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王毅强

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇电信号
  • 2篇散射
  • 2篇散射光
  • 2篇探测器
  • 2篇光电
  • 2篇光电探测
  • 2篇光电探测器
  • 2篇光电信号
  • 2篇硅片
  • 2篇硅片表面
  • 2篇法线

机构

  • 2篇中国科学院上...

作者

  • 2篇敖计祥
  • 2篇程兆谷
  • 2篇许永锋
  • 2篇黄惠杰
  • 2篇王毅强
  • 2篇陈建芳

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2010
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
具有缺陷分类能力的硅片表面缺陷检测仪及缺陷分类方法
一种具有缺陷分类能力的硅片表面缺陷检测仪及缺陷分类方法，采用一束激光从倾斜方向聚焦照射置于高稳定硅片工作平台上的待测硅片的平面表面，由硅片表面缺陷所产生的散射光分别在沿接近硅片表面法线的方向和接近平行硅片表面的方向被两个...
陈建芳程兆谷王毅强许永锋敖计祥黄惠杰
文献传递
具有缺陷分类能力的硅片表面缺陷检测仪及缺陷分类方法
一种具有缺陷分类能力的硅片表面缺陷检测仪及缺陷分类方法，采用一束激光从倾斜方向聚焦照射置于高稳定硅片工作平台上的待测硅片的平面表面，由硅片表面缺陷所产生的散射光分别在沿接近硅片表面法线的方向和接近平行硅片表面的方向被两个...
陈建芳程兆谷王毅强许永锋敖计祥黄惠杰
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