  • 90篇汪濙海
  • 89篇张卫平
  • 86篇唐健
  • 79篇陈文元
  • 64篇刘亚东
  • 64篇成宇翔
  • 27篇张弓
  • 27篇许仲兴
  • 6篇魏志方
  • 4篇刘朝阳
  • 4篇崔峰
  • 4篇邹阳
  • 4篇欧彬
  • 3篇唐健
  • 2篇刘武
  • 2篇王晨阳
  • 2篇刘亚东
  • 1篇关冉

传媒

  • 1篇振动与冲击
  • 1篇半导体光电
  • 1篇现代电子技术

年份

  • 2篇2020
  • 8篇2018
  • 20篇2017
  • 19篇2016
  • 9篇2015
  • 26篇2014
  • 6篇2013
90 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种压电驱动和检测的微型半球谐振陀螺仪及其制备方法
本发明提供了一种压电驱动和检测的微型半球谐振陀螺仪及其制备方法,包括一个单晶硅基底、一个中心固定支撑柱、一个微型半球谐振子、一个公共电极、八个薄膜压电体、八个均匀分布式信号电极,其中:单晶硅基底与微型半球谐振子通过中心固...
张卫平唐健刘亚东汪濙海成宇翔孙殿竣邢亚亮陈文元
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静电驱动压电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法
本发明涉及一种静电驱动压电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法,包括:一个不带释放孔的圆盘振子,一个圆柱形的支撑柱,分布于基板上的驱动电极、平衡电极和隔离电极,以及分布于圆盘振子上的检测电极。所述检测电极分布于所述圆盘振...
张卫平成宇翔张弓许仲兴唐健陈文元汪濙海
上下贯通支撑的玻璃金属半球谐振微陀螺
本发明提供了一种上下贯通支撑的玻璃金属半球谐振微陀螺,包括:一个长方体基体、一个半球谐振体、一根位于基体中央的支柱、一个空腔、八个在基体外围对称分布的电极、一个顶部支撑体和一个顶部支撑柱,其中:半球谐振体受到支柱和顶部支...
张卫平汪濙海唐健刘亚东成宇翔孙殿竣陈文元
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环形玻璃包围式玻璃吹制微型半球谐振陀螺及其制备方法
本发明提供了一种环形玻璃包围式玻璃吹制微型半球谐振陀螺及其制备方法,包括:一个长方体硅基底、一个半球壳式中央谐振子、一个环形玻璃壳体、八个制作在环形玻璃上的金属电极,其中:八个电极环绕中央谐振子均匀分布配置,包含四个驱动...
张卫平刘亚东唐健汪濙海成宇翔孙殿竣陈文元
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回柱形微机械固体波动模态匹配陀螺
本发明提供了一种回柱形微机械固体波动模态匹配陀螺,包括一个顶端四角含正方体突出的回柱形谐振子、四个在回柱形谐振子顶端正方体突出上或其附近沿谐振子侧面分布的驱动电极、四个在回柱形谐振子顶端正方体突出上或其附近沿谐振子侧面分...
张卫平汪濙海刘亚东成宇翔唐健张弓许仲兴孙殿竣陈文元
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静电驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法
本发明提供了一种静电驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法,所述陀螺包括不带释放孔的圆盘振子、基板、圆柱形的支撑柱、驱动电极、检测电极和公共电极,其中:所述圆盘振子通过所述支撑柱固定于所述基板上,所述圆盘振子垂直于...
张卫平成宇翔许仲兴唐健张弓陈文元汪濙海
一种内外双电极式微型半球谐振陀螺仪及其制备方法
本发明提供了一种内外双电极式微型半球谐振陀螺仪及其制备方法,包括:单晶硅基底、中心固定支撑柱、微型半球谐振子、外电极、外电极金属焊接板、玻璃基底、金属引线、圆形焊线盘、外电极金属连接柱内电极和种子层。本发明结合MEMS体...
张卫平唐健刘亚东汪濙海成宇翔孙殿竣邢亚亮陈文元
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一种玻璃金属吹制式微型半球谐振陀螺及其制备方法
本发明提供了一种玻璃金属吹制式微型半球谐振陀螺及其制备方法,所述陀螺包括:一个长方体硅基底、一个半球壳式中央谐振子和八个半球壳式电极,其中:八个电极环绕中央谐振子均匀分布配置,包含四个驱动电极和四个检测电极,并通过引线连...
张卫平刘亚东唐健汪濙海成宇翔孙殿竣陈文元
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半环形压电谐振陀螺仪及其制备方法
本发明提供了一种半环形压电谐振陀螺仪及其制备方法,包括:基底、基底上中心位置周围的环形空腔、环绕于支撑柱的半环形压电谐振体、连接到基底的上表面作为半环形压电谐振体支撑的支撑柱以及在半环形谐振体外表面上呈对称分布的八个电极...
张卫平孙殿竣唐健汪濙海刘亚东成宇翔邢亚亮陈文元
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半球体固态波动微陀螺仪及其制备方法
本发明提供了一种半球体固态波动微陀螺仪及其制备方法,包括:单晶硅基底、信号电极、屏蔽电极、微型半球体谐振子、中心固定支撑柱,微型半球体谐振子与单晶硅基底通过中心固定支撑柱相连;信号电极和屏蔽电极设置于单晶硅基底的上表面,...
张卫平唐健刘亚东汪濙海成宇翔孙殿竣邢亚亮陈文元
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