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沈月婷
作品数:
5
被引量:6
H指数:2
供职机构:
大连理工大学电子科学与技术学院
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发文基金:
“九五”国家科技攻关计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
仲崇权
大连理工大学电子科学与技术学院
牛德芳
大连理工大学电子科学与技术学院
殷福亮
大连理工大学电子科学与技术学院
庞济
大连理工大学电子科学与技术学院
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机构
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大连理工大学
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沈月婷
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仲崇权
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仪表技术与传...
1篇
传感器技术
年份
3篇
2001
2篇
2000
共
5
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微机械双杯平面复合差动电容压力传感器的研究
2001年
文中介绍一种新式微机械双杯平面复合差动电容压力传感器的结构设计、工作原理及加工工艺 ,同时 ,对传感器的硬件电路、软件设计也作简要说明 。
牛德芳
沈月婷
庞济
仲崇权
殷福亮
关键词:
差动电容
压力传感器
微机械
微机械差动电容压力传感器变换电路及信息处理技术的研究
电容式传感器具有结构简单、灵敏度高、动态响应特性好、防震动特性较好、成本低、工艺简单等特点;但是其电容引线困难、额定电容量小(大约为几皮法到几十皮法),受寄生电容的影响较大以及输出特性的非线性是电容式传感器应用中的一大难...
沈月婷
关键词:
差动电容
传感器
变换电路
文献传递
微机械差动电容压力传感器的研究
被引量:2
2000年
文中介绍以N型单晶硅为基底,利用微机械加工研制而成的一种中央上举开放式差动电容压力传感器的结构及其设计。
牛德芳
庞济
沈月婷
仲崇权
殷福亮
关键词:
微机械
差动电容
压力传感器
微机械电容式压力传感器的变换电路
被引量:4
2001年
在介绍一种新型微机械差动电容式压力传感器的基础上 ,重点介绍一种为其配套的电容—电压变换电路。
沈月婷
牛德芳
仲崇权
关键词:
微机械
差动电容
电容电压
变换电路
压力传感器
微机械差动电容压力传感器变换电路及信号处理技术的研究
沈月婷
关键词:
变换电路
传感器
电容式
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